JP2016056071A - 炭化ケイ素の結晶の製造方法及び結晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態にかかる結晶成長装置1の概要を示す図である。結晶成長装置1は、るつぼ3の内部にケイ素と炭素を含む原料溶液5を有し、回転部7は、長軸を回転軸として先端に取り付けられた種結晶9を回転可能である。
最大回転速度20rpmで、30秒周期で正回転と逆回転を入れ替えながら回転する黒鉛るつぼ内の1900℃のSi−40at.%Cr溶媒中に直径1インチの4H−SiC種結晶C面(1度オフ基板)を浸漬し、種結晶の最大回転速度150rpm、2分周期で正回転と逆回転を入れ替えながら3時間成長させた。種結晶の回転中心位置は種結晶の中心位置から2.5cm離れた地点とし、種結晶中心からみた種結晶の回転中心の方向はステップフロー方向と同一、すなわち、回転中心から種結晶の中心に向けた方向と、ステップフロー方向との間をなす角度が180度であるように設定した。
種結晶の回転中心位置を種結晶の中心位置から0.6cm離れた地点とし、種結晶中心からみた種結晶の回転中心の方向をステップフロー方向と同一に設定した以外は実施例1と同様にして結晶成長させた。
種結晶の回転中心位置を種結晶の中心位置とした以外は実施例1と同様にして結晶成長させた。
成長表面のモフォロジーを観察した結果、図7に示すように、図中右側にわずかにトレンチの形成が抑制された領域を有するが、種結晶のほぼすべての領域でトレンチが形成していた。
種結晶の回転中心位置を種結晶の中心位置から0.6cm離れた地点とし、種結晶中心からみた種結晶の回転中心の方向をステップフロー方向と逆方向に設定する以外は実施例1と同様にして結晶成長させた。
成長表面のモフォロジーを観察した結果、図8に示すように種結晶のほぼすべての領域でトレンチが形成していた。これは、種結晶の回転中心がステップフロー方向の上流側に移動したことにより、原料溶液の流れがステップフロー方向と対抗する方向に向いた領域が縮小し、トレンチの形成が抑制された領域がほとんどなくなってしまったためである。
20rpmで回転する黒鉛るつぼ内の1900℃のSi−40at.%Cr溶媒中に直径1インチの4H−SiC種結晶C面(1度オフ基板)を浸漬し、種結晶の回転速度150rpmで回転(つるぼの回転方向とは逆方向)させながら3時間成長させた。種結晶の回転中心位置は種結晶の中心位置とした。
成長表面のモフォロジーを観察した結果、図9に示すように種結晶のほぼすべての領域でトレンチが形成していた。
3 るつぼ
4 ヒーター
5 原料溶液
7 回転部
9 種結晶
11 種結晶の中心
13 ステップフロー方向
14 ステップフロー方向に対向する方向
15 回転中心
Claims (10)
- 炭化ケイ素の種結晶を、ケイ素及び炭素を含む原料溶液に接触させながら回転させる炭化ケイ素の結晶の製造方法において、
前記種結晶の結晶成長面はオフ角を有し、
前記種結晶の回転中心の位置が、前記種結晶の中心位置に対して、前記オフ角の形成方向であるステップフロー方向の下流側にあり、
前記種結晶の回転が、周期的に正回転と逆回転を繰り返すことを特徴とする炭化ケイ素の結晶の製造方法。 - 前記種結晶の回転中心が、前記種結晶の内部に存在することを特徴とする請求項1に記載の炭化ケイ素の結晶の製造方法。
- 前記種結晶の回転中心が、前記種結晶の外部に存在することを特徴とする請求項1に記載の炭化ケイ素の結晶の製造方法。
- 前記種結晶の回転が前記原料溶液の液面と平行な面で行われることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭化ケイ素の結晶の製造方法。
- 炭化ケイ素の種結晶を、容器内に保持されたケイ素及び炭素を含む原料溶液に接触させる炭化ケイ素の結晶の製造方法において、
前記種結晶の結晶成長面はオフ角を有し、
前記容器は、回転中心の位置が、前記種結晶の中心位置に対して、前記オフ角の形成方向であるステップフロー方向の下流側にあるように回転し、
前記容器の回転が、周期的に正回転と逆回転を繰り返すことを特徴とする炭化ケイ素の結晶の製造方法。 - 前記容器の回転中心が、前記種結晶の内部に存在することを特徴とする請求項5に記載の炭化ケイ素の結晶の製造方法。
- 前記容器の回転中心が、前記種結晶の外部に存在することを特徴とする請求項5に記載の炭化ケイ素の結晶の製造方法。
- 前記原料溶液中にクロムを含み、クロムのシリコンとクロムの合計に対する比が20〜60モル%であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の炭化ケイ素の結晶の製造方法。
- 結晶の原料を含む原料溶液と、
前記原料溶液を収容する容器と、
結晶成長面にオフ角を有する種結晶と、
前記種結晶を前記原料溶液に接触させながら回転させる回転部と、を有し、
前記種結晶の回転中心の位置が、前記種結晶の中心位置に対して、前記オフ角の形成方向であるステップフロー方向の下流側にあり、
前記種結晶の回転が、周期的に正回転と逆回転を繰り返すことを特徴とする結晶製造装置。 - 結晶の原料を含む原料溶液と、
前記原料溶液を収容する容器と、
結晶成長面にオフ角を有する種結晶と、を有し、
前記容器は、回転中心の位置が、前記種結晶の中心位置に対して、前記オフ角の形成方向であるステップフロー方向の下流側にあるように回転し、
前記容器の回転が、周期的に正回転と逆回転を繰り返すことを特徴とする結晶製造装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018058741A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法 |
WO2019088221A1 (ja) * | 2017-11-01 | 2019-05-09 | セントラル硝子株式会社 | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 |
WO2019225697A1 (ja) * | 2018-05-25 | 2019-11-28 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶製造装置および炭化珪素単結晶の製造方法 |
KR20210004200A (ko) * | 2019-07-03 | 2021-01-13 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘카바이드 단결정 제조 장치 |
KR20210004199A (ko) * | 2019-07-03 | 2021-01-13 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘카바이드 단결정 제조 장치 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6915526B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2021-08-04 | 信越半導体株式会社 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP6879236B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2021-06-02 | 信越半導体株式会社 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
KR102302753B1 (ko) * | 2018-05-25 | 2021-09-14 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
JP7096079B2 (ja) * | 2018-06-15 | 2022-07-05 | キオクシア株式会社 | プラズマ処理装置の再生装置 |
CN114108093B (zh) * | 2021-11-30 | 2023-03-14 | 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 | 碳化硅晶体生长装置 |
CN114574944A (zh) * | 2022-03-21 | 2022-06-03 | 北京晶格领域半导体有限公司 | 碳化硅单晶液相生长装置及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02232913A (ja) * | 1989-03-06 | 1990-09-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 酸化物ガーネット単結晶の製造方法 |
