JP2016066779A - 基板熱処理装置、基板熱処理方法、記録媒体及び熱処理状態検知装置 - Google Patents
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Abstract
Description
X,Y:直交座標系における温度重心の位置
xi,yi:直交座標系における温度センサの位置
Ti:温度センサにより検出された温度
n:温度センサの数
まず、本実施形態に係る基板処理システム1の概要を説明する。基板処理システム1は、塗布・現像装置2と露光装置3とを備える。露光装置3は、レジスト膜(感光性被膜)の露光処理を行う。具体的には、液浸露光等の方法によりレジスト膜の露光対象部分にエネルギー線を照射する。塗布・現像装置2は、露光装置3による露光処理の前に、ウェハW(基板)の表面にレジスト膜を形成する処理を行い、露光処理後にレジスト膜の現像処理を行う。
続いて、基板熱処理装置の一例として、熱処理ユニットU2について詳細に説明する。図4に示すように、熱処理ユニットU2は、熱板20と、支持台30と、複数の温度センサ40と、昇降機構50と、制御部100とを有する。
続いて、基板熱処理方法の一例として、熱処理ユニットU2によるウェハWの熱処理手順について説明する。
X,Y:直交座標系における温度重心の位置
xi,yi:直交座標系における前記温度センサの位置
Ti:前記温度センサにより検出された温度
n:前記温度センサの数
R=(ra・Ta+rb・Tb+rc・Tc)/(Ta+Tb+Tc)
R:第二の重心位置
ra:動径方向における領域20aの位置(ウェハWの中心から領域20aまでの距離)
rb:動径方向における領域20bの位置(ウェハWの中心から領域20bまでの距離)
rc:動径方向における領域20cの位置(ウェハWの中心から領域20cまでの距離)
Ta:領域20aの温度センサ40により検出された温度
Tb:領域20bの二つの温度センサ40により検出された温度の平均値
Tb:領域20cの四つの温度センサ40により検出された温度の平均値
Claims (22)
- 基板を載置するための載置部と、
前記載置部上の前記基板を加熱又は冷却するための熱処理部と、
前記載置部上の前記基板の複数箇所にそれぞれ対応するように配置された複数の温度センサと、
前記複数の温度センサにより検出された温度に基づいて前記熱処理部を制御すること、前記複数の温度センサにより検出された温度を質量とみなした場合の重心に相当する温度重心の位置を算出すること、前記温度重心の位置に基づいて、前記基板の熱処理状態を検知すること、を実行するように構成された制御部と、を備える基板熱処理装置。 - 前記制御部は、前記基板に平行な面内における前記温度重心の位置を第一の重心位置として算出し、前記基板の中心に直交する動径方向における前記温度重心の位置を第二の重心位置として算出し、前記第一及び第二の重心位置に基づいて前記基板の熱処理状態を検知する、請求項1記載の基板熱処理装置。
- 前記制御部は、前記動径方向において互いに等しい位置にある複数の温度センサにより検出された温度の平均値を当該位置の質量とみなして前記第二の重心位置を算出する、請求項2記載の基板熱処理装置。
- 前記制御部は、前記基板と同心で前記動径方向に並ぶ複数の領域のそれぞれにおいて前記温度センサにより検出された温度の平均値を、当該領域の質量とみなして前記第二の重心位置を算出する、請求項2記載の基板熱処理装置。
- 前記制御部は、前記基板が正常に熱処理された場合における前記温度重心の位置に基づいて定められた基準位置を用い、前記温度重心の位置と前記基準位置との差分に基づいて、前記基板の熱処理状態を検知するように構成されている、請求項1〜4のいずれか一項記載の基板熱処理装置。
- 前記制御部は、複数回の正常な熱処理において算出された前記温度重心の位置の平均値を前記基準位置として用い、複数回の正常な熱処理において算出された前記温度重心の位置の標準偏差に基づいて定まる許容範囲を更に用い、前記温度重心の位置と前記基準位置との差分が前記許容範囲外にある場合に、前記基板の熱処理状態が異常であることを検知するように構成されている、請求項5記載の基板熱処理装置。
- 前記制御部は、前記温度重心の位置に関する情報を出力することを更に実行するように構成されている、請求項1〜6のいずれか一項記載の基板熱処理装置。
- 前記制御部は、前記温度重心の位置と前記基準位置との差分の軌跡情報を出力することを更に実行するように構成されている、請求項5又は6記載の基板熱処理装置。
- 前記熱処理部は、前記基板に沿って並ぶ複数の処理領域ごとに制御可能となっており、
前記制御部は、前記温度重心の位置に基づいて熱処理が不十分な前記処理領域を特定すること、当該処理領域の熱処理を促進するように熱処理部を制御すること、を更に実行するように構成されている、請求項1〜8のいずれか一項記載の基板熱処理装置。 - 載置部上に基板を載置すること、
前記載置部上の前記基板を熱処理部により加熱又は冷却すること、
前記載置部上の前記基板の複数箇所にそれぞれ対応するように配置された複数の温度センサにより温度を検出すること、
前記複数の温度センサにより検出した温度に基づいて前記熱処理部を制御すること、
前記複数の温度センサにより検出された温度を質量とみなした場合の重心に相当する温度重心の位置を算出すること、
前記温度重心の位置に基づいて、前記基板の熱処理状態を検知すること、を含む基板熱処理方法。 - 前記基板に平行な面内における前記温度重心の位置を第一の重心位置として算出し、前記基板の中心に直交する動径方向における前記温度重心の位置を第二の重心位置として算出し、前記第一及び第二の重心位置に基づいて前記基板の熱処理状態を検知する、請求項11記載の基板熱処理方法。
- 前記動径方向において互いに等しい位置にある複数の温度センサにより検出された温度の平均値を当該位置の質量とみなして前記第二の重心位置を算出する、請求項12記載の基板熱処理方法。
- 前記基板と同心で前記動径方向に並ぶ複数の領域のそれぞれにおいて前記温度センサにより検出された温度の平均値を、当該領域の質量とみなして前記第二の重心位置を算出する、請求項12記載の基板熱処理方法。
- 前記基板が正常に熱処理された場合における前記温度重心の位置に基づいて定められた基準位置を用い、前記温度重心の位置と前記基準位置との差分に基づいて、前記基板の熱処理状態を検知する、請求項11〜14のいずれか一項記載の基板熱処理方法。
- 複数回の正常な熱処理において算出された前記温度重心の位置の平均値を前記基準位置として用い、複数回の正常な熱処理において算出された前記温度重心の位置の標準偏差に基づいて定まる許容範囲を更に用い、前記温度重心の位置と前記基準位置との差分が前記許容範囲外にある場合に、前記基板の熱処理状態が異常であることを検知する、請求項15記載の基板熱処理方法。
- 前記温度重心の位置に関する情報を出力することを更に含む、請求項11〜16のいずれか一項記載の基板熱処理方法。
