JP2016125091A

JP2016125091A - 真空蒸着装置

Info

Publication number: JP2016125091A
Application number: JP2014265981A
Authority: JP
Inventors: 喜成近藤; Yoshinari Kondo; 博之田村; Hiroyuki Tamura
Original assignee: Canon Tokki Corp
Current assignee: Canon Tokki Corp
Priority date: 2014-12-26
Filing date: 2014-12-26
Publication date: 2016-07-11
Anticipated expiration: 2034-12-26
Also published as: TWI673379B; TW201627515A; KR20160079653A; CN105734495B; JP6529257B2; KR101989653B1; CN105734495A

Abstract

【課題】成膜パターンの平坦部の割合を大きくすると共にパターンボケを抑制できるのは勿論、膜厚分布が均一な蒸着膜を得ることが可能な真空蒸着装置の提供。
【解決手段】蒸発源１に、蒸発源１の長手方向に沿って複数の蒸発口部２を設け、蒸発源１と蒸発源１に対向する位置に配設された基板３とは、蒸発源１の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、蒸発口部２から成膜材料を射出することで、基板３上に蒸着膜を形成する真空蒸着装置であって、複数の蒸発口部２のうち外側に設けられた少なくとも一対の外側蒸発口部２は、夫々蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、外側蒸発口部２の内側に位置する内側蒸発口部２のうちの少なくとも一つは、蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とする。
【選択図】図８

Description

本発明は、真空蒸着装置に関するものである。

成膜材料が収容される蒸発源に対向する位置に配設された基板上に蒸着膜を形成する真空蒸着装置においては、成膜材料が基板に到達する角度（基板への入射角）が小さい場合、成膜パターンの平坦部の割合が小さくなったり、蒸着用マスクと基板との隙間に成膜材料が浸透して所謂パターンボケが生じたりすることがあり、所望の成膜パターンを形成するのにマスク開口部を必要以上の大きさにする必要が生じ、成膜パターンの高精細化を達成できない。

そこで、例えば特許文献１に開示されるように、蒸発源の長手方向に複数並設した噴射ノズルの開口端面を、蒸発源の外側方向に向かせることで、噴射ノズルの配列範囲（ノズル範囲）を狭くして基板への入射角を大きくする技術が提案されている。

具体的には、図１に図示したように、蒸発源21の噴射ノズル22から射出される成膜材料の基板23への入射角θは、基板23と噴射ノズル22との距離ＴＳ、ノズル範囲Ｎ１及び蒸着領域幅Ｄ１を用い、次式（１）
ｔａｎθ＝（２ＴＳ／Ｎ１）−Ｄ１（１）
で表すことができ、よって、ノズル範囲Ｎ１を狭くすることで、入射角θを大きくすることができる。

即ち、図２に図示したように、成膜パターンの端部の傾斜部の幅は、[マスク厚×ｔａｎ（９０°−入射角）］で求めることができ、よって、入射角をθ21からθ22へと大きくすることで、傾斜部の幅を小さくして成膜パターンの平坦部の割合を大きくできる。また、図３に図示したように、成膜材料の浸透幅は、［基板とマスクとの隙間×ｔａｎ（９０°−入射角）］で求めることができ、よって、入射角をθ21からθ22へと大きくすることで、浸透幅を小さくしてパターンボケの範囲を小さくすることができる。図２，３中、符号24はマスクである。

また、マスクの開口部断面形状は、製造方法により、図２，３に図示したように基板に対して垂直にならない場合がある。その形状の場合、上記計算式とは異なる場合があるが、入射角θを大きくすることで、成膜パターン平坦部の割合を大きくできることに変わりなく、同様にパターンボケの範囲を小さくすることができる。

しかしながら、上記従来の技術を用いてノズル範囲を狭くした場合、基板中央部分の膜厚分布が均一にならないという問題点がある。

例えば、図４に図示したように、全ての噴射ノズル22の開口端面を蒸発源21の外側方向に向かせた場合には、基板中央部分が凹の膜厚分布Ｘとなる。また、図６に図示したように、中央部の幾つかの噴射ノズル22の開口端面を基板表面と平行にした場合には、中央部分が凸の膜厚分布Ｙとなる。

ここで、図４，６において、図５（ｂ），７（ｂ）に図示したように、ノズル範囲を広げて噴射ノズル22の傾斜角度や配置等を調整することで膜厚分布を均一化することは可能であるが、この場合、ノズル範囲が広がることで入射角増大効果が低下し、成膜パターンの平坦部の割合が小さくなり、パターンボケの抑制が困難となる。

