JP6513940B2 - 積層体の作製装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、本発明の一態様の剥離装置について図1〜図8を用いて説明する。
図1〜図3を用いて、加工部材203から第1の部材203aを剥離することで、第1の部材203a及び第2の部材203bを分離する例を示す。
構成例2では、ステージが移動することで、ステージに対する構造体の回転中心の位置が移動する例を示す。
本実施の形態では、本発明の一態様の積層体の作製装置について、図9及び図10を用いて説明する。
以下に、本発明の一態様の積層体の作製装置を構成する個々の要素について説明する。
第1の供給ユニット100は、加工部材80を供給する。例えば、搬送機構111が加工部材80を連続して搬送することができるように、複数の加工部材80を収納することができる多段式の収納庫を備える構成とすることができる。
第1の分離ユニット300は、実施の形態1で例示した本発明の一態様の剥離装置を有する。
第1の貼り合わせユニット400は、第1の接着層31を形成する機構と、第1の接着層31を用いて第1の残部80aと第1の支持体41を貼り合わせる圧着機構を備える。
支持体供給ユニット500は、第1の支持体41を供給する。例えば、ロール状で供給されるフィルムを巻き出して、所定の長さに断裁し、表面を活性化して、第1の支持体41として供給する。図32には、支持体供給装置が有する、ロール状のフィルムを巻き出す巻出し機構の一例の写真を示す。
以下に、積層体の作製装置1000Aを用いて、加工部材80から積層体81を作製する方法について、図9及び図10を参照しながら説明する。
加工部材80が第1の供給ユニット100に搬入される。第1の供給ユニット100は加工部材80を供給し、搬送機構111は加工部材80を搬送し、第1の分離ユニット300に加工部材80を供給する。
第1の分離ユニット300が、加工部材80の一方の表層80bを剥離する。具体的には、接合層30の端部近傍に形成された剥離の起点13sから、第1の基板11を第1の剥離層12と共に第1の被剥離層13から分離する(図10(C))。
搬送機構111が第1の残部80aを搬送する。第1の洗浄装置350は、供給された第1の残部80aを洗浄する。
搬送機構111が積層体81を搬送し、第1の積み出しユニットを兼ねる第1の供給ユニット100は積層体81を供給される。
なお、第1の接着層31の硬化に時間を要する場合は、第1の接着層が硬化していない状態の積層体81を積み出して、第1の接着層31を積層体の作製装置1000Aの外部で硬化させると、装置の占有時間を短縮できるため好ましい。
本発明の一態様の積層体の作製装置に用いることができる他の剥離装置について説明する。図27は、剥離装置を説明する斜視図である。当該剥離装置は、固定ステージ230、吸着機構240、楔型治具250を備える。なお、図27では、各要素が有する動力機構などの詳細は図示していない。
本実施の形態では、本発明の一態様の積層体の作製装置について、図11〜図13を用いて説明する。
以下に、本発明の一態様の積層体の作製装置を構成する個々の要素について説明する。
第2の供給ユニット600は、積層体91が供給され、該積層体91を供給する(つまり第1の供給ユニットとは供給されるもの及び供給するものが異なる)ほかは、実施の形態2で説明する第1の供給ユニットと同様の構成を適用することができる。
起点形成ユニット700は、例えば、第1の支持体41及び第1の接着層31を切断し且つ第2の被剥離層23の一部を第2の剥離層22から剥離する切断機構を備える。
第2の分離ユニット800は、実施の形態1で例示した本発明の一態様の剥離装置を有する。
第2の貼り合わせユニット900は、第2の接着層32を形成する機構と、第2の接着層32を用いて第2の残部91aと第2の支持体42を貼り合わせる圧着機構を備える。
以下に、積層体の作製装置1000を用いて、加工部材90から積層体92を作製する方法について、図11〜図13を参照しながら説明する。
