KR20210079446A - 박리 장치 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

박리 장치 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

박리 장치가 제공된다. 박리 장치는 수조, 상기 수조 내에 배치되는 스테이지, 상기 스테이지 상부에 배치되는 박리 부재 및 상기 수조 내에 배치되며, 상기 스테이지의 외측에 배치되는 배출 방지 블록을 포함하고, 상기 배출 방지 블록의 높이는 상기 스테이지의 높이보다 큰 박리 장치.

Description

박리 장치 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법{PEELING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 박리 장치 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 화상을 표시하는 장치로서 유기 발광 표시 패널이나 액정 표시 패널과 같은 표시 패널을 포함한다. 표시 장치는 표시 패널을 외부 충격으로부터 보호하기 위해 윈도우와 같은 보호 부재를 포함할 수 있다. 특히, 윈도우는 스마트폰 등 휴대 전자 기기에서 많이 적용된다.
윈도우에 사용될 수 있는 기재로는 투명한 필름이나 유리가 있다. 특히 유리(또는 셀)의 경우, 표시 장치를 제조하는 공정에서 이송의 편의성을 위해 복수의 유리가 적층된 상태로 이송될 수 있다. 이후, 라미네이션(Lamination) 공정을 위해, 적층된 상태의 복수의 유리를 각각 분리할 필요가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 적층된 복수의 유리 및 유리 사이에 배치된 필름을 자동으로 구분하고, 배출할 수 있는 박리 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 적층된 복수의 유리 및 유리 사이에 배치된 필름을 자동으로 구분하고, 배출할 수 있는 박리 장치를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제 해결을 위한 일 실시예에 따른 박리 장치는 수조, 상기 수조 내에 배치되는 스테이지, 상기 스테이지 상부에 배치되는 박리 부재 및 상기 수조 내에 배치되며, 상기 스테이지의 외측에 배치되는 배출 방지 블록을 포함하고, 상기 배출 방지 블록의 높이는 상기 스테이지의 높이보다 크다.
상기 수조의 내부에 채워지는 물을 더 포함할 수 있다.
상기 스테이지, 상기 배출 방지 블록 및 상기 박리 부재의 하측 일부는 상기 물에 잠길 수 있다.
상기 박리 부재는 표면이 고무로 덮여져 있는 롤러일 수 있다.
상기 박리 부재의 최하단의 높이는 상기 배출 방지 블록의 최상단의 높이보다 낮을 수 있다.
상기 박리 부재의 표면의 적어도 일부에는 마찰 부재가 배치될 수 있다.
상기 배출 방지 블록은 균일한 폭을 갖는 기저부 및 상기 기저부와 연결되고 상기 기저부의 폭보다 작은 폭을 갖는 팁부를 포함할 수 있다.
상기 팁부의 폭은 상단으로 갈수록 감소할 수 있다.
상기 팁부의 내측면은 둥근 형상일 수 있다.
상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 박리 부재와 함께 상기 대상 적층체로부터 상기 유리 부재를 박리하고, 표면이 고무로 덮여져 있는 서브 박리 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 박리 부재와 상기 서브 박리 부재는 동일한 높이를 갖을 수 있다.
상기 과제 해결을 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 복수의 유리 부재가 적층되어 있는 대상 적층체를 스테이지 상에 안착하는 단계, 상기 대상 적층체가 안착된 상기 스테이지를 상승시키는 단계 및 박리 부재를 이용하여 대상 적층체의 최상부에 위치하는 제1 유리 부재를 박리하는 단계를 포함하고, 상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계는 물로 채워진 수조 내에서 수행된다.
상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계에서 상기 물의 온도는 영상 70℃ 내지 영상 90℃일 수 있다.
상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계에서 상기 박리 부재의 적어도 일부, 상기 스테이지 및 상기 대상 적층체는 상기 액체 물질에 잠겨진 채로 상기 박리 공정이 수행될 수 있다.
상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계 이후에 상기 제1 유리 부재가 박리된 상기 대상 적층체가 안착된 상기 스테이지를 상승시키는 단계 및 상기 제1 유리 부재가 박리된 상기 대상 적층체의 최상부에 위치하는 제2 유리 부재를 박리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 대상 적층체는 복수의 유리 부재 사이에 필름을 더 포함하고, 상기 제2 유리 부재를 박리하는 단계 이전에 상기 제1 유리 부재가 박리된 상기 대상 적층체로부터 상기 필름을 박리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 박리 부재는 롤러이고, 상기 스테이지를 상승시키는 단계는 상기 스테이지 상에 안착된 상기 대상 적층체의 상기 제1 유리 부재가 상기 박리 부재와 직접 맞닿도록 상기 스테이지가 상승하는 단계일 수 있다.