特開２０１４−７７１９３号公報

本発明は、上述のような現状に鑑みなされたものであり、ノズル範囲を狭くしても基板中央部分の膜厚分布を均一化でき、成膜パターンの平坦部の割合を大きくすると共にパターンボケを抑制できるのは勿論、膜厚分布が均一な蒸着膜を得ることが可能な真空蒸着装置を提供するものである。

添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。

成膜材料が収容される蒸発源１に、この蒸発源１の長手方向に沿って複数の蒸発口部２を設け、前記蒸発源１と前記蒸発源１に対向する位置に配設された基板３とは、前記蒸発源１の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部２から前記成膜材料を射出することで、基板３上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部２のうち外側に設けられた少なくとも一対の外側蒸発口部２は、夫々前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記外側蒸発口部２の内側に位置する内側蒸発口部２のうちの少なくとも一つは、前記蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としたことを特徴とする真空蒸着装置に係るものである。

また、減圧雰囲気を維持する真空槽に成膜材料が収容される蒸発源１を設け、この蒸発源１の長手方向に沿って複数の蒸発口部２を設け、前記蒸発源１と前記蒸発源１に対向する位置に配設された基板３とは、前記蒸発源１の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部２から前記成膜材料を射出することで、基板３上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部２の外側両端に設けられた最端の外側蒸発口部２は、夫々前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記最端の外側蒸発口部２以外の前記蒸発口部２のうちの少なくとも一つは、前記蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としたことを特徴とする真空蒸着装置に係るものである。

また、減圧雰囲気を維持する真空槽に成膜材料が収容される蒸発源１を設け、この蒸発源１の長手方向に沿って複数の蒸発口部２を設け、前記蒸発源１と前記蒸発源１に対向する位置に配設された基板３とは、前記蒸発源１の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部２から前記成膜材料を射出することで、基板３上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部２の外側両端に設けられた最端の外側蒸発口部２は、夫々前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記最端の外側蒸発口部２以外の前記蒸発口部２のうちの少なくとも一対の蒸発口部２は、互いに向かい合うように夫々前記蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としたことを特徴とする真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発口部２の配列範囲は前記基板３の前記蒸発源１の長手方向における蒸着領域幅より狭い幅に設定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発口部２のうち、最端の外側蒸発口部２の開口径は、これより内側の蒸発口部２の開口径以上の径に設定したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発口部２の開口径は、前記蒸発源１の長手方向外側に向かって徐々に大きくなるように設定したことを特徴とする請求項５に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発口部２のうち、最端の外側蒸発口部２の開口端面の傾斜角度は、これより内側の蒸発口部２の開口端面の傾斜角度以上の角度に設定したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する前記蒸発口部２の開口端面の傾斜角度は、前記蒸発源１の長手方向外側に向かって徐々に大きくなるように設定したことを特徴とする請求項７に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、開口端面が前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する前記蒸発口部２から射出される前記成膜材料の前記基板３への入射角は４０°以上６０°以下に設定したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する前記蒸発口部２の開口端面の傾斜角度は２０°以上４５°以下に設定したことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する前記蒸発口部２の開口端面の傾斜角度は５°以上２０°以下に設定したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、異なる成膜材料が収容された複数の蒸発源１を設け、前記複数の蒸発源１のうちの少なくとも一つの蒸発源１に設けられた複数の蒸発口部２の開口端面が、前記蒸発源１と前記基板３との相対移動方向に傾斜することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発口部２の蒸発源１内にある成膜材料が入射する蒸発源内端面Ｐは、基板３表面に対して傾斜していることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発口部２の内部の成膜材料が通る領域Ｏは、円筒状の直管であることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

また、前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する外側蒸発口部２の成膜材料が通る領域Ｏは、蒸発源１の長手方向外側を向いており、前記蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する内側蒸発口部２の成膜材料が通る領域Ｏは、蒸発源１の長手方向中央側を向いていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の真空蒸着装置に係るものである。

本発明は上述のように構成したから、成膜パターンの平坦部の割合を大きくすると共にパターンボケを抑制できるのは勿論、膜厚分布が均一な蒸着膜を得ることが可能な真空蒸着装置となる。

入射角の概略説明図である。入射角を増大させた場合の効果を説明する概略説明図である。入射角を増大させた場合の効果を説明する概略説明図である。従来技術の膜厚分布の概略説明図である。従来技術の概略説明図である。従来技術の膜厚分布の概略説明図である。従来技術の概略説明図である。本実施例の概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。蒸発源の一例を示す概略説明側面図である。本実施例の概略説明側面図である。本実施例の膜厚分布の概略説明図である。別例１の概略説明正面図である。別例２の概略説明正面図である。別例３の概略説明正面図である。本実施例の外側蒸発口部の拡大概略説明側面図である。本実施例の内側蒸発口部の拡大概略説明側面図である。