JP2008100854A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Toyota Motor Corp | SiC単結晶の製造装置および製造方法 |
JP2011230966A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | 第13族金属窒化物結晶の製造方法 |
JP2013173645A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Hitachi Chemical Co Ltd | 結晶成長装置及び結晶成長方法 |
WO2014034080A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-06 | 国立大学法人名古屋大学 | 3C-SiC単結晶およびその製造方法 |
JP2014043367A (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-13 | Nagoya Univ | SiC単結晶の製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3228753A (en) * | 1962-07-27 | 1966-01-11 | Texas Instruments Inc | Orbital-spin crystal pulling |
US3353914A (en) * | 1964-12-30 | 1967-11-21 | Martin Marietta Corp | Method of seed-pulling beta silicon carbide crystals from a melt containing silver and the product thereof |
JPH11171689A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-06-29 | Murata Mfg Co Ltd | 酸化物単結晶膜の製造方法 |
JP5062053B2 (ja) * | 2008-06-19 | 2012-10-31 | 日産自動車株式会社 | 車両用空気調和装置 |
JP4780209B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2011-09-28 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法 |
JP4887418B2 (ja) * | 2009-12-14 | 2012-02-29 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハの製造方法 |
WO2014034081A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-06 | 国立大学法人名古屋大学 | 結晶製造装置、SiC単結晶の製造方法およびSiC単結晶 |
JP5936191B2 (ja) * | 2012-08-26 | 2016-06-15 | 京セラ株式会社 | 結晶の製造方法 |
JP6028033B2 (ja) * | 2012-09-04 | 2016-11-16 | 新日鐵住金株式会社 | 単結晶の製造装置、それに用いられる坩堝及び単結晶の製造方法 |
CN106103815A (zh) * | 2014-03-13 | 2016-11-09 | 新日铁住金株式会社 | SiC单晶的制造方法 |
-
2014
- 2014-09-11 JP JP2014184978A patent/JP6259740B2/ja active Active
-
2015
- 2015-09-10 EP EP15839771.1A patent/EP3192898B1/en active Active
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- 2015-09-10 KR KR1020177009689A patent/KR101911455B1/ko active IP Right Grant
- 2015-09-10 US US15/510,038 patent/US10151046B2/en active Active
- 2015-09-10 WO PCT/JP2015/075711 patent/WO2016039415A1/ja active Application Filing
- 2015-09-11 TW TW104130177A patent/TWI679319B/zh active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02232913A (ja) * | 1989-03-06 | 1990-09-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 酸化物ガーネット単結晶の製造方法 |
JP2008100854A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Toyota Motor Corp | SiC単結晶の製造装置および製造方法 |
JP2011230966A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | 第13族金属窒化物結晶の製造方法 |
JP2013173645A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Hitachi Chemical Co Ltd | 結晶成長装置及び結晶成長方法 |
WO2014034080A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-06 | 国立大学法人名古屋大学 | 3C-SiC単結晶およびその製造方法 |
JP2014043367A (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-13 | Nagoya Univ | SiC単結晶の製造方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018058741A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法 |
WO2019088221A1 (ja) * | 2017-11-01 | 2019-05-09 | セントラル硝子株式会社 | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 |
JP2019085328A (ja) * | 2017-11-01 | 2019-06-06 | セントラル硝子株式会社 | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 |
JP7352058B2 (ja) | 2017-11-01 | 2023-09-28 | セントラル硝子株式会社 | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 |
JP7255089B2 (ja) | 2018-05-25 | 2023-04-11 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶製造装置および炭化珪素単結晶の製造方法 |
CN112166210A (zh) * | 2018-05-25 | 2021-01-01 | 株式会社电装 | 碳化硅单晶制造装置及碳化硅单晶的制造方法 |
CN112166210B (zh) * | 2018-05-25 | 2023-03-10 | 株式会社电装 | 碳化硅单晶制造装置及碳化硅单晶的制造方法 |
JP2019202925A (ja) * | 2018-05-25 | 2019-11-28 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶製造装置および炭化珪素単結晶の製造方法 |
WO2019225697A1 (ja) * | 2018-05-25 | 2019-11-28 | 株式会社デンソー | 炭化珪素単結晶製造装置および炭化珪素単結晶の製造方法 |
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