JP2016164930A - 光電変換素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換素子10は、第1の面1aを有する、第1導電型または第2導電型の半導体基板1と、半導体基板1の、第1の面1aと反対側の第2の面1b側に設けられた、第1導電型非晶質半導体膜3および第2導電型非晶質半導体膜5と、第1導電型非晶質半導体膜3上に設けられた第1電極12と、第2導電型非晶質半導体膜5上に設けられた第2電極11と、を備え、第2の面1bに沿った方向において、第2電極11の幅は第2導電型非晶質半導体膜5の幅以上である。
【選択図】図1
Description
<ヘテロ接合型バックコンタクトセルの構造>
図1に、実施形態1のヘテロ接合型バックコンタクトセルの模式的な断面図を示す。実施形態1のヘテロ接合型バックコンタクトセルは、半導体基板1を有する。半導体基板1の第1の面1a(受光面)には凹凸形状が形成されている。半導体基板1の第1の面1a上には誘電体膜7が形成されている。誘電体膜7の材料としては任意の材料を用いることができるが、たとえば窒化シリコンを含む膜を用いることができる。誘電体膜7の組成は、二次イオン質量分析(SIMS)によって誘電体膜7に含まれる各原子の含有量を測定することによって求めることができる。本実施形態において、半導体基板1はn型単結晶シリコン基板である。
以下、図2〜図6の断面模式図を参照して、実施形態1のヘテロ接合型バックコンタクトセルの製造方法の一例について説明する。
図7は、図1に示す構成の実施形態1のヘテロ接合型バックコンタクトセルを、第1電極12および第2電極11側から見た平面模式図である。本実施形態では、第2電極11は複数の島状に配置されている。第2電極11は、第2の面1b上において正方格子のパターンで配置されている。第2電極11の配置パターンは、正方格子に限られず、三角格子や非周期パターンであってもよい。本実施の形態では、半導体基板1の第2の面1b側から見たときに、第2電極11のそれぞれは円形を有している。半導体基板1の第2の面1b側から見たときに、複数の島状の第2電極11のそれぞれは、0μmより大きく10μm以下、より好ましくは、3μm以上9μm以下の曲率半径を有する円形を有していてもよい。
上述した光電変換素子10においては、第2電極11の幅が第2導電型非晶質半導体膜5の幅と同じになっており、実質的に第2電極11によって第2導電型非晶質半導体膜5の表面を覆った状態となっている。このため、第2導電型非晶質半導体膜5の表面全体から第2電極11へ十分に電流収集を行うことができる。
図8は、実施形態2のヘテロ接合型バックコンタクトセルを、第1電極12および第2電極11側から見た平面模式図である。図8に示す光電変換素子10は、基本的には、図1に示す光電変換素子10と同様の構成を備え、同様の効果を得ることができるが、複数の島状の第2のi型非晶質半導体膜4(図示せず)、複数の島状の第2導電型非晶質半導体膜5(図示せず)、複数の島状の第2電極11の配置が異なる。より特定的には、図8に示した光電変換素子10では、半導体基板1の第2の面1b側から見たときに、複数の島状の第2のi型非晶質半導体膜4、複数の島状の第2導電型非晶質半導体膜5及び複数の島状の第2電極11が、千鳥状に配置されている。
<ヘテロ接合型バックコンタクトセルの構造>
図12に、実施形態3のヘテロ接合型バックコンタクトセルの模式的な断面図を示す。
図13を参照しながら、図12に示したヘテロ接合型バックコンタクトセルの製造方法の一例について説明する。
(1) ここで開示された実施形態は、第1の面を有する、第1導電型または第2導電型の半導体基板と、半導体基板の、第1の面と反対側の第2の面側に設けられた、第1導電型非晶質半導体膜および第2導電型非晶質半導体膜と、第1導電型非晶質半導体膜上に設けられた第1電極と、第2導電型非晶質半導体膜上に設けられた第2電極と、を備え、第2の面に沿った方向において、第2電極の幅は第2導電型非晶質半導体膜の幅以上である光電変換素子である。
(2) ここで開示された実施形態の光電変換素子では、第2の面に沿った方向において、第2電極の端面の位置は、第2導電型非晶質半導体膜の端面の位置と一致していてもよい。
Claims (8)
- 第1の面を有する、第1導電型または第2導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の、前記第1の面と反対側の第2の面側に設けられた、第1導電型非晶質半導体膜および第2導電型非晶質半導体膜と、
前記第1導電型非晶質半導体膜上に設けられた第1電極と、
前記第2導電型非晶質半導体膜上に設けられた第2電極と、を備え、
前記第2の面に沿った方向において、前記第2電極の幅は前記第2導電型非晶質半導体膜の幅以上である、光電変換素子。 - 前記第2の面に沿った方向において、前記第2電極の端面の位置は、前記第2導電型非晶質半導体膜の端面の位置と一致している、請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記第1電極を構成する材料は、前記第2電極を構成する材料と異なっている、請求項1または2に記載の光電変換素子。
- 前記第1導電型非晶質半導体膜はp型非晶質シリコン膜であり、
前記第2導電型非晶質半導体膜はn型非晶質シリコン膜であり、
前記第2電極を構成する材料はアルミニウムよりイオン化傾向の低い材料である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光電変換素子。 - 前記第1電極を構成する材料は導電性接着剤である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 第1の面および前記第1の面と反対側の第2の面を有する半導体基板を準備する工程と、
前記半導体基板の前記第2の面側に、第1導電型非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第2の面側に、第2導電型非晶質半導体膜となるべき半導体膜を形成する工程と、
前記第1導電型非晶質半導体膜上に第1電極を形成する工程と、
前記半導体膜上に第2電極を形成する工程と、
前記第2電極をマスクとして用いて、エッチングにより前記半導体膜を部分的に除去することにより、前記第2導電型非晶質半導体膜を形成する工程とを備える、光電変換素子の製造方法。 - 前記第2導電型非晶質半導体膜を形成する工程では、ドライエッチングにより前記半導体膜を部分的に除去する、請求項6に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2導電型非晶質半導体膜を形成する工程では、ウエットエッチングにより前記半導体膜を部分的に除去する、請求項6に記載の光電変換素子の製造方法。
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