好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。

蒸発源１の長手方向と直交する方向に基板３と蒸発源１とを相対的に移動させながら、蒸発源１の蒸発口部２から射出される成膜材料を基板３上に蒸着して蒸着膜を形成する。

この際、蒸発源１の長手方向外側を向く外側蒸発口部２により、蒸発口部２の配設範囲（ノズル範囲）を狭く設定しても基板３の蒸着領域全体に良好に蒸着することができ、また、蒸発源１の長手方向中央側を向く内側蒸発口部２の位置及び開口端面の傾斜角度等の設定によって、内側蒸発口部２以外の蒸発口部２により形成される基板中央部分の膜厚分布を補正して、より均一な膜厚分布とすることが可能となる。

即ち、本発明によれば、蒸発口部２の配設間隔を広げずとも、蒸発源１の長手方向中央側を向く内側蒸発口部２によって膜厚分布を均一化することができ、入射角の増大と膜厚分布の均一化とを両立できることになる。

本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。

本実施例は、減圧雰囲気を維持する真空槽に成膜材料が収容される蒸発源１を設け、この蒸発源１の長手方向に沿って複数の蒸発口部２を設け、前記蒸発源１と前記蒸発源１に対向する位置に配設された基板３とは、前記蒸発源１の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部２から前記成膜材料を射出することで、基板３上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置に本発明を適用したものである。

具体的には、本実施例は、前記複数の蒸発口部２の外側両端に設けられた最端の外側蒸発口部２は、夫々前記蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記最端の外側蒸発口部２以外の前記蒸発口部２のうちの少なくとも一対の蒸発口部２は、互いに向かい合うように夫々前記蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としている。

本実施例の蒸発源１は、図８に図示したように、ルツボ４と拡散室５とを連設状態に設けた構成とし、成膜材料は拡散室５の中央位置に連設されるルツボ４に収容される構成としている。なお、例えば図９に図示したように、ルツボを設けずに拡散室５に直接成膜材料を収容する構成としても良い。

また、本実施例の蒸発源１は、所謂線形蒸発源１であり、長手方向中央位置を境に左右対称に円形の開口部を有する筒状の蒸発口部２（噴射ノズル）を一列設ける構成としている。また、本実施例は、蒸発源１の長手方向中央位置と基板３の相対移動方向と直交する幅方向の中央位置とが一致した状態で固定された基板３に対して蒸発源１を移動させながら蒸着する構成としている。

具体的には、図８に図示したように、蒸発源１の長手方向中央部に位置する隣り合う一対の蒸発口部２を、蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する内側蒸発口部２ａに設定している。なお、内側蒸発口部２ａは少なくとも一つ設ける構成とすれば良く、例えば図１０に図示したように二対以上設ける構成としても良い。また、蒸発源１の長手方向中央位置を境に左右対称に蒸発口部２を設ける方が膜厚分布を均一にできるため、内側蒸発口部２ａは偶数個設けるのが好ましい。

また、前記内側蒸発口部２ａ以外の他の全ての蒸発口部２、計六つを、蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する外側蒸発口部２ｂに設定している。なお、外側蒸発口部２ｂは、少なくとも最端の蒸発口部２の開口端面が夫々蒸発源１の長手方向外側を向く構成とすれば良く、例えば図１１に図示したように内側蒸発口部２ａと外側蒸発口部２ｂとの間の蒸発口部２を、基板３表面と平行な開口端面を有する中間蒸発口部２ｃに設定する構成としても良い。また、外側蒸発口部２ｂも内側蒸発口部２ａと同様に左右対称位置に偶数個設けるのが好ましい。

また、ルツボ４を拡散室５の中央以外の位置に設置する場合は、蒸発口部２を蒸発源１の長手方向中央を境に左右非対称に設ける構成としても良い。

蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する外側蒸発口部２ｂから射出される成膜材料の基板３への入射角は、夫々４０°以上６０°以下となるように設定する。本実施例においては６０°となるように設定する。

具体的には、図２１に図示したように、蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する外側蒸発口部２ｂの開口端面の基板３表面に対する傾斜角度φ２は夫々２０°以上４５°以下に設定することで、入射角が４０°以上６０°以下となるようにしている。本実施例においては各外側蒸発口部２ｂのφ２は３０°に設定し、入射角が６０°となるようにしている。

