JP2006044962A - シリコン単結晶引上装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】構造が簡単で安価で、安全なネック直径で大重量の無転位単結晶を製造することができるシリコン単結晶引上装置を提供する。
【解決手段】チョクラルスキー法を用いたシリコン単結晶引上装置において、石英ガラスルツボの上方に設けられシリコン単結晶が貫通する開口が形成された輻射シールドと、シードチャックに取り付けられ、種結晶が融液に接触する位置において、輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間が形成されるように、輻射シールドの開口部の面積を減じる断熱板を有する。
【選択図】 図1
【解決手段】チョクラルスキー法を用いたシリコン単結晶引上装置において、石英ガラスルツボの上方に設けられシリコン単結晶が貫通する開口が形成された輻射シールドと、シードチャックに取り付けられ、種結晶が融液に接触する位置において、輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間が形成されるように、輻射シールドの開口部の面積を減じる断熱板を有する。
【選択図】 図1
Description
本発明はシリコン単結晶引上装置に係り、特に輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間を形成したシリコン単結晶引上装置に関する。
チョクラルスキー法によりシリコン単結晶を引上げる場合、シリコン種結晶をシリコン融液に接触させた際に発生する熱衝撃により、種結晶にスリップ転位が高密度で発生する。
この転位を消滅させる方法として、直径3〜4mmで一定の長さの結晶を育成するダッシュネック法が広く行われている。しかし、このダッシュネック法は直径が300mmの単結晶を引上げる場合には、ネックにかかる総重量が300kgを超えるため強度不足が問題になる。
この問題を解決するため、種結晶を加熱し熱衝撃を緩和する方法が各種提案されている(特許文献1、特許文献2)。
特許文献1には、種結晶に熱伝導用部材を嵌着し、さらに、熱伝導用部材に石英筒をかぶせて、種結晶を融液の表面に近接させ、融液と種結晶との温度差を極めて小さくし、ネッキングをすることなく単結晶の引き上げ育成を可能とするものであるが、1回の引上げ毎に熱伝導用部材及び石英筒を準備しなければならず、コストアップの要因となり、さらに、熱伝導用部材及び石英筒の下部を浸漬するため、液面振動が発生し、単結晶育成時において直径制御が難しくなり、また、不純物混入のおそれがある。
また、特許文献2には、種結晶の先端部にレーザ等により溶解した状態で種結晶をシリコン融液の中に徐々に浸漬させて引き上げることで、種結晶に転位が導入されない確率を高める単結晶の製造方法が開示されている。この場合、不純物汚染に対する影響はないが、装置改造等を必要とするためコストアップの要因となり、さらに、レーザー光を種結晶の先端部分に的確に照射するためには、種結晶先端部が、先細り形状であることが必要不可欠であり、更には、レーザ光照射において種結晶先端部の温度と、融液の温度を一定として、その温度差を極めて小さくするためには、より煩雑な制御を必要とするため、好ましくない。
なお、特許文献3には、ルツボ上方空間に開閉可能な熱遮蔽板を設け、多結晶シリコン融解時、種結晶浸着時には、閉状態とすることで、ヒーターパワーの増大による石英ルツボの劣化等を防止することができる旨が記載されている。この場合、熱遮蔽版が閉状態の時に、上記ルツボ上方空間内に種結晶が収容されるため、収納時において種結晶が加熱される効果を有するが、融液と種結晶との温度差を積極的に小さくし、融液接触時の熱衝撃を緩和させることで、ダッシュネック時のネック径を大きくすることができる旨の記載はなく、また、示唆もされていない。さらに、本装置の構成では、単結晶引上げに極めて有効な輻射シールドを用いることができない。
特開2000−313693号公報
特開2001−106593号公報
特開平10−81593号公報