- 前記温度重心の位置と前記基準位置との差分の軌跡情報を出力することを更に含む、請求項15又は16記載の基板熱処理方法。
- 前記温度重心の位置に基づいて熱処理が不十分な処理領域を特定すること、当該処理領域の熱処理を促進することを更に含む、請求項11〜18のいずれか一項記載の基板熱処理方法。
- 請求項11〜20のいずれか一項記載の基板熱処理方法を装置に実行させるためのプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 載置部上において熱処理を施される基板の複数箇所にそれぞれ対応するように配置された複数の温度センサにより検出された温度を取得すること、前記温度を質量とみなした場合の重心に相当する温度重心の位置を算出すること、前記温度重心の位置に基づいて、前記基板の熱処理状態を検知すること、を実行するように構成された熱処理状態検知装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018056205A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR20190001932A (ko) | 2017-06-28 | 2019-01-07 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 장치, 열처리 장치의 관리 방법 및 기억 매체 |
JP2019009416A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理装置の管理方法及び記憶媒体 |
JP2019186498A (ja) * | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 |
JP2020035834A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | キオクシア株式会社 | 加熱処理装置および加熱処理方法 |
CN112335020A (zh) * | 2018-06-22 | 2021-02-05 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10446423B2 (en) * | 2016-11-19 | 2019-10-15 | Applied Materials, Inc. | Next generation warpage measurement system |
JP6964005B2 (ja) * | 2018-01-09 | 2021-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱板の冷却方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
CN114518690A (zh) * | 2020-11-19 | 2022-05-20 | 中国科学院微电子研究所 | 晶圆工作台、光刻机及晶圆工作台温度调节方法 |
CN114520172A (zh) * | 2022-02-16 | 2022-05-20 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶圆放置状态检测方法、半导体工艺腔室和设备 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01245142A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Hitachi Ltd | 予防保全装置 |
JP2005135952A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 |
JP2006120721A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Toshiba Corp | 基板処理装置 |
JP2007317732A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理板の温度制御方法、プログラム及び熱処理板の温度制御装置 |
JP2008053454A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Dainippon Printing Co Ltd | ベーク装置およびベーク方法 |
JP2010284641A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-12-24 | Sharp Corp | 局所加熱装置、及び局所加熱する位置の調整方法 |
JP2014524565A (ja) * | 2011-08-01 | 2014-09-22 | コミサリア ア レネルジー アトミック エ オ ゼネルジー アルテルナティブ | 熱流計を使ってホット・スポットを突き止めるためのデバイス |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5001423A (en) * | 1990-01-24 | 1991-03-19 | International Business Machines Corporation | Dry interface thermal chuck temperature control system for semiconductor wafer testing |
JP3581303B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2004-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 判別方法及び処理装置 |
JP4059694B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2008-03-12 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
US7427329B2 (en) * | 2002-05-08 | 2008-09-23 | Asm International N.V. | Temperature control for single substrate semiconductor processing reactor |
JP3781014B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2006-05-31 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ熱処理治具およびシリコンウェーハ熱処理方法 |
