JP2016210371A - 物品搬送設備 - Google Patents
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Abstract
Description
そのため、上記従来の物品搬送設備では、物品搬送車の受電部を、車体横幅方向に沿ってスライド移動自在に車体本体部に支持し、第1走行部が縦軸心周りに回動するのに同期して受電部が曲線部分において半径方向の外側にスライド移動するように、第1走行部と受電部とが連動機構により連動連結されている。
前記第1走行輪及び前記第2走行輪は、前記走行レールの走行面を転動し、前記第1走行部は、第1支持機構により前記搬送車本体に対して支持されるとともに、前記走行レールにより案内され、前記第1支持機構は、前記第1走行部を、上下方向に沿う第1軸心周りに回転自在に支持し、前記第1軸心は、上下方向視で前記第1走行部と重複するように配置され、前記第2走行部は、第2支持機構により前記搬送車本体に対して支持されるとともに、前記走行レールにより案内され、前記第2支持機構は、前記第2走行部を、上下方向に沿う第2軸心周りに回転自在に支持し、前記第2軸心は、上下方向視で前記第2走行部と重複するように配置され、前記受電部として、前記第1走行部と一体的に前記第1軸心周りに回転する第1受電部と、前記第2走行部と一体的に前記第2軸心周りに回転する第2受電部と、を備えている点にある。
このとき、第1受電部は、第1走行部と一体的に第1軸心周りに回転し、第2受電部は、第2走行部と一体的に第2軸心周りに回転して、第1受電部や第2受電部の姿勢を曲線部分の給電線に応じた姿勢に切り換えることができる。
そして、受電部を、物品搬送車の走行方向に広い範囲で分散して配設できるため、例えば、走行経路が分岐又は合流する部分等において、給電線が経路長手方向に分断されている場合でも、経路長手方向で受電部の全てが給電線から外れるという状態を回避し易いため、受電部が給電線から安定よく受電できる。
そのため、給電線に対する第1受電部の位置と給電線に対する第2受電部の位置とを同様の位置関係にでき、曲線部分に沿って配設される給電線を第1受電部に対して適切な位置に配設することで第2受電部に対しても同様に適切な位置に配設することができるので、第1受電部及び第2受電部の給電線からの給電効率を高めることができる。
図1に示すように、物品搬送設備には、走行経路1に沿って配置された走行レール2と、走行レール2に案内されて走行経路1に沿って走行する物品搬送車3と、を備えている。尚、本実施形態では、物品搬送車3は、半導体基板を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)を物品Wとして搬送する。
走行経路1は、直線状に設定された直線部分1aと曲線状に設定された曲線部分1bとを備えている。具体的には、主経路4は、平行な一対の直線部分1aと一対の直線部分1aの端部同士を接続する一対の曲線部分1bとで形成されている。複数の副経路5の夫々は、主経路4と同様に、一対の直線部分1aと一対の曲線部分1bとで形成されている。接続経路6は、主経路4に接続される曲線部分1bと副経路5に接続される直線部分1aとで形成されている。このように、走行経路1は、直線部分1aと曲線部分1bとを組み合わせて設定されている。
また、接続経路6として、主経路4から副経路5に向けて物品搬送車3を分岐走行させる分岐用の接続経路6と、副経路5から主経路4に向けて物品搬送車3を合流走行させる合流用の接続経路6と、が備えられている。
尚、物品搬送車3の前後方向に対して平面視で直交する方向を車体横幅方向と称して説明する。また、物品搬送車3の後方から前方を見た状態で、車体横幅方向における左右方向を特定して説明する。また、走行部9については、平面視で走行輪15の回転軸心に対して直交する方向を走行方向としており、物品搬送車3が走行経路1の直線部分1aを走行しているときは、物品搬送車3の前後方向と走行部9の走行方向とが同じ方向となる。
また、走行経路1については、走行経路1に沿う方向を経路長手方向とし、その経路長手方向に対して平面視で直交する方向を経路幅方向と称して説明する。ちなみに、例えば、物品搬送車3が走行経路1の直線部分1aを走行しているときは、走行方向と経路長手方向とは同じ方向となり、車体横幅方向と経路幅方向とは同じ方向となる。
搬送車本体10には、搬送車本体10に昇降自在に備えられて物品Wを吊り下げ状態で支持する支持部13が備えられている。
走行部9として、第1走行部9fと、この第1走行部9fと前後方向に並ぶ状態で備えられた第2走行部9rと、が備えられている。尚、前後方向に並ぶ一対の走行部9のうち、前後方向で前方側に位置する走行部9を第1走行部9fとし、前後方向で後方側に位置する走行部9を第2走行部9rとしている。
第2走行部9rには、第1走行部9fと同様に、1組の左右一対の走行輪15と2組の左右一対の案内輪16とが装備されている。
尚、第1走行部9fに備えられている走行輪15が第1走行輪15fに相当し、第2走行部9rに備えられている走行輪15が第2走行輪15rに相当するものであり、第1走行輪15f及び第2走行輪15rは、走行レール2の走行面を転動する。
図5及び図6に示すように、第1走行部9fの連結軸17と搬送車本体10の第1支持機構18fとは、上下方向に沿う第1軸心X1周りに相対回転自在に連結されている。このように、第1走行部9fと搬送車本体10とを連結することで、第1走行部9fは、第1支持機構18fにより搬送車本体10に支持されている。また、第1支持機構18fは、第1走行部9fを上下方向に沿う第1軸心X1周りに回転自在に支持している。
第2走行部9rの連結軸17と搬送車本体10の第2支持機構18rとは、上下方向に沿う第2軸心X2周りに相対回転自在に連結されている。このように、第2走行部9rと搬送車本体10とを連結することで、第2走行部9rは、第2支持機構18rにより搬送車本体10に支持されている。また、第2支持機構18rは、第2走行部9rを上下方向に沿う第2軸心X2周りに回転自在に支持している。
