JP5169814B2 - シリコン単結晶の育成方法及びその方法で育成されたシリコン単結晶 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 189
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 177
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 177
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 177
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 39
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 37
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000004033 diameter control Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
本発明の別の目的は、全長にわたって均一で最適な酸素濃度分布であって、しかもグローイン欠陥の無いシリコン単結晶を提供することにある。
<実施例1>
コンピュータを用いた伝熱解析シミュレーションにより、直径200mmのシリコン単結晶を図1に示す育成装置を用いて育成した。具体的には、先ずチャンバ(メインチャンバ12及びプルチャンバ19)内を減圧した後、アルゴンガス(不活性ガス)を導入してチャンバ内を2600Paに減圧した不活性ガス雰囲気とし、るつぼ13内の結晶用原料をヒータ17により溶解した。次いでるつぼ13を10rpmの速度で回転させ、引上げ軸21をるつぼ13の回転方向とは逆方向に10rpmの速度で回転させながら、シードチャック23に取付けられた種結晶22を下降させてその先端部をシリコン融液15表面の直上に位置させた。この状態でシリコン融液15と熱遮蔽体28下端とのギャップGPが50mmになるようにるつぼ13をるつぼ駆動手段16により下降させた後に、ギャップGPを流れる不活性ガスの流速が1.3mm/秒となるように第1及び第2流量調整弁26a,27aを調整した。この状態でシリコン融液15表面に種結晶22を浸漬してシリコン単結晶11のネック部を介してトップ部(円錐部及びアッパ直胴部)を成長させた。次にシリコン単結晶11のミドル部を育成しているときに、上記ギャップGPを徐々に大きくして70mmに調整し、ギャップGPを流れる不活性ガスの流速を徐々に遅くして0.5mm/秒に調整し、更にチャンバ内圧力を徐々に高くして7000Paに調整し、上記変更されたギャップGP、不活性ガスの流速及びチャンバ内圧力でシリコン単結晶11のボトム部(ロア直胴部及び逆円錐部)を育成した。これにより、シリコン単結晶11のボトム部の育成時における、ギャップGPは20mmだけ大きくなり、ギャップGPを流れる不活性ガスの流速は0.8mm/秒だけ遅くなり、チャンバ内圧力は4400Paだけ高くなった。また上記ギャップGPの変更速度は0.1mm/分であった。なお、シリコン単結晶11の引上げ長の変化に対するギャップGP、不活性ガスの流速及びチャンバ内圧力の変化を図2(a)〜(c)に示す。
シリコン単結晶のミドル部の育成時に、上記実施例1のようなギャップ、不活性ガスの流速、及びチャンバ内圧力の変更を行わずに、ボトム部(ロア直胴部及び逆円錐部)を育成したこと以外は、実施例1と同様にシリコン単結晶を育成した。
<比較例2>
シリコン単結晶のミドル部の育成時に、上記実施例1のようなギャップ及び不活性ガスの流速の変更を行わなかったけれども、チャンバ内圧力のみを7000Paまで高くする変更を行って、ボトム部(ロア直胴部及び逆円錐部)を育成したこと以外は、実施例1と同様にシリコン単結晶を育成した。
<比較例3>
シリコン単結晶を育成する前に、ギャップを50mm(実施例1のトップ部育成時と同一のギャップ)に設定し、不活性ガスの流速を0.5mm/秒(実施例1のボトム部育成時と同一の流速)に設定し、チャンバ内圧力を7000Pa(実施例1のボトム部育成時と同一の圧力)に設定して、シリコン単結晶のトップ部、ミドル部及びボトム部を育成したこと以外は、実施例1と同様にシリコン単結晶を育成した。
<比較例4>
シリコン単結晶を育成する前に、ギャップを70mm(実施例1のボトム部育成時と同一のギャップ)に設定し、不活性ガスの流速を0.5mm/秒(実施例1のボトム部育成時と同一の流速)に設定し、チャンバ内圧力を7000Pa(実施例1のボトム部育成時と同一の圧力)に設定して、シリコン単結晶のトップ部、ミドル部及びボトム部を育成したこと以外は、実施例1と同様にシリコン単結晶を育成した。
実施例1及び比較例1〜4のシリコン単結晶の引上げ長の変化に対する引上げ速度の変化と、シリコン単結晶の引上げ長の変化に対するシリコン単結晶の引上げ方向及び半径方向にわたってグローイン欠陥の無い領域とするためのインゴットの引上げ速度の幅(無欠陥マージン)の変化と、シリコン単結晶の引上げ長の変化に対するシリコン単結晶中の酸素濃度の変化を測定した。その結果を図3〜図7に示す。
12 メインチャンバ(チャンバ)
13 るつぼ
15 シリコン融液
17 ヒータ
19 プルチャンバ(チャンバ)
22 種結晶
28 熱遮蔽体
GP ギャップ
Claims (2)
- チャンバに収容されたるつぼにシリコン融液を貯留し、このシリコン融液に種結晶を浸漬して引上げることによりシリコン単結晶を成長させ、更に前記シリコン融液表面より上方に設けられた熱遮蔽体が前記成長中のシリコン単結晶外周面を包囲してヒータによる前記シリコン単結晶外周面への輻射熱の照射を遮るシリコン単結晶の育成方法において、
