JP2016029705A - 基板処理方法及び基板処理装置並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 364
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 17
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 156
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 144
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 99
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 34
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 claims abstract description 27
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 133
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 22
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 25
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 11
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 2
- XTUSEBKMEQERQV-UHFFFAOYSA-N propan-2-ol;hydrate Chemical compound O.CC(C)O XTUSEBKMEQERQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
Abstract
Description
3 基板
11 基板回転部
12 処理液供給部
33 前処理剤供給部
34 除去液供給部
Claims (18)
- エッチング処理した基板をポリマー除去液で洗浄する基板処理方法において、
前記基板をポリマー除去液で洗浄処理する前に、前記基板にイソプロピルアルコール蒸気又は水蒸気を供給することを特徴とする基板処理方法。 - エッチング処理した基板をポリマー除去液で洗浄する基板処理方法において、
前記基板をポリマー除去液で洗浄処理する前に、前記基板に純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給することを特徴とする基板処理方法。 - 前記純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給する前にイソプロピルアルコールのみを前記基板に供給することを特徴とする請求項2に記載の基板処理方法。
- 前記純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給した後にイソプロピルアルコールのみを前記基板に供給することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の基板処理方法。
- 前記イソプロピルアルコールのみを供給するときの前記基板の回転速度を前記純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給するときの前記基板の回転速度よりも高速とすることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記純水の供給量と前記イソプロピルアルコールの供給量との比を5:1〜1:1としたことを特徴とする請求項2〜請求項5のいずれかに記載の基板処理方法。
- エッチング処理した基板をポリマー除去液で洗浄する基板処理方法において、
前記基板をポリマー除去液で洗浄処理する前に、前記基板にアンモニア水を供給すること、又は、アンモニア水とイソプロピルアルコールとを同時に供給することを特徴とする基板処理方法。 - エッチング処理した基板にポリマー除去液を供給する除去液供給部と、
前記除去液供給部からポリマー除去液を供給する前に前記基板に前処理剤を供給する前処理剤供給部と、
を有する基板処理装置において、
前記前処理剤供給部は、前記基板にイソプロピルアルコール蒸気又は水蒸気を供給することを特徴とする基板処理装置。 - エッチング処理した基板にポリマー除去液を供給する除去液供給部と、
前記除去液供給部からポリマー除去液を供給する前に前記基板に前処理剤を供給する前処理剤供給部と、
を有する基板処理装置において、
前記前処理剤供給部は、前記基板に純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給することを特徴とする基板処理装置。 - 前記前処理剤供給部は、前記純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給する前にイソプロピルアルコールのみを前記基板に供給することを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記前処理剤供給部は、前記純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給した後にイソプロピルアルコールのみを前記基板に供給することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の基板処理装置。
- 前記前処理剤供給部は、前記イソプロピルアルコールのみを供給するときの前記基板の回転速度を前記純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給するときの前記基板の回転速度よりも高速とすることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記前処理剤供給部は、前記純水の供給量と前記イソプロピルアルコールの供給量との比を5:1〜1:1としたことを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。
- エッチング処理した基板にポリマー除去液を供給する除去液供給部と、
前記除去液供給部からポリマー除去液を供給する前に前記基板に前処理剤を供給する前処理剤供給部と、
を有する基板処理装置において、
前記前処理剤供給部は、前記基板にアンモニア水を供給すること、又は、アンモニア水とイソプロピルアルコールとを同時に供給することを特徴とする基板処理装置。 - エッチング処理した基板にポリマー除去液を供給する除去液供給部と、前記除去液供給部からポリマー除去液を供給する前に前記基板に前処理剤を供給する前処理剤供給部とを有する基板処理装置を用いて、エッチング処理した基板をポリマー除去液で洗浄させる基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記基板をポリマー除去液で洗浄処理する前に、前記基板にイソプロピルアルコール蒸気又は水蒸気を供給することを特徴とする基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。 - エッチング処理した基板にポリマー除去液を供給する除去液供給部と、前記除去液供給部からポリマー除去液を供給する前に前記基板に前処理剤を供給する前処理剤供給部とを有する基板処理装置を用いて、エッチング処理した基板をポリマー除去液で洗浄させる基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記基板をポリマー除去液で洗浄処理する前に、前記基板に純水とイソプロピルアルコールとを同時に供給することを特徴とする基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。 - 前記純水の供給量と前記イソプロピルアルコールの供給量との比を5:1〜1:1としたことを特徴とする請求項16に記載の基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
- エッチング処理した基板にポリマー除去液を供給する除去液供給部と、前記除去液供給部からポリマー除去液を供給する前に前記基板に前処理剤を供給する前処理剤供給部とを有する基板処理装置を用いて、エッチング処理した基板をポリマー除去液で洗浄させる基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記基板をポリマー除去液で洗浄処理する前に、前記基板にアンモニア水を供給すること、又は、アンモニア水とイソプロピルアルコールとを同時に供給することを特徴とする基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015104102A JP6449097B2 (ja) | 2014-07-24 | 2015-05-22 | 基板処理方法及び基板処理装置並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
TW104122932A TWI667716B (zh) | 2014-07-24 | 2015-07-15 | Substrate processing method, computer readable memory medium for substrate processing device and memory substrate processing program |
KR1020150101130A KR102420293B1 (ko) | 2014-07-24 | 2015-07-16 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치, 및 기판 처리 프로그램을 기억한 컴퓨터 판독가능 기억 매체 |
US14/803,421 US9627192B2 (en) | 2014-07-24 | 2015-07-20 | Substrate processing method, substrate processing apparatus, and computer-readable storage medium stored with substrate processing program |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014150770 | 2014-07-24 | ||
JP2014150770 | 2014-07-24 | ||
JP2015104102A JP6449097B2 (ja) | 2014-07-24 | 2015-05-22 | 基板処理方法及び基板処理装置並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016029705A true JP2016029705A (ja) | 2016-03-03 |
JP6449097B2 JP6449097B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=55167289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015104102A Active JP6449097B2 (ja) | 2014-07-24 | 2015-05-22 | 基板処理方法及び基板処理装置並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9627192B2 (ja) |
JP (1) | JP6449097B2 (ja) |
KR (1) | KR102420293B1 (ja) |
TW (1) | TWI667716B (ja) |
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JP4678665B2 (ja) | 2001-11-15 | 2011-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
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US8950414B2 (en) | 2009-07-31 | 2015-02-10 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus, liquid processing method, and storage medium |
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-
2015
- 2015-05-22 JP JP2015104102A patent/JP6449097B2/ja active Active
- 2015-07-15 TW TW104122932A patent/TWI667716B/zh active
- 2015-07-16 KR KR1020150101130A patent/KR102420293B1/ko active IP Right Grant
- 2015-07-20 US US14/803,421 patent/US9627192B2/en active Active
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JP7303688B2 (ja) | 2019-07-31 | 2023-07-05 | 株式会社ディスコ | ウエットエッチング方法 |
JP7303689B2 (ja) | 2019-07-31 | 2023-07-05 | 株式会社ディスコ | エッチング装置およびウェーハ支持具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6449097B2 (ja) | 2019-01-09 |
TWI667716B (zh) | 2019-08-01 |
KR102420293B1 (ko) | 2022-07-13 |
US20160027635A1 (en) | 2016-01-28 |
TW201618201A (zh) | 2016-05-16 |
KR20160012919A (ko) | 2016-02-03 |
US9627192B2 (en) | 2017-04-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
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