JP5304206B2 - 単結晶の製造方法および単結晶の製造装置 - Google Patents
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Description
この製造装置は、シリコン単結晶の引き上げ装置70とその外側に配設された磁場印加装置71で構成される。引き上げ装置70は中空円筒状のチャンバー80を具備し、その中心部にルツボが配設されている。このルツボは二重構造であり、有底円筒状をなす石英製の内側保持容器(以下、単に「石英ルツボ75a」という)と、その石英ルツボ75aの外側を保持すべく適合された同じく有底円筒状の黒鉛製の外側保持容器(「黒鉛ルツボ75b」)とから構成されている。
以上より、本発明の製造方法によれば、直径と酸素濃度の成長方向での変動が抑制された高品質のシリコン単結晶を歩留まり良く製造することができる。
このような割合でずらせば、磁場分布の移動による引き上げ中の単結晶への悪影響もほとんど無く、より高品質な単結晶を製造することができる。
以上より、本発明の製造装置によれば、直径と酸素濃度の成長方向での変動がほとんどない高品質のシリコン単結晶を歩留まり良く製造することができる。
このような割合でずらせば、磁場分布の移動による引き上げ中の単結晶への悪影響もほとんど無く、より高品質な単結晶を製造することができる。
磁場印加装置を使用して製造したシリコン単結晶製造において、単結晶直径の周期的な変動が装置により異なっていたため、調査のために実際に磁場印加装置から発生する磁場の中心を測定した。
従来、磁場中心位置と単結晶の引上軸とを一致させるように装置を設置していた。そしてこの一致させる方法として、磁場印加装置とルツボ等を、その装置同士の位置関係を調節することで、磁場中心位置と単結晶の引上軸とが一致するように設置されていたが、実際にはずらした方が直径変動が小さいことを見出した。
従って、従来のように引上軸と磁場中心位置を一致させるのではなく、位置をずらすことにより磁場強度の分布や磁場の向きが変わり、温度分布の不均一場も同時に中心からずれて、成長している結晶に対する周期的な温度変動の影響を緩和することができ、さらには、中心からずれた温度不均一場自体もルツボ回転や結晶回転に基づく強制対流により緩和されることを見出した。
さらに、これらのような範囲に正確に調整するために、予め実際に装置から発生する磁場の中心位置を測定して調整しておく必要があり、これにより装置毎のバラツキも防止できることを見出して、本発明を完成させた。
図1は、本発明のシリコン単結晶の製造装置の実施態様の一例を示す概略図である。図2は、本発明の磁場印加装置の移動機構の一例を示す概略図である。図6は、単結晶の引上軸の周り2〜14mmの範囲を示す概略図である。
移動機構20としては、例えば図2に示すように、左右移動用の駆動モーター23a(図2(B))、前後移動用の駆動モーター23b(図2(C))にボールネジ24を取り付けて、ボールネジ24に連結棒25を取り付け、それらを磁場発生部30と下部フレーム26に装着して、図2(A)に示すようにコントロール装置27により駆動モーター23a、bを作動させてX方向およびY方向に移動可能なLMガイド29上で磁場印加装置20を所定の距離移動させる。
なお、ずらす範囲としては水平方向であるため、前後左右に限定されず、図6に示すように、引上軸17周りの円状の範囲内でずらすことができる。
図5は本発明の磁場の中心位置の測定方法を模式的に示す斜視図(A)と側面図(B)である。例えば、引上軸17の位置を中心として、磁場測定用の冶具(アルミ製のプレート)28で測定ピッチ50mmのもの(90cm角の冶具で50mmの等間隔に磁場測定子(センサー)をセットできるよう穴が空けてある)を設置し、磁場印加装置20より磁場を印加し、磁場印加装置20を前面からみて左右方向をX軸、前後方向をY軸として各ポイントの磁場の強度をガウスメータで測定する。そして、磁場分布はX軸の中心が一番低く、Y軸の中心が一番高い放物線を描くことを利用して、測定結果より2次曲線を計算し、磁場の中心位置を導き出す。
特に成長させる単結晶の酸素濃度は磁場中心位置を大きくずらすと成長初期で低く、成長後期で高くなって大きく変動してしまうため、成長初期は少しずらして(5mm)、成長中期は直径変動を抑えるために大きくずらし(14mm)、成長後期は少しずらした状態に戻す(5mm)等すると、より高品質な単結晶を製造することができる。
このような割合でずらせば、磁場分布の移動による引き上げ中の単結晶への悪影響もほとんど無く、より高品質な単結晶を製造することができる。
図1に示す製造装置を用いて、8インチ(200mm)のシリコン単結晶をシリコン融液200kgから製造した。磁場印加装置から発生させる磁場強度を4000ガウス(0.4T)とした。
このとき、予め磁場印加装置から発生する磁場の中心位置を上述のように測定した。そして、磁場印加装置の移動条件を設定するために、予め装置設置後の初期磁場中心位置を測定して、2〜14mmの範囲内で磁場印加装置を移動させて直径変動と酸素濃度変動の抑制に効果のあるずらす位置を確認した。