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、装置の改造が容易で安価に、かつ安全なネック直径で大重量の無転位単結晶を製造することができるシリコン単結晶引上装置を提供することを目的とする。
上述した目的を達成するため、本発明に係るシリコン単結晶引上装置は、チャンバと、前記チャンバ内に設けられ原料シリコンが収納される石英ガラスルツボと、前記石英ガラスルツボを周囲から加熱するヒータと、前記石英ガラスルツボの上方に設けられ、育成したシリコン単結晶が貫通するための開口が形成された輻射シールドと、前記輻射シールドを貫通し種結晶を保持するためのシードチャックと、前記シードチャックに取り付けられ、昇降可能な引上げ用ワイヤを具備するシリコン単結晶引上装置において、前記シードチャックに取り付けられ、前記輻射シールドの開口部の面積を減じるように設けられた断熱板を有し、前記輻射シールドの降下に伴ってこの輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間が形成されかつ、この断熱板と前記輻射シールドの開口部の係合状態において、前記断熱板は前記シードチャックから外れることを特徴とする。
本発明に係るシリコン単結晶引上装置によれば、装置の改造が容易で安価に、かつ安全なネック直径で大重量の無転位単結晶を製造することができるシリコン単結晶引上装置を提供することができる。
以下、本発明に係るシリコン単結晶引上装置の一実施形態について添付図面を参照して説明する。
図1は本発明の一実施形態に係るシリコン単結晶引上装置の概念図である。
図1に示すように、本実施形態に係るシリコン単結晶引上装置1は、チャンバ2と、このチャンバ2内に設けられ原料シリコンが収納される石英ガラスルツボ3と、この石英ガラスルツボ3を周囲から加熱し、原料シリコンを溶融し、融液Mとするヒータ4と、石英ガラスルツボ3の上方の引上領域を囲むように設置され不活性ガスの流れを整流し、育成したシリコン単結晶が貫通する開口部5aが形成された輻射シールド5と、この輻射シールド5を貫通する種結晶Sを保持するシードチャック6と、このシードチャック6が取り付けられ昇降可能な引上げ用ワイヤ7と、このワイヤ7を巻取るワイヤ巻取機構8と、シードチャック6に取り付けられ、輻射シールド5の開口部5aの面積を減じるように設けられ、通気孔9bが設けられた断熱板9を有している。
さらに、チャンバ2の上方には、不活性ガス供給口10が設けられ、また、チャンバ2の底部には不活性ガス排出口11が設けられており、図中実線矢印で示すように、不活性ガス供給口10から供給された不活性ガスが、断熱板9の通気孔9b、輻射シールド5の開口部5a、融液液面Ma近傍、ヒータ4近傍を流れ、不活性ガス排出口11からチャンバ2外に排出されるようになっている。
また、輻射シールド5は、例えば熱伝導性が小さく断熱性に優れた黒鉛基材からなり、その表面はクリーンな雰囲気を保つように炭化珪素で被覆されており、上記開口部5aが設けられシリコン単結晶Igを囲うように配置された中空筒状、例えば中空截頭円錐状をなしている。
図2及び図3に示すように、断熱板9は、輻射シールド5と同材質で形成され、円板形状をなし、中央部には、断熱板9をシードチャック6に着脱自在に取り付けるために、このシードチャック6の截頭円錐状の係合部6aに上下に着脱自在に係合する截頭円錐状の取付ボス9aと、この取付ボス9aの周囲に設けられ扇状をなす3個の通気孔9bが設けられている。なお、断熱板9は汚染の少ない石英ガラスもその材質として用いてもよい。
このように円板形状をなす断熱板9は、図4(a)に示すように、断熱板9が輻射シールド5の上部近傍に位置するときは、断熱板9はシードチャック6に取り付けられているが、断熱板9と輻射シールド5の内周面5b間には間隙が形成されているので、断熱板9がシードチャック6とともに回転している場合でも、断熱板9と輻射シールド5が擦れることがなく、発塵などがない。さらに、断熱板9の存在によりシードチャック6が下降中も、融液からの熱により、効率的に種結晶Sを加熱できるため効率がよい。
