JP2016082223A - 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
21 処理液供給部
22 リンス液供給部
23 乾燥液供給部
33 第1薬液供給部
34 第2薬液供給部
Claims (16)
- 基板に純水を供給する純水供給部と、
前記基板に純水よりも揮発性の高い乾燥液を供給する乾燥液供給部と
を有し、
前記乾燥液供給部は、前記揮発性の高い乾燥液の一部にシリコン系有機化合物を含有する乾燥液を前記基板に供給することを特徴とする基板液処理装置。 - 前記乾燥液供給部は、シリコン系有機化合物からなる第1薬液を供給する第1薬液供給部と、その他の有機化合物からなる第2薬液を供給する第2薬液供給部とを有し、前記第1薬液と第2薬液との混合液を前記基板に供給することを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。
- 前記乾燥液供給部は、前記混合液を供給した後に、前記第2薬液供給部から前記第1薬液を含まない第2薬液を供給することを特徴とする請求項2に記載の基板液処理装置。
- 前記乾燥液供給部は、前記混合液を供給する前に、前記第2薬液供給部から前記第1薬液を含まない第2薬液を供給することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の基板液処理装置。
- 前記乾燥液供給部は、前記第1薬液供給部と第2薬液供給部から第1及び第2薬液を同時に供給することを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 前記乾燥液供給部は、前記第1薬液と第2薬液とを予め混合した混合液を供給することを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 基板に純水を供給する純水供給工程と、その後、前記基板に前記純水よりも揮発性の高い乾燥液を供給する工程を含み、前記基板を乾燥処理する乾燥工程と、
を有し、
前記乾燥工程は、前記基板に乾燥液を供給する乾燥液供給工程と、基板から乾燥液を除去する乾燥液除去工程からなり、
乾燥液供給工程において、前記揮発性の高い乾燥液の一部にシリコン系有機化合物を含有する乾燥液を供給する工程を含むことを特徴とする基板液処理方法。 - 前記乾燥液は、シリコン系有機化合物からなる第1薬液と、その他の有機化合物からなる第2薬液と、からなる混合液であって、
前記乾燥液供給工程は、前記混合液を供給する混合液供給工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の基板液処理方法。 - 前記混合液供給工程の後に、前記第1薬液を含まない前記第2薬液を供給する後処理工程を含むことを特徴とする請求項8に記載の基板液処理方法。
- 前記混合液供給工程の前に、前記第1薬液を含まない前記第2薬液を供給する前処理工程を含むことを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の基板液処理方法。
- 前記第1及び第2薬液を同時に供給することを特徴とする請求項8〜請求項10のいずれかに記載の基板液処理方法。
- 前記第1薬液と第2薬液とを予め混合した混合液を供給することを特徴とする請求項8〜請求項10のいずれかに記載の基板液処理方法。
- 前記第1薬液と第2薬液との混合液を供給する際に前記第1薬液と第2薬液との混合比率を段階的又は連続的に変更することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の基板液処理方法。
- 前記第1薬液と第2薬液との混合液を供給する際に前記第1薬液に対する活性剤を添加することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の基板液処理方法。
- 前記第2薬液としてIPAを用い、前記前処理工程と前記混合液供給工程との間にペグミアを前記基板に供給する工程を有することを特徴とする請求項10に記載の基板液処理方法。
- 基板に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板にリンス液を供給するリンス液供給部と、前記基板に乾燥液を供給する乾燥液供給部とを有する基板液処理装置を用いて前記基板を処理させる基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記乾燥液供給部に、少なくともその一部にシリコン系有機化合物を含有する乾燥液を前記基板に供給させることを特徴とする基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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