また、図２２に図示したように、蒸発源１の長手方向中央側を向くように傾斜する内側蒸発口部２ａの開口端面の基板３表面に対する傾斜角度φ１は、他の蒸発口部２による膜厚分布に応じて適宜設定できるが、夫々５°以上２０°以下に設定するのが好ましい。本実施例においては各内側蒸発口部２ａのφ１は１５°に設定している。

また、図２１，２２に図示したように、蒸発口部２ａ，２ｂの蒸発源１内にある成膜材料が入射する蒸発源内端面Ｐは、基板３表面に対して傾斜させることで、蒸発した成膜材料の傾斜成分が蒸発口部２内に入射し易くなり、開口端面Ｑを傾斜させて斜め方向に射出させる蒸発粒子が増加するので、開口端面Ｑを傾斜させる効果が一層良好に発揮される。

また、蒸発口部２のうち、最端の外側蒸発口部２ｂの開口径は、これより内側の蒸発口部２の開口径以上の径に設定する。本実施例においては内側の蒸発口部２と同径とし、各外側蒸発口部２ｂの開口径を同径としている。

なお、蒸発口部２の開口径は、図１２に図示したように、蒸発源１の長手方向外側に向かって徐々に大きくなるように設定しても良い。この場合、蒸発口部２の配設範囲をより狭く設定することが可能となる。

また、蒸発口部２のうち、最端の外側蒸発口部２ｂの開口端面の傾斜角度φ２は、これより内側の蒸発口部２の開口端面の傾斜角度φ２以上の角度に設定する。

なお、蒸発源１の長手方向外側を向くように傾斜する各外側蒸発口部２ｂの開口端面の傾斜角度は、図１３に図示したように、蒸発源１の長手方向外側に向かって徐々に大きくなるように設定しても良い。この場合、蒸発口部２の配設範囲をより狭く設定することが可能となる。

また、本実施例においては、蒸発口部２の内部の成膜材料が通る領域Ｏを円筒状の直管にしており、外側蒸発口部２ｂの成膜材料が通る領域Ｏは、蒸発源１の長手方向外側を向くようにし、内側蒸発口部２ａの成膜材料が通る領域Ｏは、蒸発源１の長手方向中央側を向くようにしている。このことにより、成膜材料が通る領域Ｏを通過して開口端面へ到達する蒸発粒子の中で、斜め方向への速度成分を持った蒸発粒子の割合が増加するので、開口端面を傾斜させて斜め方向に射出される蒸発粒子が増加する。また、蒸発口部２の成膜材料が通る領域Ｏは傾斜させずに開口端を斜めに切り落とした形状とすることで、開口端面を傾斜させる構成としても良い。

また、本実施例においては、蒸発口部２は、蒸発源１にその長手方向に沿って一列設けた構成としているが、例えば図１４に図示したように一つの蒸発源１に二列以上蒸発口部２を設ける構成としても良い。また、図１５に図示したように蒸発源１の長手方向両端部から夫々所定範囲の外側蒸発口部２ｂのみを二列以上設ける構成としても良い。

また、本実施例は、蒸発口部２の配列範囲（ノズル範囲）Ｎ１は、基板３の蒸発源１の長手方向における蒸着膜が形成される範囲である蒸着領域幅Ｄ１より狭い幅に設定している（図１６（ａ）参照）。上記式（１）に示す通り、蒸発口部２の配列範囲Ｎ１を小さくし、蒸着領域幅Ｄ１を小さくすることで、入射角を大きくすることができる。

また、図１６（ｂ）に図示したように、入射角θを規定する基板３と最端の外側蒸発口部２ｂとの距離ＴＳを小さくするために、最端の外側蒸発口部２ｂの長さを短く設定しても良い。この場合、ＴＳが大きくなる分、この最端の外側蒸発口部２ｂによる蒸着レートが低下するため、端部側の外側蒸発口部２ｂほど開口径を大きくすることで対応する。

以上のように構成することで、図１７に図示したように本実施例の蒸発源１による膜厚分布Ｚは、基板３の蒸着領域において略均一となり、入射角を大きくしつつ膜厚分布を均一化することができる。

また、本実施例においては、蒸発口部２は、蒸発源１の長手方向にのみ傾斜した構成としているが、例えば、図１８〜２０に図示した別例１〜３のように、異なる成膜材料が収容された複数の蒸発源１を設け、前記複数の蒸発源１のうちの少なくとも一つの蒸発源１に設けられた複数の蒸発口部２の開口端面が、前記蒸発源１と前記基板３との相対移動方向にも傾斜する構成としても良い。

