JP2014077193A - 蒸着装置およびこれを用いた有機発光表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる蒸着装置は、蒸着物質を収容する蒸着源と、蒸着源の一側に第1方向に配列され、対向する基板に蒸着物質を噴射する複数の噴射ノズルとを含み、蒸着源は、第1方向を基準として中心領域および中心領域の両端の外郭領域に区分され、各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、その終端をなす面が基板の表面と第1方向に第1傾斜角をなしつつ、蒸着源の外側方向に向かう。本発明の実施形態によれば、基板に入射する蒸着物質の入射角度を増加させ、蒸着用マスクと基板との間に蒸着物質が浸透するシャドウ現象を抑制し、蒸着マージンを低減し、蒸着均一度および蒸着効率を向上させることができる。これにより、有機発光表示装置の高解像度の実現を容易にすることができる。
【選択図】図1
Description
本発明にかかる有機発光表示装置の製造方法において、第1噴射ノズルの終端面の傾斜角は、25〜35度の範囲に属するように形成されることが好ましい。
本発明にかかる有機発光表示装置の製造方法において、第1噴射ノズルは、蒸着源の中心を基準として第1方向に対称をなすことが好ましい。
図4は、本発明の一実施形態にかかる蒸着装置において、基板に入射する蒸着物質の入射角度と噴射ノズルの位置との相関関係を示す概念図である。
数式1
数式2
数式3
数式4
110:噴射ノズル
200:基板固定部
210:基板
220:マスク
Claims (13)
- 蒸着物質を収容する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に第1方向に配列され、対向する基板に前記蒸着物質を噴射する複数の噴射ノズルとを含み、
前記蒸着源は、前記第1方向を基準として中心領域および前記中心領域の両端の外郭領域に区分され、
前記各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、
その終端をなす面が前記基板の表面と前記第1方向に第1傾斜角をなしつつ、前記蒸着源の外側方向に向かうように形成されることを特徴とする蒸着装置。 - 前記基板における前記第1方向への中心と、前記蒸着源における第1方向への中心とが一致するように、前記基板と前記蒸着源が整列され、
前記蒸着源の前記中心領域は、前記第1方向に下記の条件、
(L1:前記第1方向への前記中心領域の長さ、L2:前記第1方向への前記基板での蒸着領域の長さ、T:前記基板と前記噴射ノズルの終端との間の距離、θ:前記第1傾斜角) - 前記第1傾斜角は、43〜53度の範囲に属するように形成されることを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。
- 前記第1傾斜角は、25〜35度の範囲に属するように形成されることを特徴とする請求項3記載の蒸着装置。
- 前記中心領域に配列される第2噴射ノズルは、
その終端をなす面が前記基板の表面に対して前記第1方向に第2傾斜角を有し、前記蒸着源の外側方向に向かうものの、前記第2傾斜角は前記第1傾斜角より小さいことを特徴とする請求項3記載の蒸着装置。 - 前記各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、前記蒸着源の中心を基準として前記第1方向に対称をなして配列されることを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。
- 蒸着物質を収容する蒸着源と、前記蒸着源の一側に第1方向に配列され、前記蒸着物質を基板に噴射する複数の噴射ノズルとを含む蒸着装置を用意するステップと、
前記噴射ノズルに対向するように基板を配置するステップと、
前記第1方向と直交する第2方向に前記蒸着源を移動させながら、前記噴射ノズルを介して前記蒸着物質を噴射するステップとを含み、
前記蒸着源は、前記第1方向を基準として中心領域および前記中心領域の両端の外郭領域に区分され、前記各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、前記基板の表面に対して前記第1方向に第1傾斜角を有し、前記蒸着源の外側方向に前記蒸着物質を噴射することを特徴とする有機発光表示装置の製造方法。 - 前記第1噴射ノズルは、
その終端をなす面が前記基板の表面に対して前記第1方向に前記第1傾斜角を有し、外側に傾斜するように形成されることを特徴とする請求項7記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記基板における前記第1方向への中心と、前記中心領域における前記第1方向への中心とが一致するように、前記基板と前記蒸着源が整列され、
前記中心領域は、前記第1方向に下記の条件、
- 前記第1噴射ノズルの終端面の傾斜角は、43〜53度の範囲に属するように形成されることを特徴とする請求項8記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記第1噴射ノズルの終端面の傾斜角は、25〜35度の範囲に属するように形成されることを特徴とする請求項10記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、前記蒸着源の中心を基準として前記第1方向に対称をなして配列されることを特徴とする請求項7記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記中心領域に配列される第2噴射ノズルは、
その終端をなす面が前記基板の表面に対して前記第1方向に第2傾斜角を有し、前記蒸着源の外側方向に傾斜するものの、前記第2傾斜角は前記第1傾斜角より小さいことを特徴とする請求項7記載の有機発光表示装置の製造方法。
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