JP2013206929A - 基板液処理装置及び基板液処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、基板液処理装置(1)において、基板(6)にシリル化剤を供給するシリル化剤供給流路(41)と、前記シリル化剤を活性させるための活性剤を供給する活性剤供給流路(45)と、前記シリル化剤供給流路(41)の中途部に前記活性剤供給流路(45)を接続した合流部(48)と前記合流部(48)でシリル化剤と活性剤とを合流させて生成した撥水剤を前記基板(6)に供給するノズルブロック(撥水剤吐出ノズル37)とを有することにした。そして、基板(6)にシリル化剤を供給する途中で前記シリル化剤を活性させるための活性剤を添加して撥水剤を生成し、前記撥水剤を基板(6)に向けて吐出することにした。
【選択図】図3
Description
6 基板
37 撥水剤吐出ノズル(ノズルブロック)
41 シリル化剤供給流路
45 活性剤供給流路
48 合流部
49 第1混合流部
53 撹拌混合部
74 第2混合流部
Claims (10)
- 基板にシリル化剤を供給するシリル化剤供給流路と、
前記シリル化剤を活性させるための活性剤を供給する活性剤供給流路と、
前記シリル化剤供給流路の中途部に前記活性剤供給流路を接続した合流部と、
前記合流部でシリル化剤と活性剤とを合流させて生成した撥水剤を前記基板に供給するノズルブロックと、
を有することを特徴とする基板液処理装置。 - 前記合流部の下流側に、シリル化剤と活性剤とが混合して流れる第1混合流部を形成したことを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。
- 前記第1混合流部を前記ノズルブロックの内部に形成したことを特徴とする請求項2に記載の基板液処理装置。
- 前記合流部又は前記合流部の下流側に、シリル化剤と活性剤とを撹拌混合する撹拌混合部を形成したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 前記撹拌混合部を前記ノズルブロックの内部に形成したことを特徴とする請求項4に記載の基板液処理装置。
- 前記撹拌混合部の下流側に、撹拌混合したシリル化剤と活性剤とが混合して流れる第2混合流部を形成したことを特徴とする請求項4に記載の基板液処理装置。
- 前記第2混合流部を前記ノズルブロックの内部に形成したことを特徴とする請求項6に記載の基板液処理装置。
- 基板にシリル化剤を供給する途中で前記シリル化剤を活性させるための活性剤を添加して撥水剤を生成し、前記撥水剤を基板に向けて吐出することを特徴とする基板液処理方法。
- 前記シリル化剤に活性剤を添加した後に、前記シリル化剤の活性が低減する前に前記撥水剤を基板に向けて吐出することを特徴とする請求項8に記載の基板液処理方法。
- 前記シリル化剤に活性剤を添加した後に前記シリル化剤と活性剤とを撹拌混合させることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の基板液処理方法。
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