JP7221229B2 - コーティングされたトランスミッタコイルを具備するコーティング装置 - Google Patents
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Description
気密性のハウジングがプロセスチャンバ1を囲み、その中にガス入口部材2が開口し、それを通して(更なるプリカーサに加えて)塩素含有ガス、例えばIII主族の元素の塩素含有化合物も供給される。しかしながら、コーティングプロセス後のエッチングステップによりプロセスチャンバ1を清浄化するために、ガス入口部材2を通って別の塩素含有化合物も供給され得る。ガスとして、ここでは特にCl2又はHClが適切である。
2 ガス入口部材
3 サセプタ
4 基板
5 トランスミッタコイル
6 端部
7 端部
8 中空
9 コーティング
Claims (18)
- 1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置であって、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、1又は複数のトランスミッタコイルがコーティング(9)を有する、前記装置において、前記コーティング(9)がスズとニッケルからなること、及び、前記コーティング(9)がNi3Sn2とNi3Sn4からなる混合物であることを特徴とする装置。
- 1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置であって、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、1又は複数のトランスミッタコイルがコーティング(9)を有する、前記装置において、前記コーティング(9)がスズとニッケルからなること、及び、前記コーティング(9)が40~30重量%のニッケル含有量と60~70重量%のスズ含有量とを有することを特徴とする装置。
- 前記コーティング(9)が、40~30重量%のニッケル含有量と、60~70重量%のスズ含有量とを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置であって、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、1又は複数のトランスミッタコイルがコーティング(9)を有する、前記装置において、前記コーティング(9)がスズとニッケルからなること、及び、前記コーティング(9)の最外層が、ニッケルとスズの元素のみで構成されていることを特徴とする装置。
- 前記コーティング(9)の最外層が、ニッケルとスズの元素のみで構成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の装置。
- 1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置であって、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、1又は複数のトランスミッタコイルがコーティング(9)を有する、前記装置において、前記コーティング(9)がスズとニッケルからなること、及び、前記コーティング(9)のスズとニッケルの比が重量%で65/35であることを特徴とする装置。
- 前記コーティング(9)のスズとニッケルの比が、重量%で65/35であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の装置。
- 前記コーティング(9)の層厚が、1~50μm又は1~30μm、好ましくは20μmであることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の装置。
- 前記コーティング(9)が、前記トランスミッタコイル(5)上にガルバニック方式でコーティングされていることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の装置。
- 1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置であって、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、1又は複数のトランスミッタコイルがコーティング(9)を有する、前記装置において、前記コーティング(9)がスズとニッケルからなること、及び、前記コーティング9を担持する実質的にニッケルを含有するベース層が、実質的に銅を含有するトランスミッタコイル上に適用されていることを特徴とする装置。
- 前記コーティング9を担持する実質的にニッケルを含有するベース層が、実質的に銅を含有するトランスミッタコイル上に適用されていることを特徴とする請求項1~9のいずれかに記載の装置。
- 前記ベース層が、1~50μmの層厚を有し、かつ、特に少なくとも30μmの層厚を有することを特徴とする請求項10又は11に記載の装置。
- 無線周波数の交流場を発生するために2つの端部(6、7)を具備する渦巻き状形態を有するトランスミッタコイル(5)の使用であって、1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置にて、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、前記トランスミッタコイル(5)が、前記端部(6、7)間に延在する中空(8)と、ニッケルとスズからなるコーティング(9)によりコーティングされた外壁とを有する、前記使用において、前記コーティング(9)が、Ni3Sn2とNi3Sn4からなる混合物であることを特徴とするトランスミッタコイルの使用。
- 無線周波数の交流場を発生するために2つの端部(6、7)を具備する渦巻き状形態を有するトランスミッタコイル(5)の使用であって、1又は複数のプロセスガスをプロセスチャンバ(1)に供給することによって基板(4)上に層を堆積するための装置にて、該装置内で前記基板(4)を担持するサセプタ(3)が1又は複数のトランスミッタコイル(5)により発生した交流電磁場によりプロセス温度に加熱可能であり、前記トランスミッタコイル(5)が、前記端部(6、7)間に延在する中空(8)と、ニッケルとスズからなるコーティング(9)によりコーティングされた外壁とを有する、前記使用において、スズとニッケルの比が、重量%で60/40~70/30の範囲でありかつ特に重量%で35/35であり、かつ/又は、層厚が1~50μmの範囲であり特に20μmであることを特徴とするトランスミッタコイルの使用。
- スズとニッケルの比が、重量%で60/40~70/30の範囲でありかつ特に重量%で35/35であり、かつ/又は、層厚が1~50μmの範囲であり特に20μmであることを特徴とする請求項13に記載のトランスミッタコイルの使用。
- 請求項1~12のいずれかに記載の装置のためのトランスミッタコイル(5)であって、前記トランスミッタコイル(5)が、無線周波数の交流場を発生するために2つの端部(6、7)を具備する渦巻き状形態を有し、前記トランスミッタコイル(5)が、前記端部(6、7)間に延在する中空(8)と、コーティング(9)によりコーティングされた外壁とを有する、前記トランスミッタコイル(5)において、前記コーティング(9)が、スズとニッケルからなることを特徴とするトランスミッタコイル。
- 前記コーティング(9)が、Ni3Sn2とNi3Sn4からなる混合物であることを特徴とする請求項16に記載のトランスミッタコイル。
- スズとニッケルの比が、重量%で60/40~70/30の範囲でありかつ特に重量%で35/35であり、かつ/又は、層厚が1~50μmの範囲であり特に20μmであることを特徴とする請求項16又は17に記載のトランスミッタコイル。
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