JP6778548B2 - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Description
図17に示すように、ウェハWの回転速度が遅いとウェハW上のネガ型現像液Dが振り切られずにカップ本体502上に落下し、カップ本体502と可動カップ503との間から、ポジ型現像系用の内側流路504に導入されてしまうことが考えられる。
また、図18に示すように、ウェハWの回転速度が遅いとウェハWの裏面にネガ型現像液Dが回り込むと考えられる。このような状態でネガ型現像液Dを振り切ると、通常の場合に比べ、振り切られた現像液の軌道が低くなる。したがって、振り切られた現像液が、可動カップ503の内周端やカップ本体502の当たった結果、カップ本体502と可動カップ503との間から、ポジ型現像系用の内側流路504に導入されてしまう。
次に、本発明の第1の実施形態に係る現像処理装置30の構成について図4及び図5を用いて説明する。現像処理装置30は、図4に示すように内部を密閉可能な処理容器130を有している。処理容器130の側面には、ウェハWの搬入出口(図示せず)が形成されている。
第2のアーム162は、ノズル駆動部169によってレール160D上を移動自在となっている。これにより、ネガ型現像液供給ノズル168は、カップ150のY方向正方向側の外側に設けられた待機部170から、カップ150内のウェハWの中央部上方まで移動できる。また、ノズル駆動部169によって、第2のアーム162は昇降自在であり、ネガ型現像液供給ノズル168の高さを調節できる。ネガ型現像液としては有機溶剤を含有する現像液が用いられ、例えばエステル系溶剤である酢酸ブチルを有する現像液が用いられる。
スピンチャック140に保持されたウェハWに対するポジ現像処理の際、まず、ポジ型現像液供給ノズル165を待機部167からウェハWの中央部上へ移動させる。そして、図6に示すように、ポジ型現像液供給ノズル165の下端面165aがウェハWに近接して対向するように、該ノズル165を降下させる。続いて、ウェハWを停止させた状態で、または、10rpm以下の回転速度でウェハWを回転させた状態で、ポジ型現像液供給ノズル165からウェハWに現像液を供給させる。これにより、ポジ型現像液供給ノズル165の下端面165aとウェハWとの間に、該下端面165aに接するように液溜まりLが形成される。このときの現像液の吐出流量は例えば、60〜600ml/分である。
カップ150は、カップ本体151と、カップ本体151に対して移動可能な可動カップ152とを備える。
カップ本体151は、カップ基体153と該カップ基体153に対して固定される固定カップ154とを有する。
また、カップ基体153は、外周壁153aの下端と内周壁153bの下端を連結する底壁153cと、外周壁153aの上端から内周方向に延びる上壁153dとを有し、内周壁153bの上側が開口されている。内周壁153bの上端には内周方向に延びる突起153eが設けられており、この突起151eを固定カップ154及び保持板155で挟むことでカップ基体153を固定することができる。
周壁152bは、環状に形成されており、その内径が固定カップ154の周壁154aの外周の直径より大きく、その外径がカップ基体153の外周壁153aの内周の直径よりも小さい。また、周壁152bの外周面に、分配部152aの傾斜面152cの外周端が連続している。
また、底壁153cは、外周壁153aと外周側の仕切り壁153fとの間に、ネガ型現像液を回収するネガ用回収口153hが形成されている。さらに、底壁153cは、仕切り壁153f、153gの間に、ポジ型現像液を回収するポジ用回収口153iが、内周側の仕切り壁153gと内周壁153bとの間に、ミスト化された現像液を回収するミスト用回収口153jが形成されている。
これにより、現像処理装置30では、ウェハWの回転により飛散したポジ型現像液や、ウェハWの下側に回り込み落下したポジ型現像液を、可動カップ152の分配部152aと固定カップ154との間からポジ用回収口153iに導き、該回収口153iを介して回収することができる。
これにより、現像処理装置30では、ウェハWの回転により略水平に飛散したネガ型現像液を、可動カップ152の分配部152aとカップ基体153の外周壁153aとの間からネガ用回収口153hに導き、該回収口153hを介して回収することができる。
上記(1)の構成により、ウェハWの回転時にネガ型現像液が略水平に飛散せずに、水平に対し角度を持って飛散したとしても、該飛散した現像液が、分配部152aの内周側端に当たることがない。また、上記(2)の構成により、上記飛散した現像液等が固定カップ154の外側傾斜面154bに当たったとしても、当たった後の現像液が、分配部152aと固定カップ154との間に溜まらず、分配部152aの傾斜面152cに沿って流れていく。
よって、現像処理装置30では、ネガ現像処理に低速回転工程が含まれる場合でも、ポジ型現像液とネガ型現像液を混合させずに別々に回収することができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る現像処理装置30の構成について図12を用いて説明する。
図12に示すように、第2の実施形態に係る現像処理装置30の固定カップ200は、外側傾斜面201の段差154dより内周側に環状の凹所202と、不図示の排液路に該凹所202を連通させる連通路203とを有する点で第1の実施形態の固定カップ154と相違する。排液路は例えば保持板155(図4参照)に設けられ、該排液路にはポンプが接続される。
次に、本発明の第3の実施形態に係る現像処理装置30の構成について図13を用いて説明する。
