JP2016506358A - 単結晶インゴット、そのインゴットの製造装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 溶融物を収容するるつぼ;
前記るつぼを加熱するヒーター;
前記ヒーターと前記溶融物からの放射熱を遮断する遮熱部材;及び
前記輻射熱が遮断されない前記遮熱部材のオープニングに導入され、前記るつぼの上部で種結晶部を取り囲み、所定区間内で前記種結晶部の昇降と連動して昇降するネックカバーを含む、単結晶インゴット製造装置。 - 前記所定区間内で前記ネックカバーの昇降経路をガイドするガイド部をさらに含む、請求項1に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記ガイド部は、前記所定区間を規定する両端部の中で前記るつぼに近い端部から内側に突出して前記昇降経路を制限するストッパーを含む、請求項2に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記ネックカバーは、
前記種結晶部によって支えられ、前記種結晶部に連結されたワイヤが貫く貫通ホールを持つ第1領域と周縁部から外側に突出して前記ストッパーにかかる第2領域を持つトップ部;
前記トップ部から延設された側部;及び
前記側部から内側に突出して前記種結晶部を取り囲み、前記種結晶部が出入りする開口を形成するボトム部を含む、請求項3に記載の単結晶インゴット製造装置。 - 前記第2領域の突出部分が前記ストッパーにかかるとき、前記ネックカバーのボトム部と前記遮熱部材は遮熱膜を形成する、請求項4に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記遮熱膜が形成されるうちに、前記種結晶部を前記溶融物に浸漬して前記単結晶インゴットのネック部が成長するように制御する制御部をさらに含む、請求項5に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記ネックカバーのトップ部と側部の素材は金属または金属酸化物を含む、請求項4に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記ネックカバーの前記ボトム部の素材はM/I(単量体対開始剤)1.0ppma以下の物質を含む、請求項4に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 溶融物を収容するるつぼ;前記るつぼを加熱するヒーター;前記ヒーターと前記溶融物からの放射熱を遮断する遮熱部材;及び前記輻射熱が遮断されない前記遮熱部材のオープニングに導入され、前記るつぼの上部で種結晶部を取り囲み、所定区間内で前記種結晶部の昇降と連動して昇降するネックカバーを含む単結晶インゴット製造装置によって行われる単結晶インゴット製造方法において、
前記溶融物を生成する段階;
前記種結晶部と前記ネックカバーを一緒に前記所定区間だけ下降させる段階;
前記下降されたネックカバーが固定された状態で前記種結晶部をさらに下降させて前記溶融物に浸漬させた後、前記種結晶部を引き上げてネック部を成長させる段階;及び
前記ネック部を成長させた後、前記種結晶部と前記ネックカバーを一緒に引き上げる段階を含む、単結晶インゴット製造方法。 - 溶融物を収容するるつぼ;前記るつぼを加熱するヒーター;前記ヒーターと前記溶融物からの放射熱を遮断する遮熱部材;及び前記輻射熱が遮断されない前記遮熱部材のオープニングに導入され、前記るつぼの上部で種結晶部を取り囲み、所定区間内で前記種結晶部の昇降と連動して昇降するネックカバーを含む単結晶インゴット製造装置によって製造された単結晶インゴットにおいて、
前記ネックカバーによって取り囲まれた前記種結晶部が前記溶融物に浸漬されて成長し、5.5mm以上の直径を持つ無転位のネック部を含む、単結晶インゴット。 - 前記単結晶インゴットは、
前記ネック部の下側で成長したショルダー部;及び
前記ショルダー部の下側で成長し、300mm以上の直径を持つ直径部をさらに含む、請求項10に記載の単結晶インゴット。 - 前記ネックカバーは、
少なくとも一つの内壁層;及び
前記少なくとも一つの内壁層上に配置され、前記ネックカバーの内部から放出された熱の透過を遮断する少なくとも一つの外壁層を含む、請求項1に記載の単結晶インゴット製造装置。 - 溶融物を収容するるつぼ;
前記るつぼを加熱するヒーター;
前記ヒーターと前記溶融物からの輻射熱を遮断する遮熱部材;及び
前記輻射熱が遮断されない前記遮熱部材のオープニングに導入され、前記るつぼの上部で種結晶を取り囲むネックカバーを含み、
前記ネックカバーは、
少なくとも一つの内壁層;及び
前記少なくとも一つの内壁層上に配置され、前記ネックカバーの内部から放出された熱の透過を遮断する少なくとも一つの外壁層を含む、単結晶インゴット製造装置。 - 前記少なくとも一つの外壁層の孔隙率は前記少なくとも一つの内壁層の孔隙率より高い、請求項12または13に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記少なくとも一つの外壁層はバブルを含み、前記少なくとも一つの内壁層はバブルを含んでいない、請求項12または13に記載の単結晶インゴット製造装置。
- 前記少なくとも一つの内壁層と前記少なくとも一つの外壁層のそれぞれの素材はSiO2を含む、請求項12または13に記載の単結晶インゴット製造装置。
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