加工部材90が第1の供給ユニット100に搬入される。第1の供給ユニット100は加工部材90を供給し、搬送機構111は加工部材90を搬送し、第1の分離ユニット300に加工部材90を供給する。
第1の分離ユニット300が、加工部材90の一方の表層90bを剥離する。具体的には、接合層30の端部近傍に形成された剥離の起点13sから、第1の基板11を第1の剥離層12と共に第1の被剥離層13から分離する(図12(C))。
搬送機構111が第1の残部90aを搬送する。第1の洗浄装置350は、供給された第1の残部90aを洗浄する。
搬送機構111が積層体91を搬送し、第1の積み出しユニットを兼ねる第1の供給ユニット100は積層体91を供給される。
積層体91が第2の供給ユニット600に搬入される。第2の供給ユニット600は積層体91を供給し、搬送機構112は積層体91を搬送し、起点形成ユニット700に積層体91を供給する。
起点形成ユニット700が、積層体91の第1の接着層31の端部近傍にある、第2の被剥離層23の一部を第2の剥離層22から剥離して、剥離の起点91sを形成する。
第2の分離ユニット800が、積層体91の一方の表層91bを剥離する。具体的には、第1の接着層31の端部近傍に形成された剥離の起点91sから、第2の基板21を第2の剥離層22と共に第2の被剥離層23から分離する(図13(B))。
搬送機構112が第2の残部91aを搬送し、第2の被剥離層23が上面を向くように第2の残部91aを反転する(図13(C))。第2の洗浄装置850は、供給された第2の残部91aを洗浄する。
搬送機構112が積層体92を搬送し、第2の積み出しユニットを兼ねる第2の供給ユニット600は積層体92を供給される。
本実施の形態の変形例について、図14を参照しながら説明する。
搬送機構111が積層体91を搬送し、第2の洗浄装置850が積層体91を供給される。
搬送機構112が積層体91を搬送し、起点形成ユニット700が積層体91を供給される。
搬送機構112が第2の残部91aを搬送し、第2の被剥離層23が上面を向くように第2の残部91aを反転する。第2の貼り合わせユニット900は、第2の残部91aを供給される。
本実施の形態では、本発明の一態様の積層体の作製装置に適用可能な加工部材について、図15を用いて説明する。
図15(A)に示す加工部材80は、第1の基板11、第1の基板11上の第1の剥離層12、第1の剥離層12と一方の面が接する第1の被剥離層13、第1の被剥離層13の他方の面と一方の面が接する接合層30、及び接合層30の他方の面が接する基材25を備える。
図15(B)に示す加工部材90は、加工部材80の基材25に換えて、第2の基板21、第2の基板21上の第2の剥離層22、第2の剥離層22と他方の面が接する第2の被剥離層23を有し、第2の被剥離層23の一方の面が、接合層30の他方の面と接する点が異なる。よって、ここでは異なる部分について詳細に説明し、同様の構成は、上記の説明を援用する。
本発明の一態様で用いる剥離層の平面形状は特に限定されない。剥離工程時、剥離の起点に、被剥離層と剥離層を引き離す力が集中することが好ましいため、剥離層の中央部や辺部に比べて、角部近傍に剥離の起点を形成することが好ましい。
本実施の形態では、本発明の一態様の剥離装置や本発明の一態様の積層体の作製装置を用いて作製することのできる可撓性を有する発光装置の例について説明する。
図16(A)に可撓性を有する発光装置の平面図を示し、図16(A)における一点鎖線G1−G2間の断面図の一例を図16(B)に示す。また、変形例として、図17(A)、(B)に可撓性を有する発光装置の断面図をそれぞれ示す。
図18(A)に発光装置における光取り出し部1304の別の例を示す。
図18(B)に発光装置の別の例を示す。
次に、発光装置に用いることができる材料等を説明する。なお、本実施の形態中で先に説明した構成については説明を省略する。
次に、発光装置の作製方法を図19及び図20を用いて例示する。ここでは、具体例1(図16(B))の構成の発光装置を例に挙げて説明する。
