JP7201494B2 - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、基板処理方法であって、a)水平状態で保持された基板を、上下方向を向く中心軸を中心として回転させる工程と、b)回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するとともに、前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成する工程と、c)前記基板の前記他方の主面に対する前記リンス液の供給が継続されて前記気液界面の径方向の位置が維持されている状態で、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記リンス液の液膜を前記薬液の液膜に置換して前記周縁領域の薬液処理を行う工程と、備える。
請求項8に記載の発明は、基板処理装置であって、水平状態で基板を保持する基板保持部と、上下方向を向く中心軸を中心として前記基板保持部を回転する基板回転機構と、回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するガス供給部と、回転中の前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成するリンス液供給部と、前記基板の前記他方の主面に対する前記リンス液の供給が継続されて前記気液界面の径方向の位置が維持されている状態で、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記リンス液の液膜を前記薬液の液膜に置換して前記周縁領域の薬液処理を行う薬液供給部と、を備える。
6 ガス供給部
9 基板
31 基板保持部
33 基板回転機構
54 薬液供給部
55 リンス液供給部
81 リンス液
82 気流
83 気液界面
84 薬液
91 上面
92 下面
93 周縁領域
545 混合部
J1 中心軸
S11~S17 ステップ
Claims (10)
- 基板処理方法であって、
a)水平状態で保持された基板を、上下方向を向く中心軸を中心として回転させる工程と、
b)回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するとともに、前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成する工程と、
c)前記b)工程に連続して回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記周縁領域の薬液処理を行う工程と、
を備え、
前記薬液は、前記リンス液に溶質を溶解させたものであることを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理方法であって、
a)水平状態で保持された基板を、上下方向を向く中心軸を中心として回転させる工程と、
b)回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するとともに、前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成する工程と、
c)前記基板の前記他方の主面に対する前記リンス液の供給が継続されて前記気液界面の径方向の位置が維持されている状態で、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記リンス液の液膜を前記薬液の液膜に置換して前記周縁領域の薬液処理を行う工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項2に記載の基板処理方法であって、
前記薬液は、前記リンス液に溶質を溶解させたものであることを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理方法であって、
a)水平状態で保持された基板を、上下方向を向く中心軸を中心として回転させる工程と、
b)回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するとともに、前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成する工程と、
c)前記b)工程よりも後に、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記周縁領域の薬液処理を行う工程と、
を備え、
d)前記b)工程と前記c)工程との間に、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第3流量にて前記リンス液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませ、前記気液界面まで前記リンス液を供給する工程をさらに備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4に記載の基板処理方法であって、
前記c)工程における前記第2流量の前記薬液は、前記第3流量の前記リンス液に溶質を溶解させることにより生成されることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の基板処理方法であって、
前記b)工程と前記c)工程との間において、または、前記c)工程の開始と並行して、前記基板の回転速度が低減されることを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理装置であって、
水平状態で基板を保持する基板保持部と、
上下方向を向く中心軸を中心として前記基板保持部を回転する基板回転機構と、
回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するガス供給部と、
回転中の前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成するリンス液供給部と、
前記基板の前記他方の主面に対する前記リンス液の供給に連続して、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記周縁領域の薬液処理を行う薬液供給部と、
を備え、
前記薬液供給部は、前記第1流量よりも小流量の第3流量の前記リンス液に溶質を溶解させることにより前記第2流量の前記薬液を生成する薬液生成部を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
水平状態で基板を保持する基板保持部と、
上下方向を向く中心軸を中心として前記基板保持部を回転する基板回転機構と、
回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するガス供給部と、
回転中の前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成するリンス液供給部と、
前記基板の前記他方の主面に対する前記リンス液の供給が継続されて前記気液界面の径方向の位置が維持されている状態で、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記リンス液の液膜を前記薬液の液膜に置換して前記周縁領域の薬液処理を行う薬液供給部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
水平状態で基板を保持する基板保持部と、
上下方向を向く中心軸を中心として前記基板保持部を回転する基板回転機構と、
回転中の前記基板の上面および下面のうち一方の主面の中央部にガスを供給するガス供給部と、
回転中の前記基板の他方の主面の中央部に第1流量にてリンス液を供給して前記一方の主面の周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記ガスと前記リンス液との気液界面を形成するリンス液供給部と、
回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第2流量にて薬液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませることにより、前記一方の主面上において前記気液界面まで前記薬液を供給して前記周縁領域の薬液処理を行う薬液供給部と、
を備え、
前記リンス液供給部による前記第1流量での前記リンス液の供給と、前記薬液供給部による前記薬液の供給との間において、前記リンス液供給部が、回転中の前記基板の前記他方の主面の中央部に、前記第1流量よりも小流量の第3流量にて前記リンス液を供給して前記一方の主面の前記周縁領域に回り込ませ、前記気液界面まで前記リンス液を供給することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9に記載の基板処理装置であって、
前記薬液供給部は、前記第3流量の前記リンス液に溶質を溶解させることにより前記第2流量の前記薬液を生成する薬液生成部を備えることを特徴とする基板処理装置。
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