また、シードチャック6の降下により断熱板9の外周が、輻射シールド5の内周面5bに当接され、さらに、シードチャック6を下降させることで、シードチャック6の係合部6aと断熱板9の取付けボス9aとが離間、図4(b)に示すように、断熱板9と、輻射シールド5と、液面Maで輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間Aが形成される。従って、このような構成にすることで、引き上げ中でも断熱板9と輻射シールド5が擦れるという不具合は発生しない。最後に図4(c)に示すように、シードチャック6がさらに降下させた状態で、加熱続けられた種結晶Sが融液Mに接触する。
このように、輻射シールド5の開口部5aの面積を減じるような断熱板9を設けることにより、種結晶Sを加熱する高温空間Aを簡単な構造で安価に形成することができる。
次に本発明に係わるシリコン単結晶引上装置を用いたシリコン単結晶の引上方法について説明する。
図1及び図5(a)に示すように、原料ポリシリコンを石英ガラスルツボ3に充填し、不活性ガスをチャンバ2の上方の不活性ガス供給口10からチャンバ2内に流入させ、ヒータ4により、石英ガラスルツボ3を加熱し、原料ポリシリコンを融液Mとし、ルツボ回転用モータを付勢して、このモータに結合されたルツボ回転軸により石英ガラスルツボ3を回転させる。
しかる後、ワイヤ巻取機構8を回転させて、引上用ワイヤ7を徐々に降下させ、シードチャック6を降ろしていく。このシードチャック6の降下に伴い、このシードチャック6に取り付けられた断熱板9も降下する。この断熱板9により、この断熱板9と輻射シールド5の内周面5bに形成される間隙は徐々に狭められ、断熱板9の働きで輻射シールド5内空間の温度がより高くなり、断熱板9の下方に位置し、シードチャック6の降下と共に降下する種結晶Sは徐々に加熱されていく。
次に、図5(b)に示すように、シードチャック6及び輻射シールド5が降下して、断熱板9が輻射シールド5に当接すると、開口部5aの面積が減じ、この結果、輻射シールド5の下部近傍域に種結晶Sを加熱する高温空間Aが形成される。さらに、図5(c)に示すように、シードチャック6がさらに降下した状態で、加熱続けられた種結晶Sが融液Mに接触する。
一般的に種結晶Sは、液面Maおよび融液上に露出している石英ガラスルツボ3の側面からの輻射熱で加温されるが、種結晶Sが融液温度よりも低くなるのは、種結晶S内の熱が温度の低い上方に放冷しているからである。そこで、上方への放冷を抑制し、種結晶Sを加熱するため、断熱板9を設け高温空間Aを形成する。
種結晶Sの温度は、断熱板を設けない従来の種結晶の温度に比べて、著しく高温域まで上昇しており、融液Mと種結晶Sとの温度差を極めて小さくすることができる。
このような高温空間が形成される過程及び高温空間が形成された時点で種結晶Sは十分に加熱されている。そのため、融液Mに種結晶Sを浸漬させるときの熱衝撃が大幅に緩和され、種結晶に発生するスリップを大幅に低減できる。従って、高重量に耐える太いネック直径でも無転位単結晶を得ることが可能となる。
次に、図5(d)に示すように、種結晶Sを融液Mになじませた後、シードチャック6を上昇させて、単結晶Igを成長させる。種結晶Sの下端に成長する単結晶Igには溶液に接触させた際に発生する熱衝撃によるスリップ転位発生が抑制されているので、大重量に耐える太いネック直径でも無転位単結晶を得ることができる。
なお、断熱板9は、シードチャック6の上昇とともに、輻射シールド5の内周面5bに当接された状態から、シードチャック6に係合された状態になり、内周面5bから離間し、シードチャック6と共に上昇していく。なお、この過程においてもシードチャック6との係合、輻射シールドとの離間が瞬時に行われるため、輻射シールド5と断熱板9とが、シードチャック6の回転により擦れて発塵を発生させることはない。
最後に、図5(e)に示すように、単結晶Igを所定の長さまで育成していき、縮径部12を形成した後に、融液Mから切り離す。このように高温空間Aが形成されている状態から高温空間Aが無くなるため、単結晶Igは急激に冷却される。そのため、単結晶Igの冷却速度が大きくなるため、これに起因するCOPの発生を抑制することができる。