第1軸心X1は、第1走行部9fにおける走行方向の幅内に位置し且つ車体横幅方向の幅内に位置しており、上下方向視で第1走行部9fと重複するように配置されている。
第2軸心X2は、第2走行部9rにおける走行方向の幅内に位置し且つ車体横幅方向の幅内に位置しており、上下方向視で第2走行部9rと重複するように配置されている。
第1受電部12fとして、外側第1受電部12foと内側第1受電部12fiとが備えられている。第2受電部12rとして、外側第2受電部12roと内側第2受電部12riとが備えられている。
これらの受電部12は、第1走行部9f及び第2走行部9rが前後方向に沿う姿勢となっている状態では、前後方向において前から、外側第1受電部12fo、内側第1受電部12fi、内側第2受電部12ri、外側第2受電部12roの順で一列に並んでいる。
内側第1受電部12fiは、第1走行部9fの連結軸17の後方側に位置するように第1走行部9fの連結軸17に固定されている。このように備えられた内側第1受電部12fiは第1軸心X1より後方に位置している。
外側第2受電部12roは、第2走行部9rの連結軸17の前方側に位置するように第2走行部9rの連結軸17に固定されている。このように備えられた外側第2受電部12roは第2軸心X2より前方に位置している。
内側第2受電部12riは、第2走行部9rの連結軸17の後方側に位置するように第2走行部9rの連結軸17に固定されている。このように備えられた内側第2受電部12riは第2軸心X2より後方に位置している。
そのため、受電部12は、第1軸心X1から外側第1受電部12foの前端部までの距離、第1軸心X1から内側第1受電部12fiの後端部までの距離、第2軸心X2から内側第2受電部12riの前端部までの距離、及び、第2軸心X2から外側第2受電部12roの後端部までの距離、が等しくなるように形成されている。
受電部12は、一対の給電線11の間に位置し且つ一対の給電線11と同じ高さに位置する第1部分12aと、第1部分12aから車体横幅方向の両側に延出して一対の給電線11の上下両側に位置する第2部分12bと、を備えている。
受電部12には、第2部分12bとして、第1部分12aの上端から車体横幅方向の両側に延出する上側の第2部分12bと、第1部分12aの下端から車体横幅方向の両側に延出する下側の第2部分12bと、の一対の第2部分12bが備えられている。
そして、第1走行部9fは、駆動部20にて前後一対の案内補助輪19を車体横幅方向に移動させることによって、前後一対の案内補助輪19の位置を、前後一対の案内補助輪19が第1走行部9fの車体横幅方向の中央より右側に位置してガイドレール21に対して右側から当接する右案内位置と、前後一対の案内補助輪19が第1走行部9fの車体横幅方向の中央より左側に位置してガイドレール21に対して左側から当接する左案内位置とに移動させるように構成されている。
第2走行部9rは、第1走行部9fと同様に、駆動部20にて前後一対の案内補助輪19の位置を右案内位置と左案内位置とに移動させるように構成されている。
物品搬送車3に備えられた受電部12は、その前端から後端までの長さ(外側第1受電部12foの前端から外側第2受電部12roの後端までの長さ)が、左右一対の走行レール2の経路幅方向での離間距離より長くなるように形成されており、上述した不連続区間の長さより長くなっている。
図7に示すように、走行経路1の接続部分には、ガイドレール21として、走行経路1の直線部分1aに沿って設置される直線ガイドレール21aと、走行経路1の曲線部分1bに沿って設置される曲線ガイドレール21bと、が設置されている。
そして、図7に示すように、副経路5を走行する物品搬送車3が、経路が分岐する接続部分に進入するときに、2組の前後一対の案内補助輪19(以下、単に案内補助輪19と称する)を左案内位置に移動させた状態で進入することで、物品搬送車3は、案内補助輪19が直線ガイドレール21aの左側に位置する状態で走行する。そのため、案内補助輪19は曲線ガイドレール21bにて案内されることなく、物品搬送車3は副経路5の直線部分1aから接続経路6の直線部分1aに分岐走行する。
また、副経路5を走行する物品搬送車3が、経路が分岐する部分に進入するときに、案内補助輪19を右案内位置に移動させた状態で進入することで、物品搬送車3は、案内補助輪19は直線ガイドレール21aの右側に位置する状態で走行する。そのため、案内補助輪19は曲線ガイドレール21bにて案内されて、物品搬送車3は副経路5を直線部分1aから曲線部分1bに走行する。
説明を加えると、図8に示すように、直線部分1aにおける一対の給電線11の間隔は、受電部12が前後方向に沿う姿勢(経路長手方向に沿う姿勢)となっている状態において、受電部12における第1部分12aの車両横幅方向の幅より広い間隔で且つ第2部分12bの車両横幅方向の幅より狭い間隔に設定されている。
また、曲線部分1bにおける一対の給電線11の間隔は、前後方向に対して平面視で傾いている姿勢となっており、曲線部分1bの接線方向に沿う姿勢となっている状態において、受電部12における第1部分12aの車両横幅方向の幅より広い間隔で且つ第2部分12bの車両横幅方向の幅より狭い間隔に設定されている。
そして、受電部12における一対の第2部分12bの夫々は、走行経路1の直線部分1aを走行する場合のみならず曲線部分1bを走行する場合も、上下方向視で一対の給電線11の双方と重複している。
このように、内側第1受電部12fiや外側第2受電部12roが突出してもこれらの受電部12が給電線11に干渉しないように、直線部分1aの終端部においては、一対の給電線11のうち、経路幅方向において曲線部分1bが曲がる方向(右側)とは反対側(左側)に位置する給電線11が、外側(左側)に膨らむ形状となるように配設されている。
また、同様に、直線部分1aの始端部においては、一対の給電線11のうち、経路幅方向において曲線部分1bが曲がる方向(右側)とは反対側(左側)に位置する給電線11が、外側(左側)に膨らむ形状となるように配設されている。
