JP2016036005A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 第１の部材と第２の部材とを有する加工部材を保持するステージと、
前記ステージ上のローラと、
前記ローラの移動方向に沿って延びており、且つ溝を有するガイドと、を有し、
前記ローラの回転軸は、前記ガイドの溝に沿って移動し、
前記回転軸が前記ガイドの溝に沿って移動することで前記ローラは回転し、前記第１の部材と前記第２の部材は分離することを特徴とする剥離装置。 - 第１の部材と第２の部材とを有する加工部材を保持するステージと、
前記ステージ上のローラと、
前記ローラの移動方向に沿って延びており、且つ溝を有するガイドと、
前記第１の部材と前記第２の部材との分離面に液体を供給する液体供給機構と、を有し、
前記ローラの回転軸は、前記ガイドの溝に沿って移動し、
前記回転軸が前記ガイドの溝に沿って移動することで前記ローラは回転し、前記第１の部材と前記第２の部材は分離することを特徴とする剥離装置。 - 請求項１又は請求項２において、
前記ローラは吸着機構を有することを特徴とする剥離装置。 - 請求項１又は請求項２において、
前記ローラは粘着面を有することを特徴とする剥離装置。
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