JP2016069659A - コネクタ用電気接点材料及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気接点材料1は、金属よりなる母材2と、母材2上に形成された拡散バリア層3と、拡散バリア層3上に形成された中間層4と、最表面に形成された導電性皮膜層5とを有している。拡散バリア層3は、Cu6Sn5、Ni3Sn4、Ni3Sn2またはNiSn3のうちいずれかの金属間化合物を含んでいる。中間層4は、Snを必須に含有し、更にCu、Zn、Co、Ni及びPdからなる群より選択される1種または2種以上の添加元素Mを含んでいる。導電性皮膜層5は、導電性を有するSnの酸化物、水酸化物または水酸化酸化物を含んでいる。
【選択図】図1
Description
Cu6Sn5、Ni3Sn4、Ni3Sn2またはNiSn3のうちいずれかの金属間化合物を含み、上記母材上に形成された拡散バリア層と、
Snを必須に含有し、更にCu、Zn、Co、Ni及びPdからなる群より選択される1種または2種以上の添加元素Mを含み、上記拡散バリア層上に形成された中間層と、
導電性を有するSnの酸化物、水酸化物または水酸化酸化物を含み、最表面に形成された導電性皮膜層とを有することを特徴とするコネクタ用電気接点材料にある。
上記拡散バリア層上に、Sn層及びM層(但し、該M層は、Cu、Zn、Co、Ni及びPdから選択される1種又は2種以上の添加元素Mよりなる1層または2層以上の金属層)を含む2層以上の金属層を、複数の該金属層のうち最も酸化されにくい金属からなる上記金属層が最外層となるように積層した多層金属層を形成し、
その後、該多層金属層を酸化雰囲気下において加熱してリフロー処理を行うことにより、Sn及び上記添加元素Mを含む中間層を上記拡散バリア層上に形成し、かつ、導電性を有するSnの酸化物、水酸化物または水酸化酸化物を含む導電性皮膜層を最表面に形成することを特徴とするコネクタ用電気接点材料の製造方法にある。
上記コネクタ用電気接点材料及びその製造方法の実施例について、図を用いて説明する。図1に示すように、本例の電気接点材料1は、Cu合金よりなる母材2と、母材2上に形成された拡散バリア層3と、拡散バリア層3上に形成された中間層4と、最表面に形成された導電性皮膜層5とを有している。拡散バリア層3は、Cu6Sn5を含んでいる。中間層4は、Snを必須に含有し、更に添加元素MとしてのCu及びZnを含んでいる。導電性皮膜層5は、導電性を有するSnの酸化物、水酸化物または水酸化酸化物を含んでいる。以下、電気接点材料1の詳細な構成を、製造方法と共に説明する。
Cu合金よりなる母材2上にCu6Sn5を含む拡散バリア層3を有する中間材10を準備した。本例においては、以下の手順により作製された中間材10を準備した。まず、母材2上にCuめっき処理及びSnめっき処理を順次施し、図2(a)に示すように、母材2上にCu層100及びSn層101を形成した。Cu層100及びSn層101の膜厚は、それぞれ0.2μm及び1.5μmとした。
次に、中間材10の表面にZnめっき処理及びCuめっき処理を順次行い、多層金属層11を形成した。図2(c)に示すように、多層金属層11は、Sn層101、Zn層111及びCu層112が拡散バリア層3上に順次積層された3層構造を有していた。また、これらの3層のうち最も酸化されにくいCu層112を最外層に配置した。なお、Sn層101は、上記のめっき処理を行う前の中間材10に予め存在していた層である。また、Znめっき処理及びCuめっき処理の条件は以下の通りである。
・めっき浴の液組成
塩化亜鉛(ZnCl2):60g/L
塩化ナトリウム(NaCl):35g/L
水酸化ナトリウム(NaOH):80g/L
・膜厚:0.25μm
・液温:25℃
・電流密度:1A/dm2
・めっき浴の液組成
硫酸銅(CuSO4):180g/L
硫酸(H2SO4):80g/L
塩素イオン(Cl-):40mL/L
・膜厚:0.15μm
・液温:20℃
・電流密度:1A/dm2