(1)上記実施形態では、受電部12は、第1軸心X1から外側第1受電部12foの前方側の端部までの距離、第1軸心X1から内側第1受電部12fiの後方側の端部までの距離、第2軸心X2から内側第2受電部12riの前方側の端部までの距離、及び、第2軸心X2から外側第2受電部12roの後方側の端部までの距離、が等しくなるように形成したが、受電部12を、これらの距離の一部又は全部が異なるように形成してもよい。具体的には、例えば、第1軸心X1から外側第1受電部12foの前方側の端部までの距離と、第2軸心X2から外側第2受電部12roの後方側の端部までの距離と、を等しい距離(第1距離)とし、第1軸心X1から内側第1受電部12fiの後方側の端部までの距離と、第2軸心X2から内側第2受電部12riの前方側の端部までの距離と、を等しい距離(第2距離)としながら、第1距離を第2距離より短い距離としてもよい。
1a 直線部分
1b 曲線部分
2 走行レール
3 物品搬送車
9f 第1走行部
9r 第2走行部
10 搬送車本体
11 給電線
12 受電部
12a 第1部分
12b 第2部分
12f 第1受電部
12fo 第1外側受電部
12fi 第1内側受電部
12r 第2受電部
12ro 第2外側受電部
12ri 第2内側受電部
15f 第1走行輪
15r 第2走行輪
18f 第1支持機構
18r 第2支持機構
X1 第1軸心
X2 第2軸心
Claims (6)
- 走行経路に沿って配置された走行レールと、前記走行レールに案内されて前記走行経路に沿って走行する物品搬送車と、を備え、
前記走行経路は、直線状に設定された直線部分と曲線状に設定された曲線部分とを備え、
前記物品搬送車は、搬送車本体と、第1走行輪を備えた第1走行部と、第2走行輪を備えた第2走行部と、前記走行経路に沿って配設された給電線から非接触で駆動用電力を受電する受電部と、を備え、
前記第1走行部と前記第2走行部とが前記物品搬送車の走行方向に並んでいる物品搬送設備であって、
前記第1走行輪及び前記第2走行輪は、前記走行レールの走行面を転動し、
前記第1走行部は、第1支持機構により前記搬送車本体に対して支持されるとともに、前記走行レールにより案内され、
前記第1支持機構は、前記第1走行部を、上下方向に沿う第1軸心周りに回転自在に支持し、
前記第1軸心は、上下方向視で前記第1走行部と重複するように配置され、
前記第2走行部は、第2支持機構により前記搬送車本体に対して支持されるとともに、前記走行レールにより案内され、
前記第2支持機構は、前記第2走行部を、上下方向に沿う第2軸心周りに回転自在に支持し、
前記第2軸心は、上下方向視で前記第2走行部と重複するように配置され、
前記受電部として、前記第1走行部と一体的に前記第1軸心周りに回転する第1受電部と、前記第2走行部と一体的に前記第2軸心周りに回転する第2受電部と、を備えている物品搬送設備。 - 前記給電線は、前記受電部に対して、上下方向視で前記走行経路の長手方向と直交する経路幅方向の両側に位置するように一対配設されている請求項1記載の物品搬送設備。
- 前記走行方向において前記第2走行部から前記第1走行部へ向かう方向を第1方向とし、その反対方向を第2方向として、
前記第1受電部として、前記第1軸心に対して前記第1方向側に位置する外側第1受電部と、前記第1軸心に対して前記第2方向側に位置する内側第1受電部と、が備えられ、
前記第2受電部として、前記第2軸心に対して前記第1方向側に位置する内側第2受電部と、前記第2軸心に対して前記第2方向側に位置する外側第2受電部と、が備えられている請求項2記載の物品搬送設備。 - 前記受電部は、前記第1軸心から前記外側第1受電部の前記第1方向の端部までの距離、前記第1軸心から前記内側第1受電部の前記第2方向の端部までの距離、前記第2軸心から前記内側第2受電部の前記第1方向の端部までの距離、及び、前記第2軸心から前記外側第2受電部の前記第2方向の端部までの距離、が等しくなるように形成されている請求項3記載の物品搬送設備。
- 一対の前記給電線は、前記直線部分における前記経路幅方向の間隔に比べて、前記曲線部分における前記経路幅方向の間隔が広くなるように配設されている請求項2〜4のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
- 前記受電部は、一対の前記給電線の間に位置し且つ一対の前記給電線と同じ高さに位置する第1部分と、前記第1部分から前記経路幅方向の両側に延出して一対の前記給電線の上下両側に位置する一対の第2部分と、を備え、
一対の前記第2部分の夫々が、上下方向視で一対の前記給電線の双方と重複している請求項2〜5のいずれか1項に記載の物品搬送設備。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11114323B2 (en) | 2017-10-23 | 2021-09-07 | Daifuku Co., Ltd. | Vehicle |
KR20210158331A (ko) | 2020-06-23 | 2021-12-30 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송설비 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105392683B (zh) * | 2013-12-18 | 2018-08-14 | 路易斯.R.扎莫拉诺莫芬 | 个性化高架城市交通 |
US10358147B2 (en) * | 2013-12-18 | 2019-07-23 | Luis Rodolfo Zamorano Morfín | Personalized elevated urban transport |
JP6358142B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2018-07-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
DE102015111124A1 (de) * | 2015-05-08 | 2016-11-10 | AFT Automatisierungs- und Fördertechnik GmbH & Co. KG | Mechanisch-elektrischer Antrieb |