図13に示すように、第3の実施形態に係る現像処理装置30の固定カップ210は、外側傾斜面211の段差154dより内周側に、環状の弾性部材212を有する。この弾性部材212は、固定カップ210の外側傾斜面211と連続する上面を有すると共に、外周側に向けて延伸し、可動カップ152が下降されたときの分配部152aの内周側端の上方覆うよう形成されている点で、第1の実施形態の固定カップ154と相違する。
参考例の現像処理装置の構成について図14を用いて説明する。
図14に示すように、本例の現像処理装置は、固定カップ601の形状が従来と同様であり、この点で第1の実施形態の現像処理装置30と相違する。また、現像処理装置600の可動カップ602は、分配部603の内周側先端が内周方向に延び出すことができるよう構成されている点で、第1の実施形態の現像処理装置30と相違する。
本例の現像処理装置におけるポジ現像処理時のポジ型現像液の排出工程は第1の実施形態の現像処理装置30と同様である。
30…現像処理装置
140…スピンチャック
142…昇降駆動機構
150…カップ
151…カップ本体
152…可動カップ
152a…分配部
153…カップ基体
153a…外周壁
153c…底壁
153h…ネガ用回収口
154,200,210…固定カップ
154b,201,211…外側傾斜面
154d…段差
165…ポジ型現像液供給ノズル
168…ネガ型現像液供給ノズル
171…ポジ用リンス液供給ノズル
174…ネガ用リンス液供給ノズル
202…凹所
203…連通路
212…弾性部材
300…制御部
Claims (6)
- 鉛直軸周りに回転可能に支持された基板に対し第1の処理液または第2の処理液を供給し前記基板を処理すると共に、前記基板からの処理液を回収カップで回収する基板処理装置であって、
前記回収カップは、
前記基板より大きい環状の外周壁と、外周側に向けて次第に低くなる第1の傾斜面で上端の外周面が形成された環状の内部構造体と、前記第1の処理液の回収口が内周側に、前記第2の処理液の回収口が外周側に設けられた底壁と、を有するカップ本体と、
外周側に向けて次第に低くなる第2の傾斜面で上面が形成された分配部を上端に有すると共に、前記カップ本体の前記外周壁と前記内部構造体との間に上下動可能に設けられた可動カップと、を備え、
該可動カップを上昇させることで、前記第1の処理液を前記分配部と前記内部構造体の間から前記第1の処理液の回収口に導き、前記可動カップを下降させることで、前記第2の処理液を前記分配部と前記外周壁の間から前記第2の処理液の回収口に導き、
前記カップ本体は、前記第1の傾斜面の外周側端に段差を有し、
前記可動カップは、下降されたときに、前記分配部の内周側端が前記段差に落ち込み、前記分配部の上面が、前記段差の上側を形成する面より低くなり、
前記分配部の前記第2の傾斜面の角度は、前記第1の傾斜面の角度より大きいことを特徴とする、基板処理装置。 - 前記分配部の前記第2の傾斜面は、内周側に比べ外周側の傾斜角度が大きいことを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記分配部の内周側端は、内周側に向けて次第に薄くなるよう形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記カップ本体は、前記第1の傾斜面の前記段差より内周側に形成された凹所と、該凹所と排液路を連通する連通路とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記第1の傾斜面の前記段差より内周側に弾性部材を有し、
該弾性部材は、前記第1の傾斜面と連続する上面を有すると共に、外周側に向けて延伸し、前記可動カップが下降されたときの前記分配部の内周側端の上方を覆うことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 鉛直軸周りに回転可能に支持された基板に対し第1の処理液または第2の処理液を供給し前記基板を処理すると共に、前記基板からの処理液を回収カップで回収する基板処理方法であって、
前記回収カップは、
前記基板より大きい環状の外周壁と、外周側に向けて次第に低くなる第1の傾斜面で上端の外周面が形成された環状の内部構造体と、前記第1の処理液の回収口が内周側に、前記第2の処理液の回収口が外周側に設けられた底壁と、を有するカップ本体と、
外周側に向けて次第に低くなる第2の傾斜面で上面が形成された分配部を上端に有すると共に、前記カップ本体の前記外周壁と前記内部構造体との間に上下動可能に設けられた可動カップと、を備え、
前記カップ本体は、前記第1の傾斜面の外周側端に段差を有し、
前記分配部の前記第2の傾斜面の角度は、前記第1の傾斜面の角度より大きく、
当該基板処理方法は、
前記第1の処理液で前記基板を処理する際、
前記可動カップを上昇させ、前記分配部の内周側端を前記基板より上方に位置させる工程と、
前記基板に前記第1の処理液を供給する工程と、
前記基板を回転させ、該基板上の前記第1の処理液を前記分配部と前記内部構造体の間から前記第1の処理液の回収口に導く工程と、を含み、
前記第2の処理液で前記基板を処理する際、
前記可動カップを下降させ、前記分配部の内周側端を前記段差に落ち込ませ、前記分配部の上面が、前記段差の上側を形成する面より低くなるようにする工程と、
前記基板に前記第2の処理液を供給する工程と、
前記基板を回転させ、該基板上の前記第2の処理液を前記分配部と前記外周壁の間から前記第2の処理液の回収口に導く工程と、を含むことを特徴とする、基板処理方法。
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