JP2016139747A - アライメント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル(10)で保持した第1被加工物(11a)を撮像し、第1分割予定ライン(13b)に対応したアライメントマーク(17c)の位置と、アライメントマークに対する第1分割予定ラインの位置関係と、を記憶する記憶ステップと、チャックテーブルで第2被加工物(11b)を保持する保持ステップと、記憶ステップで記憶したアライメントマークの位置を撮像して第2被加工物のアライメントマークを検出する検出ステップと、検出された第2被加工物のアライメントマークの位置と、記憶ステップで記憶した位置関係と、に基づいて、第2被加工物の第1分割予定ラインの位置を特定する特定ステップと、を備え、検出ステップでは、記憶ステップで記憶したアライメントマークの位置で第2被加工物のアライメントマークを検出できない場合、隣接する別の該アライメントマーク(17d)を検出する構成とした。
【選択図】図3
Description
11a 登録用の被加工物(第1被加工物)
11b 処理用の被加工物(第2被加工物)
13 分割予定ライン(ストリート)
13a,13b 第1分割予定ライン
13c 第2分割予定ライン
15 デバイス
17,17a,17b,17c,17d,17e アライメントマーク
A 表面
D1 第1の方向
D2 第2の方向
2 加工装置
4 基台
4a 開口
6 X軸移動テーブル
8 防塵防滴カバー
10 チャックテーブル
10a 保持面
12 クランプ
14 切削ユニット
16 支持構造
18 切削ユニット移動機構
20 Y軸ガイドレール
22 Y軸移動プレート
24 Y軸ボールネジ
26 Z軸ガイドレール
28 Z軸移動プレート
30 Z軸ボールネジ
32 Z軸パルスモータ
34 カメラ
36 切削ブレード
Claims (1)
- 複数の第1分割予定ライン及び該第1分割予定ラインと交差する複数の第2分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが形成された被加工物の、該各領域に対応して配置されたアライメントマークを検出し、該第1分割予定ラインの位置を特定するアライメント方法であって、
チャックテーブルで保持した第1被加工物を撮像し、該第1分割予定ラインに対応した該アライメントマークの位置と、該アライメントマークに対する該第1分割予定ラインの位置関係と、を記憶する記憶ステップと、
該記憶ステップを実施した後、該チャックテーブルで第1被加工物に対応した第2被加工物を保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該記憶ステップで記憶した該アライメントマークの位置を撮像して第2被加工物の該アライメントマークを検出する検出ステップと、
該検出ステップを実施した後、検出された第2被加工物の該アライメントマークの位置と、該記憶ステップで記憶した該アライメントマークに対する該第1分割予定ラインの位置関係と、に基づいて、第2被加工物の該第1分割予定ラインの位置を特定する特定ステップと、を備え、
該検出ステップでは、該記憶ステップで記憶した該アライメントマークの位置で第2被加工物の該アライメントマークを検出できない場合、該第1分割予定ラインの延在する方向に沿って第2被加工物の中央側に隣接する別の該アライメントマークを検出することを特徴とするアライメント方法。
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