상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계에서 상기 제1 유리 부재는 상기 박리 부재의 회전에 의해 박리될 수 있다.
상기 박리 부재의 표면은 고무로 덮여져 있을 수 있다.
상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계 이전에 상기 대상 적층체를 정렬하는 단계를 더 포함하고, 상기 대상 적층체를 정렬하는 단계에서 상기 제1 유리 부재의 하면으로부터 연장된 가상의 면과 배출 방지 블록의 내측면이 만나는 지점에서 상기 가상의 면과 상기 배출 방지 블록의 상기 내측면이 이루는 예각은 10° 내지 20°일 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 박리 장치는 적층된 복수의 유리 및 유리 사이에 배치된 필름을 자동으로 구분하고, 배출할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 적층된 복수의 유리 및 유리 사이에 배치된 필름을 자동으로 구분하고, 배출할 수 있으므로, 생산 효율을 증가시킬 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 박리 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 자른 단면도이다.
도 3은 도 2의 A 영역을 확대한 확대도이다.
도 4는 대상 적층체에서 각 적층 부재를 박리하는 과정을 순서대로 나타낸 순서도이다.
도 5는 박리 장치의 스테이지 유닛 상에 대상 적층체가 안착된 모습을 도시한 단면도이다.
도 6은 대상 적층체의 측면도이다.
도 7은 대상 적층체의 유리 부재의 단면도이다.
도 8은 스테이지 유닛 상에 안착된 대상 적층체가 정렬된 모습을 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 8의 B 영역을 확대한 확대도이다.
도 10 및 도 11은 제1 더미가 박리되는 모습을 도시하는 박리 부재 주변의 확대도이다.
도 12는 대상 적층체의 제1 더미가 박리될 때 배출 방지 추 주변의 확대도이다.
도 13 및 도 14는 제1 필름이 박리되는 모습을 도시하는 박리 부재 주변의 확대도이다.
도 15 및 도 16은 제1 유리 부재가 박리되는 모습을 도시하는 박리 부재 주변의 확대도이다.
도 17은 일 실시예에 따른 박리 장치를 이용하여 박리한 유리 부재를 포함하는 표시 장치의 평면도이다.
도 18은 도 17의 표시 장치가 폴딩된 경우의 단면도이다.
도 19는 다른 실시예에 따른 박리 장치의 박리 부재 주변을 도시한 단면도이다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 박리 부재 주변을 도시한 단면도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 박리 부재 주변을 도시한 단면도이다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 단면도이다.
도 23은 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 단면도이다.
도 24는 도 23의 박리 장치에 의해 대상 적층체로부터 적층 부재가 박리되는 방법을 간략히 도시한 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 구체적인 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 박리 장치의 사시도이다. 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 자른 단면도이다. 도 3은 도 2의 A 영역을 확대한 확대도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 박리 장치(10)는 박리 공정이 수행되는 수조(100), 대상 적층체(도 5 '20' 참조)의 위치를 조절하는 스테이지 모듈(200), 대상 적층체(도 5 '20' 참조)의 박리 공정을 수행하는 박리 모듈(300), 외측벽(410) 및 지지대(420)를 포함할 수 있다.
수조(100)는 박리 공정이 수행되는 공간을 제공할 수 있다. 수조(100)는 스테이지(210), 배출 방지 블록(330) 등을 수납하는 역할을 한다. 이를 위해 수조(100)는 상술한 부재들을 수용할 수 있는 수용 공간을 구비할 수 있다. 수조(100)는 바닥면(110) 및 바닥면(110)의 둘레를 따라 각 모서리에서 상부 방향으로 절곡되어 연장된 측벽부(120)를 포함할 수 있다.
수조(100)의 측벽부(120)는 스테이지(210) 및 배출 방지 블록(330)보다 큰 높이를 가질 수 있다. 다시 말해서, 상기 측벽부(120)의 상단의 높이는 배출 방지 블록(330)의 상단의 높이보다 크며, 스테이지(210)의 상면 즉, 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 안착될 수 있는 일면의 높이보다 클 수 있다. 즉, 스테이지(210)의 전 영역과 배출 방지 블록(330)의 전 영역은 수조(100) 내부에 위치한다.
아울러, 도면에 도시하진 않았으나, 박리 공정이 진행되는 과정에서 수조(100)는 액체 상태의 충진재(WT)로 채워질 수 있다. 상기 충진재(WT)는 이에 제한되는 것은 아니지만, 예를 들어, 물(H2O), 에탄올(Ethanol, C2H5OH) 또는 계면활성제 등일 수 있다.
스테이지 모듈(200)는 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 안착되는 스테이지(210), 스테이지(210)의 높이를 조절하는 높이 조절 유닛(220) 및 대상 적층체(도 5 '20' 참조)를 정렬하는 센터링 유닛(230)을 포함할 수 있다.
