JP2016111123A - 現像処理装置、現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
ことを目的としている。
30 現像処理装置
31 下部反射防止膜形成装置
32 レジスト塗布装置
33 上部反射防止膜形成装置
40 熱処理装置
152 現像液供給ノズル
200 多孔質板
201 現像液貯留部材
202 現像液供給管
203 天板
210 蓋体
211 隔壁
212 フローティング板
220 気液供給管
221 吸排気管
230 仕切板
W ウェハ
Q 現像液
P 純水
Claims (10)
- 基板上に現像液を供給して、所定のパターンを露光した基板上のレジスト膜を現像する現像処理装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
基板の全面に現像液を供給する現像液供給ノズルと、を有し、
前記現像液供給ノズルは、
基板以上の直径を有する多孔質板と、
下面が開口した円筒形状を有し、前記多孔質板と気密に当接して設けられた蓋体と、
前記多孔質板と前記蓋体とで囲まれる空間内に現像液を供給する現像液供給管と、
前記多孔質板と前記蓋体とで囲まれる空間内に、昇降自在に設けられた円盤形状のフローティング板と、
前記フローティング板の上方から前記多孔質板と前記蓋体とで囲まれる空間への気体の供給を行う給気管と、当該空間内の排気を行う排気管と、を備えていることを特徴とする、現像処理装置。 - 前記蓋体の内側には、複数の開口が形成された隔壁が、当該蓋体の内側面に当接し且つ前記多孔質板と平行に設けられ、
前記現像液供給管は、前記隔壁の下方に現像液を供給するように配置され、
前記フローティング板は、前記隔壁の上方に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の現像処理装置。 - 前記現像液供給ノズルは、前記多孔質板の下面からリンス液を供給するリンス液供給管をさらに有していることを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載の現像処理装置。
- 前記現像液供給ノズルは、前記多孔質板の下面から乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給管をさらに有していることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の現像処理装置。
- 前記現像液供給ノズルは、同軸状の、前記多孔質板の下面からリンス液を供給するリンス液供給管と、前記多孔質板の下面から乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給管とを備えた気液供給管を有し、
前記気液供給管は、前記多孔質板の中心部を、当該多孔質板の厚み方向に貫通して設けられていることを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載の現像処理装置。 - 前記給気管及び前記排気管は、前記蓋体の上面に接続されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の現像処理装置。
- 前記多孔質板の外方には、当該多孔質板を囲み且つ当該多孔質板の下面よりも下方に突出する仕切板が設けられていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の現像処理装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の現像処理装置を用いた現像処理方法であって、
前記多孔質板と前記蓋体とで囲まれる空間内に現像液を供給し、
次いで、フローティング板の上方から多孔質板と前記蓋体とで囲まれる空間内に気体を供給してフローティング板により現像液を下方に押圧することで、前記多孔質板の下面に現像液の液膜を形成し、
前記現像液の液膜を基板上のレジスト膜に接触させることで現像処理を行うことを特徴とする、現像処理方法。 - 請求項8に記載の現像処理方法を現像処理装置によって実行させるために、当該現像処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項9に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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