次に、多層金属層11を酸化雰囲気下において加熱してリフロー処理を行った。具体的には、多層金属層11を形成した状態の中間材10を大気雰囲気におき、270℃で120秒間加熱してリフロー処理を行った。以上により電気接点材料1を得た。
本例は、実施例1におけるリフロー処理の加熱条件を変更して作製した電気接点材料1の例である。本例の電気接点材料1は、リフロー処理における加熱時間を90秒に変更した以外は、実施例1と同様に作製した。
本例は、実施例1におけるリフロー処理の加熱条件を変更して作製した電気接点材料1の例である。本例の電気接点材料1は、リフロー処理における加熱時間を180秒に変更した以外は、実施例1と同様に作製した。
2 母材
3 拡散バリア層
4 中間層
5 導電性皮膜層
Claims (10)
- 金属よりなる母材と、
Cu6Sn5、Ni3Sn4、Ni3Sn2またはNiSn3のうちいずれかの金属間化合物を含み、上記母材上に形成された拡散バリア層と、
Snを必須に含有し、更にCu、Zn、Co、Ni及びPdからなる群より選択される1種または2種以上の添加元素Mを含み、上記拡散バリア層上に形成された中間層と、
導電性を有するSnの酸化物、水酸化物または水酸化酸化物を含み、最表面に形成された導電性皮膜層とを有することを特徴とするコネクタ用電気接点材料。 - 上記導電性皮膜層は、さらに、1種または2種以上の上記添加元素Mを酸化物または水酸化物の形態で含有していることを特徴とする請求項1に記載のコネクタ用電気接点材料。
- 上記導電性皮膜層は、2種以上の上記添加元素Mを酸化物または水酸化物の形態で含有していることを特徴とする請求項2に記載のコネクタ用電気接点材料。
- 上記中間層は、Cu6Sn5におけるCuの一部がZn、Co、Ni及びPdから選択される1種または2種以上の置換元素M’に置換されてなる(Cu,M’)6Sn5を含有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のコネクタ用電気接点材料。
- 金属よりなる母材上にCu6Sn5、Ni3Sn4、Ni3Sn2またはNiSn3のうちいずれかの金属間化合物を含む拡散バリア層を有する中間材を準備し、
上記拡散バリア層上に、Sn層及びM層(但し、該M層は、Cu、Zn、Co、Ni及びPdから選択される1種又は2種以上の添加元素Mよりなる1層または2層以上の金属層)を含む2層以上の金属層を、複数の該金属層のうち最も酸化されにくい金属からなる上記金属層が最外層となるように積層した多層金属層を形成し、
その後、該多層金属層を酸化雰囲気下において加熱してリフロー処理を行うことにより、Sn及び上記添加元素Mを含む中間層を上記拡散バリア層上に形成し、かつ、導電性を有するSnの酸化物、水酸化物または水酸化酸化物を含む導電性皮膜層を最表面に形成することを特徴とするコネクタ用電気接点材料の製造方法。 - 上記中間材は、上記母材上にCu層またはNi層のうち少なくとも一方の金属層とSn層とを形成し、その後、これらの金属層を加熱して上記金属間化合物を形成する中間材リフロー処理を行うことにより作製されていることを特徴とする請求項5に記載のコネクタ用電気接点材料の製造方法。
- 上記多層金属層には、2層以上の上記M層が含まれることを特徴とする請求項5または6に記載のコネクタ用電気接点材料の製造方法。
- 上記多層金属層は、Cu層が最外層となるように積層されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載のコネクタ用電気接点材料の製造方法。
- 上記リフロー処理により、上記添加元素Mの酸化物又は水酸化物を上記導電性皮膜層中に形成することを特徴とする請求項5〜8のいずれか1項に記載のコネクタ用電気接点材料の製造方法。
- 上記リフロー処理により、Cu6Sn5におけるCuの一部がZn、Co、Ni及びPdから選択される1種または2種以上の置換元素M’に置換されてなる(Cu,M’)6Sn5を上記中間層中に形成することを特徴とする請求項5〜9のいずれか1項に記載のコネクタ用電気接点材料の製造方法。
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