本実施の形態では、折り曲げ可能なタッチパネルの構成について、図21〜図24を用いて説明する。なお、各層の材料については実施の形態5を参照することができる。なお、本実施の形態では、有機EL素子を用いたタッチパネルを例示するが、これに限られない。本発明の一態様では、例えば、実施の形態5に例示した他の素子を用いたタッチパネルを作製することができる。
図21(A)はタッチパネルの上面図である。図21(B)は図21(A)の一点鎖線A−B間及び一点鎖線C−D間の断面図である。図21(C)は図21(A)の一点鎖線E−F間の断面図である。
図22(A)、(B)は、タッチパネル505の斜視図である。なお明瞭化のため、代表的な構成要素を示す。図23は、図22(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図である。
図24は、タッチパネル505Bの断面図である。本実施の形態で説明するタッチパネル505Bは、供給された画像情報をトランジスタが設けられている側に表示する表示部501を備える点及びタッチセンサが表示部の基板510側に設けられている点が、構成例2のタッチパネル505とは異なる。ここでは異なる構成について詳細に説明し、同様の構成を用いることができる部分は、上記の説明を援用する。
本実施の形態では、本発明の一態様の剥離装置や本発明の一態様の積層体の作製装置を適用して作製できる電子機器及び照明装置について、図25及び図26を用いて説明する。
12 剥離層
13 被剥離層
13s 剥離の起点
21 基板
22 剥離層
23 被剥離層
25 基材
30 接合層
31 接着層
32 接着層
41 支持体
41b 支持体
42 支持体
80 加工部材
80a 残部
80b 表層
81 積層体
90 加工部材
90a 残部
90b 表層
91 積層体
91a 残部
91b 表層
91s 剥離の起点
92 積層体
100 供給ユニット
111 搬送機構
112 搬送機構
151 作製基板
153 剥離層
155 被剥離層
200 加工部材
201 構造体
202 剥離の起点
203 加工部材
203a 第1の部材
203b 第2の部材
205 ステージ
207 ガイド
208 矢印
209 回転軸
210 基板
211 部材
220 基板
230 固定ステージ
231 構造体
232 構造体
240 吸着機構
241 吸着治具
241a 吸着治具
242 上下機構
243 吸着部
243a 吸気口
244 軸
245 可動部
250 楔型治具
251 構造体
253 加工部材
253a 第1の部材
253b 第2の部材
254 センサ
255 ステージ
256 ステージ
257 支持体
258 搬送ローラ
259 回転軸
261 部材
262 剥離の起点
270 ノズル
291 方向
292 方向
293 方向
300 分離ユニット
300b 収納部
301 表示部
302 画素
302B 副画素
302G 副画素
302R 副画素
302t トランジスタ
303c 容量
303g(1) 走査線駆動回路
303g(2) 撮像画素駆動回路
303s(1) 画像信号線駆動回路
303s(2) 撮像信号線駆動回路
303t トランジスタ
304 ゲート
308 撮像画素
308p 光電変換素子
308t トランジスタ
309 FPC
310 携帯情報端末
311 配線
312 表示パネル
313 ヒンジ
315 筐体
319 端子
320 携帯情報端末
321 絶縁層
322 表示部
325 非表示部
328 隔壁
329 スペーサ
330 携帯情報端末
333 表示部
335 筐体
336 筐体
337 情報
339 操作ボタン
340 携帯情報端末
345 携帯情報端末
350 洗浄装置
350R 発光素子
351 筐体
351R 下部電極
352 上部電極
353 EL層
353a 発光ユニット
353b 発光ユニット
354 中間層
355 情報
356 情報
357 情報
358 表示部
367BM 遮光層
367p 反射防止層
367R 着色層
380B 発光モジュール
380G 発光モジュール
380R 発光モジュール
390 タッチパネル
400 ユニット
500 支持体供給ユニット
501 表示部
502R 副画素
502t トランジスタ
503c 容量
503g 走査線駆動回路