その後、測定した磁場中心と引上軸とを、単結晶製造前にX(左右)方向に5mmずらした状態から、単結晶引き上げ長さ10cmに対して1mmの割合で、成長中期にかけて14mmまでずらし、その後成長後期には5mmにまで戻して単結晶を製造した。移動機構にはスケールを取り付けて設定条件通りに磁場印加装置が移動しているか確認をしながら行った。
また、上記と同様に、ただしずらす方向をY(前後)方向にして単結晶を製造した。
図1に示す製造装置を用いて、8インチ(200mm)のシリコン単結晶をシリコン融液200kgから製造した。磁場印加装置から発生させる磁場強度を4000ガウス(0.4T)とした。
このとき、予め磁場印加装置から発生する磁場の中心位置を上述のように測定した。そして、測定した磁場中心と引上軸とを、単結晶製造前にX(左右)方向に5mmずらした状態に固定して単結晶を製造した。
また、上記と同様に、ただしずらす方向をY(前後)方向にして単結晶を製造した。
従来の製造装置を用いて、8インチ(200mm)のシリコン単結晶をシリコン融液200kgから製造した。磁場印加装置から発生させる磁場強度を4000ガウス(0.4T)とした。この単結晶製造を二回行った。
このとき、磁場印加装置は従来のように、装置同士の位置関係を調節することにより磁場中心が引上軸と一致するように、二回の製造でそれぞれ別々に設置して単結晶を製造した。このときの実際に発生するX方向およびY方向の磁場中心と引上軸の位置を測定した結果、一回目はX方向に0.5mm程度、二回目はY方向に1mm程度のずれがあった。
図8からわかるように本発明の製造方法、製造装置であれば、単結晶の成長方向での直径変動を効果的に抑えて目標の±1mm以内にすることができ、さらに、酸素濃度の変動についても許容範囲内に抑えることができた。
12…シリコン原料融液、 13…シリコン単結晶、
14…種結晶、 15a…石英ルツボ、 15b…黒鉛ルツボ、
16…支持軸、 17…引上軸、
18…ヒーター、 19…断熱材、 20…磁場印加装置、
21…引き上げ装置、 22…移動機構、 23…駆動モーター、
24…ボールネジ、 25…連結棒、 26…下部フレーム、
27…コントロール装置、 28…治具、 29…LMガイド、
30…磁場発生部。
Claims (6)
- 石英ルツボ内に収容したシリコン原料融液に、磁場印加装置により水平磁場を印加しながら単結晶の引き上げを行う水平磁場印加CZ法により単結晶を製造する方法において、前記磁場印加装置により発生した磁場の中心位置を測定し、前記単結晶製造中に渡って、又は、前記単結晶製造前及び前記単結晶製造中に渡って、前記測定された磁場の中心位置と前記単結晶の回転軸となる引上軸とを水平方向に2〜14mmの範囲でずらすことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
- 前記単結晶製造中に、前記測定された磁場の中心位置と前記単結晶の回転軸となる引上軸とを、前記単結晶の引き上げ長さ10cmに対して1mm以内の割合で水平方向にずらすことを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記単結晶製造中に渡って、前記測定された磁場の中心位置と前記単結晶の回転軸となる引上軸とを水平方向に2〜14mmの範囲でずらす際、前記単結晶の成長中期のずらす範囲を、前記単結晶の成長初期及び成長後期のずらす範囲より大きくすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 石英ルツボ内に収容したシリコン原料融液に、磁場印加装置により水平磁場を印加しながら単結晶の引き上げを行う水平磁場印加CZ法により単結晶を製造する装置において、少なくとも、前記シリコン原料融液を保持する石英ルツボと、前記シリコン原料融液に浸漬され、その下端面に単結晶を成長させつつ引き上げられる種結晶を回転させて引き上げる引上軸と、前記シリコン原料融液に水平磁場を印加させるように、前記石英ルツボを挟んで同軸上に対向して設置された磁場印加装置とを備え、前記磁場印加装置が移動機構を有することにより、前記単結晶製造中に渡って、又は、前記単結晶製造前及び前記単結晶製造中に渡って、前記磁場印加装置により発生した磁場の中心位置と前記引上軸とを水平方向に2〜14mmの範囲でずらすものであることを特徴とするシリコン単結晶の製造装置。
- 前記移動機構によって、前記磁場印加装置により発生した磁場の中心位置と前記引上軸とを、前記単結晶の引き上げ長さ10cmに対して1mm以内の割合で水平方向にずらすものであることを特徴とする請求項4に記載のシリコン単結晶の製造装置。
- 前記単結晶製造中に渡って、前記磁場印加装置により発生した磁場の中心位置と前記引上軸とを水平方向に2〜14mmの範囲でずらす際、前記単結晶の成長中期のずらす範囲を、前記単結晶の成長初期及び成長後期のずらす範囲より大きくするものであることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のシリコン単結晶の製造装置。
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