JP4444090B2 (ja) | 2004-12-13 | 2010-03-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理板の温度設定方法,熱処理板の温度設定装置,プログラム及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP4755498B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2011-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱装置及び加熱方法 |
US20090034582A1 (en) * | 2007-08-02 | 2009-02-05 | Tokyo Electron Limited Tbs Broadcast Center | Apparatus for hot plate substrate monitoring and control |
JP2009123816A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Sokudo:Kk | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP5299442B2 (ja) * | 2011-01-18 | 2013-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板加熱装置、基板加熱方法及び記憶媒体 |
-
2015
- 2015-05-13 JP JP2015098385A patent/JP6382151B2/ja active Active
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01245142A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Hitachi Ltd | 予防保全装置 |
JP2005135952A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 |
JP2006120721A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Toshiba Corp | 基板処理装置 |
JP2007317732A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理板の温度制御方法、プログラム及び熱処理板の温度制御装置 |
JP2008053454A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Dainippon Printing Co Ltd | ベーク装置およびベーク方法 |
JP2010284641A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-12-24 | Sharp Corp | 局所加熱装置、及び局所加熱する位置の調整方法 |
JP2014524565A (ja) * | 2011-08-01 | 2014-09-22 | コミサリア ア レネルジー アトミック エ オ ゼネルジー アルテルナティブ | 熱流計を使ってホット・スポットを突き止めるためのデバイス |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018056205A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2022033206A (ja) * | 2017-06-28 | 2022-02-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理装置の管理方法及び記憶媒体 |
JP2019009416A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理装置の管理方法及び記憶媒体 |
US11201068B2 (en) | 2017-06-28 | 2021-12-14 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus, method of managing heat treatment apparatus and storage medium |
JP7003759B2 (ja) | 2017-06-28 | 2022-01-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理装置の管理方法及び記憶媒体 |
KR20190001932A (ko) | 2017-06-28 | 2019-01-07 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 장치, 열처리 장치의 관리 방법 및 기억 매체 |
KR20220155961A (ko) | 2017-06-28 | 2022-11-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 장치의 상태 감시 장치, 열처리 장치의 관리 방법 및 기억 매체 |
JP7238955B2 (ja) | 2017-06-28 | 2023-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処置装置の状態監視装置、熱処理装置の管理方法及び記憶媒体 |
JP2019186498A (ja) * | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 |
JP6994424B2 (ja) | 2018-04-17 | 2022-01-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 |
CN112335020A (zh) * | 2018-06-22 | 2021-02-05 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 |
CN112335020B (zh) * | 2018-06-22 | 2024-04-09 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 |
JP2020035834A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | キオクシア株式会社 | 加熱処理装置および加熱処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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