스테이지(210)은 수조(100) 내부에 배치되면서, 수조(100)의 바닥면(110)과 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 즉, 스테이지(210)은 수조(100) 내에 위치하면서, 수조(100)의 바닥면(110) 상부에 위치할 수 있다. 스테이지(210) 상에는 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 안착될 수 있다. 스테이지(210)의 높이는 높이 조절 유닛(220)에 의해 조절될 수 있다.
도면상 스테이지(210)은 지면에 수평인 것으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않는다. 예를 들어 스테이지(210)은 지면에 대하여 일정 각도를 가지고 기울어질 수 있으며, 상기 각도는 30° 이상 60° 이하일 수 있다. 이 경우, 스테이지(210) 상에 안착되는 대상 적층체(도 5 '20' 참조) 역시 지면에 대하여 상기 각도를 가지고 기울어질 수 있으며, 박리 장치(10)는 대상 적층체(도 5 '20' 참조)를 스테이지(210) 상에 고정시키기 위한 별도의 고정 부재를 더 포함할 수 있다.
높이 조절 유닛(220)은 높이 조절 구동부(221) 및 스테이지 연결부(222)를 포함할 수 있다. 높이 조절 유닛(220)에 의해, 스테이지(210)과 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(도 5 '20' 참조)의 높이를 조절할 수 있다. 즉, 높이 조절 유닛(220)에 의해, 스테이지(210) 및 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 상, 하로 이동할 수 있으며, 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 박리 모듈(300)의 박리 부재(310)와 접촉할 수 있다.
높이 조절 구동부(221)는 높이 조절 구동부(221)와 연결된 스테이지 연결부(222) 및 스테이지 연결부(222)와 연결된 스테이지(210)을 상, 하로 이동시킬 수 있다. 높이 조절 구동부(221)는 수조(100)의 외부에 배치될 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니지만, 리니어 모터(Linear motor) 또는 실린더 등일 수 있다.
스테이지 연결부(222)은 스테이지(210)과 높이 조절 구동부(221)를 연결할 수 있다. 즉, 높이 조절 구동부(221)의 상/하 이동에 의해, 스테이지(210)의 높이를 조절할 수 있도록 한다.
센터링 유닛(230)은 스테이지(210)의 일 측에 위치하면서, 상기 일 측과 대향하는 스테이지(210)의 타 측에 위치하는 박리 모듈(300)의 박리 부재(310)를 향하여 대상 적층체(도 5 '20' 참조)를 이동시킬 수 있다. 센터링 유닛(230)의 일 끝단은 스테이지(210) 상에 위치하고, 센터링 유닛(230)의 타 끝단은 상기 스테이지 연결부(222)에 위치할 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.
박리 모듈(300)는 대상 적층체(도 5 '20' 참조)에 적층된 각 적층 부재들(더미, 유리 및 필름(도 6의 'DM', 'FL', 'GL' 참조))을 박리할 수 있다. 박리 모듈(300)는 박리 부재(310), 박리 부재 지지부(320), 배출 방지 블록(330) 및 배출 방지 추(340)를 포함할 수 있다.
박리 부재(310)는 스테이지(210)의 상부에 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 박리 유닛은 롤러일 수 있다. 도면에 도시하진 않았으나, 스테이지(210) 상에 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 안착되는 경우 대상 적층체(도 5 '20' 참조)는 스테이지(210)과 박리 부재(310) 사이에 위치할 수 있다. 상기 박리 부재(310)의 표면은 고무로 덮여져 있을 수 있다. 박리 부재(310)의 표면을 덮고 있는 고무는 박리 부재(310)와 대상 적층체(도 5 '20' 참조) 사이의 마찰력을 증가시킬 수 있다. 박리 부재(310)가 회전함에 따라, 대상 적층체(도 5 '20' 참조)의 최상부에 위치하는 적층 부재가 박리될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
박리 부재 지지부(320)는 박리 부재(310)를 지지할 수 있다. 상세히 설명하면, 박리 부재 지지부(320)는 수조(100)의 상부에 위치하고, 수조(100) 외부의 지지대(420) 상면과 연결되면서, 박리 부재 지지부(320)는 수조(100)의 상부에 위치하도록 지지될 수 있다. 또한, 박리 부재 지지부(320)는 박리 부재(310)와 연결되어 박리 부재(310)가 스테이지(210)의 상부에 위치하도록 박리 부재(310)를 지지할 수 있다.