前記シリコン単結晶のトップ部の育成時における前記シリコン融液表面と前記熱遮蔽体下端とのギャップを25〜60mmに調整し、前記シリコン単結晶のボトム部の育成時における前記ギャップを前記シリコン単結晶のトップ部の育成時における前記ギャップより10〜55mmだけ大きい40〜80mmに調整し、
前記シリコン単結晶のトップ部の育成時に前記ギャップを流れる不活性ガスの流速を1.0〜4.3mm/秒に調整し、前記シリコン単結晶のボトム部の育成時に前記ギャップを流れる不活性ガスの流速を前記シリコン単結晶のトップ部の育成時に前記ギャップを流れる不活性ガスの流速より0.7〜4.3mm/秒だけ遅い0.3〜1.7mm/秒に調整し、
前記シリコン単結晶のトップ部の育成時における前記チャンバ内の圧力を2500〜4500Paに調整し、前記シリコン単結晶のボトム部の育成時における前記チャンバ内の圧力を前記シリコン単結晶のトップ部の育成時における前記チャンバ内の圧力より1500〜4500Paだけ高い4000〜7000Paに調整し、
前記シリコン単結晶の引上げ速度を0.3〜5.0mm/分に調整し、
前記シリコン単結晶中の前記トップ部と前記ボトム部との酸素濃度の差を±1.0ppma以下とする
ことを特徴とするシリコン単結晶の育成方法。 - 請求項1に係る方法で育成されトップ部とボトム部との酸素濃度の差が±1.0ppma以下であるシリコン単結晶。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008333290A JP5169814B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | シリコン単結晶の育成方法及びその方法で育成されたシリコン単結晶 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008333290A JP5169814B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | シリコン単結晶の育成方法及びその方法で育成されたシリコン単結晶 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010155726A JP2010155726A (ja) | 2010-07-15 |
JP5169814B2 true JP5169814B2 (ja) | 2013-03-27 |
Family
ID=42573941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008333290A Active JP5169814B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | シリコン単結晶の育成方法及びその方法で育成されたシリコン単結晶 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5169814B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011184213A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶の製造方法 |
KR101343505B1 (ko) * | 2011-09-16 | 2013-12-20 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳 제조 방법 및 장치 |
JP5974974B2 (ja) * | 2013-05-23 | 2016-08-23 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
KR102461073B1 (ko) * | 2018-08-23 | 2022-10-28 | 가부시키가이샤 사무코 | 실리콘 단결정의 육성 방법 |
US11618971B2 (en) * | 2020-09-29 | 2023-04-04 | Sumco Corporation | Method and apparatus for manufacturing defect-free monocrystalline silicon crystal |
KR102603323B1 (ko) * | 2021-10-19 | 2023-11-17 | 한국전자기술연구원 | 그래핀 제조 방법 및 이에 의하여 제조된 그래핀 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3085568B2 (ja) * | 1993-11-01 | 2000-09-11 | コマツ電子金属株式会社 | シリコン単結晶の製造装置および製造方法 |
JPH09132496A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-20 | Mitsubishi Materials Corp | シリコン単結晶中の酸素濃度の調整方法及びその装置 |
KR100735902B1 (ko) * | 2000-02-28 | 2007-07-04 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 실리콘 단결정의 제조방법 및 실리콘 단결정 |
-
2008
- 2008-12-26 JP JP2008333290A patent/JP5169814B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010155726A (ja) | 2010-07-15 |
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Legal Events
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