JP5981564B2 - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Classifications
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- G—PHYSICS
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
- G11B5/737—Physical structure of underlayer, e.g. texture
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Description
図1に示す積層構成の磁気記録媒体7を作製した。先ず、ガラス基板1上に、軟磁性層2として膜厚が40nmのCoTaZr膜を、金属下地層3として膜厚が3nmのPd膜を成膜した。金属下地層3は圧力0.6PaのArガス雰囲気中でDCスパッタ法を用いて成膜した。その上部に、膜厚が20nmのMgO膜からなる配向制御層4と、磁気記録層5として膜厚が3nmのFe膜と膜厚が3nmのPt膜をそれぞれ1層積層し、その上部に保護層6として膜厚が3nmのカーボン膜を順次成膜した。また、磁気記録層5を成膜後に基板を500℃程度に加熱することで、磁気記録層5として積層したFe膜とPt膜とをL10型FePt規則合金膜とした。
実施例2では、配向制御層4の膜厚を5nmとし、他の膜の厚み及び成膜条件等は全て実施例1と同様の方法で磁気記録媒体7を作製した。
実施例3では、金属下地層3の膜厚を10nmと、他の膜の厚み及び成膜条件等は全て実施例1と同様の方法で磁気記録媒体7を作製した。
比較例1では、金属下地層3を成膜せず、他の膜の厚み及び成膜条件等は全て実施例1と同様の方法で磁気記録媒体7を作製した。
比較例2では、金属下地層3として面心立方構造を有するPd膜の代わりに体心立方構造を有するCr膜を10nmの厚さに成膜した以外は、実施例2と同様の方法で磁気記録媒体7を作製した。
2:軟磁性層
3:金属下地層
4:配向制御層
5:磁気記録層
6:保護層
7:磁気記録媒体
10:キャリア
111:ロードロック室
112,116,123,127:方向転換室
114:軟磁性層形成室
115:金属下地層形成室
118:配向制御層形成室
124:磁気記録層形成室
125:基板加熱室
129:保護層形成室
131:アンロードロック室
Claims (8)
- 軟磁性層と、
前記軟磁性層上に形成された金属下地層と、
前記金属下地層上に、前記金属下地層に接して形成された配向制御層と、
前記配向制御層上に、前記配向制御層に接して形成されたL10型構造を有する規則合金からなる磁気記録層と、を備えた磁気記録媒体であって、
前記金属下地層は面心立方構造を有することを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記金属下地層は、Ag、Al、Au、Cu、Ir、Ni、Pt、Pd、Rhのうちの1種、又は1種以上を含む合金を用いて構成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記金属下地層は、Pdからなることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体
- 前記配向制御層はMgOを主成分とすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 基板上に軟磁性層を形成する工程と、
前記軟磁性層上に金属下地層を形成する工程と、
前記金属下地層上に、前記金属下地層に接する配向制御層を形成する工程と、
前記配向制御層上に、前記配向制御層に接するL10型構造を有する規則合金からなる磁気記録層を形成する工程と、を有する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記金属下地層は面心立方構造を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記金属下地層は、Ag、Al、Au、Cu、Ir、Ni、Pt、Pd、Rhのうちの1種、又は1種以上を含む合金を用いて構成されていることを特徴とする請求項5記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記金属下地層は、Pdからなることを特徴とする請求項5記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記配向制御層はMgOを主成分とすることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004213869A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-29 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
WO2010109822A1 (ja) * | 2009-03-23 | 2010-09-30 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
WO2011021652A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
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JP2006302480A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-11-02 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
JP2009032356A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Showa Denko Kk | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
SG10201408031RA (en) * | 2008-03-19 | 2015-01-29 | Hoya Corp | Glass for magnetic recording media substrates, magnetic recording media substrates, magnetic recording media and method for preparation thereof |
JP2012048784A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004213869A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-29 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
WO2010109822A1 (ja) * | 2009-03-23 | 2010-09-30 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
WO2011021652A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2014056623A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
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