例えば、図１８に図示したように、前記相対移動方向にホスト材料蒸発源１ａとドーパント材料蒸発源１ｂとを並設し、ホスト材料蒸発源１ａ及びドーパント材料蒸発源１ｂの各蒸発口部２が夫々互いに向かい合うように各蒸発口部２の開口端面を前記相対移動方向に傾斜させることで、共蒸着膜のホスト／ドーパント混合比を良好にすることが可能となる。

また、図１９に図示したように、一方の蒸発源１ｂの各蒸発口部２の開口端面を他方の蒸発源１ａに向けて傾斜させ他方の蒸発源１ａの各蒸発口部２の開口端面を基板３と平行としたり、図２０に図示したように、中央の蒸発源１ａの各蒸発口部２の開口端面を基板３と平行とし、他の２つの蒸発源１ｂの各蒸発口部２を中央の蒸発源１ａを向くように傾斜させる構成としても良い。

なお、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。

１蒸発源
２蒸発口部
３基板
Ｐ蒸発源内端面

Claims

成膜材料が収容される蒸発源に、この蒸発源の長手方向に沿って複数の蒸発口部を設け、前記蒸発源と前記蒸発源に対向する位置に配設された基板とは、前記蒸発源の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部から前記成膜材料を射出することで、基板上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部のうち外側に設けられた少なくとも一対の外側蒸発口部は、夫々前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記外側蒸発口部の内側に位置する内側蒸発口部のうちの少なくとも一つは、前記蒸発源の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としたことを特徴とする真空蒸着装置。
減圧雰囲気を維持する真空槽に成膜材料が収容される蒸発源を設け、この蒸発源の長手方向に沿って複数の蒸発口部を設け、前記蒸発源と前記蒸発源に対向する位置に配設された基板とは、前記蒸発源の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部から前記成膜材料を射出することで、基板上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部の外側両端に設けられた最端の外側蒸発口部は、夫々前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記最端の外側蒸発口部以外の前記蒸発口部のうちの少なくとも一つは、前記蒸発源の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としたことを特徴とする真空蒸着装置。
減圧雰囲気を維持する真空槽に成膜材料が収容される蒸発源を設け、この蒸発源の長手方向に沿って複数の蒸発口部を設け、前記蒸発源と前記蒸発源に対向する位置に配設された基板とは、前記蒸発源の長手方向と直交する方向に相対的に移動し、前記蒸発口部から前記成膜材料を射出することで、基板上に蒸着膜を形成するように構成した真空蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部の外側両端に設けられた最端の外側蒸発口部は、夫々前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する構成とし、前記最端の外側蒸発口部以外の前記蒸発口部のうちの少なくとも一対の蒸発口部は、互いに向かい合うように夫々前記蒸発源の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する構成としたことを特徴とする真空蒸着装置。
前記蒸発口部の配列範囲は前記基板の前記蒸発源の長手方向における蒸着領域幅より狭い幅に設定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発口部のうち、最端の外側蒸発口部の開口径は、これより内側の蒸発口部の開口径以上の径に設定したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発口部の開口径は、前記蒸発源の長手方向外側に向かって徐々に大きくなるように設定したことを特徴とする請求項５に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発口部のうち、最端の外側蒸発口部の開口端面の傾斜角度は、これより内側の蒸発口部の開口端面の傾斜角度以上の角度に設定したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する前記蒸発口部の開口端面の傾斜角度は、前記蒸発源の長手方向外側に向かって徐々に大きくなるように設定したことを特徴とする請求項７に記載の真空蒸着装置。
開口端面が前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する前記蒸発口部から射出される前記成膜材料の前記基板への入射角は４０°以上６０°以下に設定したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する前記蒸発口部の開口端面の傾斜角度は２０°以上４５°以下に設定したことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発源の長手方向中央側を向くように傾斜する前記蒸発口部の開口端面の傾斜角度は５°以上２０°以下に設定したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
異なる成膜材料が収容された複数の蒸発源を設け、前記複数の蒸発源のうちの少なくとも一つの蒸発源に設けられた複数の蒸発口部の開口端面が、前記蒸発源と前記基板との相対移動方向に傾斜することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発口部の蒸発源内にある成膜材料が入射する蒸発源内端面は、基板表面に対して傾斜していることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発口部の内部の成膜材料が通る領域は、円筒状の直管であることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
前記蒸発源の長手方向外側を向くように傾斜する開口端面を有する外側蒸発口部の成膜材料が通る領域は、蒸発源の長手方向外側を向いており、前記蒸発源の長手方向中央側を向くように傾斜する開口端面を有する内側蒸発口部の成膜材料が通る領域は、蒸発源の長手方向中央側を向いていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。