JP6304122B2 (ja) * | 2015-05-13 | 2018-04-04 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6690497B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2020-04-28 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN110255111B (zh) * | 2019-07-24 | 2020-10-09 | 西安市红会医院 | 一种空中液体运输装置 |
KR102217233B1 (ko) * | 2019-10-07 | 2021-02-18 | 세메스 주식회사 | 반송차 제어 시스템 및 반송차 제어 방법 |
CN116344423B (zh) * | 2023-05-29 | 2023-08-11 | 上海新创达半导体设备技术有限公司 | 基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08205309A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-09 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 非接触給電システム |
US5893437A (en) * | 1997-08-06 | 1999-04-13 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Non-contact electric power supplying system for a vehicle |
JP2000142386A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 搬送台車 |
JP2011116313A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2128918C (en) * | 1993-07-29 | 1999-09-21 | Eiji Orisaka | Conveying system and method for a production line |
DE9406061U1 (de) * | 1994-04-12 | 1995-08-10 | Mts Modulare Transport Systeme Gmbh, Vomp | Sortieranlage zum Sortieren von einzeln geförderten Gegenständen |
DE19725644A1 (de) * | 1997-06-18 | 1998-12-24 | Alsthom Cge Alcatel | Bahn für mittels Weichen verzweigte Schienenstränge |
US6629502B2 (en) * | 2000-09-14 | 2003-10-07 | Daifuku Co., Ltd. | Conveyance system |
JP3508130B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2004-03-22 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
JP3601454B2 (ja) * | 2001-02-07 | 2004-12-15 | 村田機械株式会社 | 無人搬送車システム |
JP4048409B2 (ja) * | 2001-10-22 | 2008-02-20 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
US6655297B2 (en) * | 2002-04-19 | 2003-12-02 | Daifuku Co., Ltd. | Transfer system using movable bodies |
JP3981885B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2007-09-26 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP2005031873A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Trecenti Technologies Inc | 搬送システムおよび半導体製造システム |
TWI291447B (en) * | 2003-12-26 | 2007-12-21 | Murata Machinery Ltd | Track guided vehicle system |
JP4148194B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2008-09-10 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
JP4720267B2 (ja) * | 2005-04-14 | 2011-07-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4264840B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2009-05-20 | 村田機械株式会社 | 天井走行車 |
JP4366663B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2009-11-18 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
JP5099454B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2012-12-19 | 株式会社ダイフク | 交差部切換設備 |
