JP2004213869A - 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 非磁性基体上に少なくとも非磁性下地層、磁気記録層、保護膜、液体潤滑層が順次形成されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層が、0.1nm以上0.3nm以下の膜厚のFeまたはCoと、0.15nm以上0.35nm以下の膜厚のPtとを交互に積層することにより形成されており、L10型規則構造である領域を含むFePtまたはCoPtを主体とする合金からなることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【選択図】 図1
Description
2 非磁性シード層
3 非磁性下地層
4 磁気記録層
5 保護膜
6 液体潤滑層
11 Co(またはFe)層
12 Pt層
Claims (14)
- 非磁性基体上に少なくとも非磁性下地層、磁気記録層、保護膜、液体潤滑層が順次形成されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層が、0.1nm以上0.3nm以下の膜厚のFeまたはCoと、0.15nm以上0.35nm以下の膜厚のPtとを交互に積層することにより形成されており、L10型規則構造である領域を含むFePtまたはCoPtを主体とする合金からなることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層の膜厚が3nm以上15nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層中のL10型規則構造である領域の(001)結晶格子面が、前記磁気記録層の膜面と平行に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性下地層が、fcc構造を有するAg、Al、Au、Cu、Ir、Ni、PtおよびPdからなる群から選択される少なくとも1種を含む金属または合金、もしくはbcc構造を有するCrまたはCr合金からなることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性下地層が5nm以上50nm以下の膜厚を有することを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性基体と前記非磁性下地層の間に非磁性シード層をさらに含み、かつ前記非磁性シード層がNaCl型構造を有するMgO、NiO、TiO、またはTiの炭化物もしくは窒化物であり、かつその優先結晶配向面が(100)面であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性シード層が3nm以上15nm以下の膜厚を有することを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性基体が、Al基板、表面酸化Siウエハ、溶融石英基体、ガラス基体、およびプラスチック樹脂基体から成る群から選択されることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層の垂直磁気異方性エネルギー値Kuが、7×105J/m3以上7×106J/m3以下であることを特徴とする、請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層はDCマグネトロンスパッタリング法により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 非磁性基体上に非磁性下地層を設ける工程と
前記非磁性下地層の上に、0.1nm以上0.3nm以下の膜厚のFeまたはCoと、0.15nm以上0.35nm以下の膜厚のPtとを交互に積層して、L10型規則構造である領域を含むFePtまたはCoPtを主体とする合金からなる磁気記録層を形成する工程と、
前記磁気記録層上に保護膜を設ける工程と、
前記保護膜上に液体潤滑層を設ける工程と
を具えたことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 前記磁気記録層を、DCマグネトロンスパッタリング法にて形成することを特徴とする請求項11に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記磁気記録層の形成後に、400℃以下の温度条件で加熱処理を行う工程をさらに具えたことを特徴とする請求項11に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記磁気記録層を形成する工程において、前記非磁性基体の温度が400℃以下であることを特徴とする請求項11に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
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Cited By (10)
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JP2010003408A (ja) * | 2004-11-04 | 2010-01-07 | Tdk Corp | パターンド磁気記録媒体 |
JP2010034182A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Tohoku Univ | 磁性薄膜とその成膜方法並びに磁性薄膜の応用デバイス |
CN101964195A (zh) * | 2009-07-24 | 2011-02-02 | 株式会社日立制作所 | 磁记录介质 |
JP2012048792A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012169017A (ja) * | 2011-02-15 | 2012-09-06 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012174320A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体、磁気記録装置 |
JP2013149328A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
WO2014057600A1 (ja) * | 2012-10-10 | 2014-04-17 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
WO2014103815A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-03 | キヤノンアネルバ株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JPWO2017002348A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2017-11-24 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
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2003
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010003408A (ja) * | 2004-11-04 | 2010-01-07 | Tdk Corp | パターンド磁気記録媒体 |
JP2010034182A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Tohoku Univ | 磁性薄膜とその成膜方法並びに磁性薄膜の応用デバイス |
CN101964195A (zh) * | 2009-07-24 | 2011-02-02 | 株式会社日立制作所 | 磁记录介质 |
JP2012048792A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012169017A (ja) * | 2011-02-15 | 2012-09-06 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012174320A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体、磁気記録装置 |
JP2013149328A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
WO2014057600A1 (ja) * | 2012-10-10 | 2014-04-17 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
JPWO2014057600A1 (ja) * | 2012-10-10 | 2016-08-25 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
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JPWO2014103815A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-01-12 | キヤノンアネルバ株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JPWO2017002348A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2017-11-24 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
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