なお、融液接触時における熱衝撃をより小さく抑制できるならば、前述したダッシュネック工程を行うことなく、無ネックで単結晶を育成することができる。
上記のように本実施形態のシリコン単結晶引上装置によれば、断熱板により輻射シールドの開口部の面積を減じ、輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間を形成し、この高温空間が形成される過程及び高温空間が形成された時点で種結晶を十分に加熱することで、融液に種結晶を浸漬させるときの熱衝撃を大幅に緩和して、転位の発生がなく、高重量に耐える太いネック直径でも、無転位結晶を得ることが可能となり、構造が簡単で安価にかつ、大重量の無転位単結晶を安全に製造することができる。
図1に示すような本発明に係るシリコン単結晶引上装置を用い、チャージ量300kgでネック部を振って形成して直径が300mmのシリコン単結晶を長さ1.5m引上げ、単結晶化率(DF率)を評価した。なお、従来例として図1に示す断熱板を設けないで、その他は実施例と同じ条件で行い単結晶化率を評価した。
表1からもわかるように、断熱板が設けられネック部最小直径が4mmの実施例1は、DF率が92%と比較的高いが、引上げ中の落下の可能性があり、安全性に不安を残す。
断熱板が設けられネック部最小直径が6mmの実施例2は、引上げ中の落下の可能性が小さく、安全であり、DF率も90%と実施例1とほぼ同じ高いDF率を保つ。
これに対して、断熱板が設けられず、ネック部最小直径が4mmの従来例1は、DF率が95%と高いが、引上げ中の落下の可能性が非常に大きく、安全性に大きな不安を残す。
また、断熱板が設けられず、ネック部最小直径が6mmの従来例2は、転位が発生しDF率は0%であった。
1 シリコン単結晶引上装置
2 チャンバ
3 石英ガラスルツボ
4 ヒータ
5 輻射シールド
5a 開口部
6 シードチャック
7 引上げ用ワイヤ
8 ワイヤ巻取機構
9 断熱板
9a 取付部
9b 通気孔
10 不活性ガス供給口
11 不活性ガス排出口
2 チャンバ
3 石英ガラスルツボ
4 ヒータ
5 輻射シールド
5a 開口部
6 シードチャック
7 引上げ用ワイヤ
8 ワイヤ巻取機構
9 断熱板
9a 取付部
9b 通気孔
10 不活性ガス供給口
11 不活性ガス排出口
Claims (2)
- チャンバと、
前記チャンバ内に設けられ原料シリコンが収納される石英ガラスルツボと、
前記石英ガラスルツボを周囲から加熱するヒータと、
前記石英ガラスルツボの上方に設けられ、育成したシリコン単結晶が貫通するための開口が形成された輻射シールドと、
前記輻射シールドを貫通し種結晶を保持するためのシードチャックと、
前記シードチャックに取り付けられ、昇降可能な引上げ用ワイヤを具備するシリコン単結晶引上装置において、
前記シードチャックに取り付けられ、前記輻射シールドの開口部の面積を減じるように設けられた断熱板を有し、
前記輻射シールドの降下に伴ってこの輻射シールドの下部近傍域に種結晶を加熱する高温空間が形成されかつ、この断熱板と前記輻射シールドの開口部の係合状態において、前記断熱板は前記シードチャックから外れることを特徴とするシリコン単結晶引上装置。 - 前記断熱板は凹凸係合により前記シードチャックに取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶引上装置。
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JP2004224422A JP2006044962A (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | シリコン単結晶引上装置 |
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2004
- 2004-07-30 JP JP2004224422A patent/JP2006044962A/ja active Pending
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