JP5686501B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2015-03-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US8272331B2 (en) * | 2009-09-11 | 2012-09-25 | Autran Corp. | Automated transport system |
JP5440870B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2014-03-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5472209B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2014-04-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5527619B2 (ja) * | 2011-11-24 | 2014-06-18 | 株式会社ダイフク | 天井設置型の物品搬送設備 |
JP5720954B2 (ja) * | 2012-03-06 | 2015-05-20 | 株式会社ダイフク | 天井搬送車の清掃装置 |
EP2957974B1 (en) * | 2013-02-15 | 2020-03-11 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system |
JP6007880B2 (ja) * | 2013-10-10 | 2016-10-12 | 株式会社ダイフク | 天井搬送車 |
US9881824B2 (en) * | 2014-01-07 | 2018-01-30 | Murata Machinery, Ltd. | Transfer apparatus and control method thereof |
JP6079672B2 (ja) * | 2014-03-10 | 2017-02-15 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
JP6269535B2 (ja) * | 2015-03-04 | 2018-01-31 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6358142B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2018-07-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6278341B2 (ja) * | 2015-04-06 | 2018-02-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6304122B2 (ja) * | 2015-05-13 | 2018-04-04 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6327213B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2018-05-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6507897B2 (ja) * | 2015-07-10 | 2019-05-08 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
2015
- 2015-05-13 JP JP2015098232A patent/JP6304122B2/ja active Active
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2016
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08205309A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-09 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 非接触給電システム |
US5893437A (en) * | 1997-08-06 | 1999-04-13 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Non-contact electric power supplying system for a vehicle |
JP2000142386A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 搬送台車 |
JP2011116313A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11114323B2 (en) | 2017-10-23 | 2021-09-07 | Daifuku Co., Ltd. | Vehicle |
KR20210158331A (ko) | 2020-06-23 | 2021-12-30 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송설비 |
JP2022003858A (ja) * | 2020-06-23 | 2022-01-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP7455008B2 (ja) | 2020-06-23 | 2024-03-25 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
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