503t トランジスタ
505 タッチパネル
505B タッチパネル
509 FPC
510 基板
510a 絶縁層
510b 可撓性基板
510c 接着層
511 配線
519 端子
521 絶縁膜
528 隔壁
550R 発光素子
560 封止層
567BM 遮光層
567p 反射防止層
567R 着色層
570 基板
570a 絶縁層
570b 可撓性基板
570c 接着層
580R 発光モジュール
590 基板
591 電極
592 電極
593 絶縁層
594 配線
595 タッチセンサ
597 接着層
598 配線
599 接続層
600 供給ユニット
700 起点形成ユニット
800 分離ユニット
800b 収納部
850 洗浄装置
900 ユニット
1000 作製装置
1000A 作製装置
1301 素子層
1303 基板
1304 光取り出し部
1305 接着層
1306 駆動回路部
1308 FPC
1357 導電層
1401 基板
1402 基板
1403 接着層
1405 絶縁層
1407 絶縁層
1408 導電層
1409 絶縁層
1409a 絶縁層
1409b 絶縁層
1411 絶縁層
1412 導電層
1413 封止層
1415 接続体
1430 発光素子
1431 下部電極
1433 EL層
1433a EL層
1433b EL層
1435 上部電極
1440 トランジスタ
1455 絶縁層
1457 遮光層
1459 着色層
1461 絶縁層
1501 作製基板
1503 剥離層
1505 作製基板
1507 剥離層
1510a 導電層
1510b 導電層
7100 携帯情報端末
7101 筐体
7102 表示部
7103 バンド
7104 バックル
7105 操作ボタン
7106 入出力端子
7107 アイコン
7200 照明装置
7201 台部
7202 発光部
7203 操作スイッチ
7210 照明装置
7212 発光部
7220 照明装置
7222 発光部
7300 表示装置
7301 筐体
7302 表示部
7303 操作ボタン
7304 部材
7305 制御部
7400 携帯電話機
7401 筐体
7402 表示部
7403 操作ボタン
7404 外部接続ポート
7405 スピーカ
7406 マイク
9999 タッチパネル
Claims (4)
- 加工部材を供給する供給ユニットと、
前記加工部材を第1の部材と第2の部材とに分離する分離ユニットと、
前記第1の部材を支持体に貼り合わせて積層体を形成する貼り合わせユニットと、を有し、
前記分離ユニットは、
前記加工部材を保持するステージと、
前記ステージ上のローラと、
前記ローラの移動方向に沿って延びており、且つ溝を有するガイドと、を有し、
前記ローラの回転軸は、前記ガイドの溝に沿って移動し、
前記回転軸が前記ガイドの溝に沿って移動することで前記ローラは回転し、前記第1の部材と前記第2の部材は分離することを特徴とする積層体の作製装置。 - 加工部材を供給する供給ユニットと、
前記加工部材を第1の部材と第2の部材とに分離する分離ユニットと、
前記第1の部材を支持体に貼り合わせて積層体を形成する貼り合わせユニットと、を有し、
前記分離ユニットは、
前記加工部材を保持するステージと、
前記ステージ上のローラと、
前記ローラの移動方向に沿って延びており、且つ溝を有するガイドと、
前記第1の部材と前記第2の部材との分離面に液体を供給する液体供給機構と、を有し、
前記ローラの回転軸は、前記ガイドの溝に沿って移動し、
前記回転軸が前記ガイドの溝に沿って移動することで前記ローラは回転し、前記第1の部材と前記第2の部材は分離することを特徴とする積層体の作製装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記ローラは吸着機構を有することを特徴とする積層体の作製装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記ローラは粘着面を有することを特徴とする積層体の作製装置。
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