JP2006160552A - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メインチャンバ内に整流ガスを導入するチョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法において、ネック部にネック部の径を拡径する拡径部及びネック部の径を縮径する縮径部を形成し、前記拡径部の形成時、この拡径部を冷却する。
【選択図】 図1
Description
育成中のネック部の外周に大きい温度勾配を与えることによって転位を外周方向へ伝播させ、除去することができる。従って、従来よりもネック部の直径を大きくすることができ、短いネック部で転位除去が可能となる。
2 メインチャンバ
3 ルツボ組立
3a 石英ルツボ
3b 黒鉛ルツボ
4 支持軸
5 ヒータ
7 輻射シールド
9 CCDカメラ
10 ガス整流機構
10a 整流板
Claims (2)
- 整流ガスを供給して種結晶をシリコン融液に接触して、ネック部を育成してシリコン単結晶を引上げるチョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法において、前記ネック部にネック部の径を拡径する拡径部及びネック部の径を縮径する縮径部を形成し、前記拡径部の形成時、この拡径部を冷却することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
- 前記拡径部の冷却は、整流板を用い前記整流ガスを前記拡径部に当てて行うことを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶の製造方法。
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JP2004353109A JP2006160552A (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | シリコン単結晶の製造方法 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009227509A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Covalent Materials Corp | 単結晶の引上げ方法 |
KR101391514B1 (ko) | 2010-09-16 | 2014-05-07 | 글로벌웨어퍼스 재팬 가부시키가이샤 | 단결정 인상 장치 및 단결정 인상 방법 |
CN113574213A (zh) * | 2019-03-20 | 2021-10-29 | 信越半导体株式会社 | 单晶制造装置 |
CN114686967A (zh) * | 2022-05-07 | 2022-07-01 | 合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司 | 一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法 |
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2004
- 2004-12-06 JP JP2004353109A patent/JP2006160552A/ja active Pending
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