도면에 도시하진 않았으나, 박리 부재 지지부(320)는 압력 조절 스프링, 압력 조절 추 및 박리 부재 구동부를 더 포함할 수 있다. 압력 조절 스프링과 압력 조절 추는 박리 부재 지지부(320)의 높이를 조절할 수 있으며, 이에 따라, 박리 부재 지지부(320)에 연결된 박리 부재(310)의 높이를 조절할 수 있다. 박리 부재(310) 구동부는 박리 부재(310)가 회전하도록 박리 부재(310)를 구동할 수 있다. 이에 제한되는 것은 아니지만, 박리 부재 구동부는 자동으로 구동되거나, 작업자가 직접 수동으로 구동할 수도 있다.
배출 방지 블록(330)은 복수의 적층 부재가 적층된 대상 적층체(도 5 '20' 참조)에서 최상부에 위치하는 적층 부재가 박리될 때, 상기 적층 부재를 제외한 나머지 적층 부재들이 박리되지 않도록 하는 역할을 수행할 수 있다.
배출 방지 블록(330)은 수조(100)의 내부에 배치되면서, 스테이지(210)의 외측에 위치할 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330)은 스테이지(210)과 수조(100)의 측벽부(120) 사이에 위치할 수 있다. 아울러, 배출 방지 블록(330)은 상기 박리 부재(310)의 하부에 위치할 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330)은 박리 부재(310)와 두께 방향(제3 방향(DR3))으로 중첩할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
배출 방지 블록(330)의 최상단의 높이는 박리 부재(310)의 최하단의 높이보다 클 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330)은 박리 부재(310)의 하부에 위치하면서, 박리 부재(310)와 일정 거리 이격되나, 배출 방지 블록(330)의 최상단은 박리 부재(310)의 최하단으로부터 두께 방향(제3 방향(DR3))으로 제1 두께(W)만큼 상부에 위치할 수 있다. 이에 제한되는 것은 아니지만 상기 제1 두께(W)는 0.5mm 내지 1.0mm일 수 있다.
또한, 배출 방지 블록(330)은 스테이지(210)보다 큰 높이를 가질 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330)의 최상단의 높이는 스테이지(210)의 상면 즉, 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 안착될 수 있는 면의 높이보다 클 수 있다. 배출 방지 블록(330)의 제3 방향(DR3)의 두께는 스테이지(210)의 제3 방향(DR3)의 두께보다 클 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
아울러, 이에 제한되는 것은 아니지만, 배출 방지 블록(330)의 최상단의 높이와 박리 부재(310)의 최하단의 높이는 수조(100)의 측벽부(120)의 최상단의 높이보다 낮을 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330)은 배출 방지 블록(330)의 모든 부분이 수조(100)의 내부에 위치하며, 박리 부재(310)의 하측 일부는 수조(100)의 내부에 위치할 수 있다.
배출 방지 블록(330)은 기저부(331) 및 상기 기저부(331)와 연결된 팁부(332)를 포함할 수 있다. 기저부(331)는 이에 제한되는 것은 아니지만, 수조(100)의 바닥면(110)과 연결되어 있으며, 균일한 두께(제1 방향(DR1) 폭)를 가질 수 있다. 배출 방지 블록(330)의 기저부(331)의 두께는 기저부(331)가 제3 방향(DR3)으로 연장된 길이보다 더 작을 수 있다.
팁부(332)는 기저부(331)와 연결되고 기저부(331)의 두께(제1 방향(DR1) 폭)보다 작은 두께(제1 방향(DR1) 폭)를 가질 수 있다. 팁부(332)의 두께는 상단으로 갈수록 감소할 수 있다. 스테이지(210)과 대향하는 팁부(332)의 일 면을 팁부(332)의 내측면으로, 상기 팁부(332)의 내측면의 반대면인 타 면을 팁부(332)의 외측면으로 지칭할 수 있다. 팁부(332)의 내측면은 둥근 형상일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
스테이지(210)과 대향하는 기저부(331)의 일 면을 기저부(331)의 내측면으로, 상기 기저부(331)의 내측면의 반대면인 타 면을 기저부(331)의 외측면으로 지칭할 수 있다. 이 경우 팁부(332)의 외측면과 기저부(331)의 외측면은 상호 정렬될 수 있다.
배출 방지 추(340)는 스테이지(210)의 상부에 배치될 수 있다. 배출 방지 추(340)는 도면에 도시하진 않았으나, 대상 적층체(도 5 '20' 참조)가 스테이지(210) 상에 안착되었을 때, 대상 적층체(도 5 '20' 참조) 중 박리 대상인 최상층에 위치하는 적층 부재를 제외한 나머지 적층 부재들에 상부로부터 하부를 향해 압력을 가할 수 있다. 이에 따라, 박리되는 적층 부재와 함께 이동하는 것을 방지하고, 적층 부재와 함께 박리되지 않도록 하는 역할을 수행할 수 있다.
후술하겠으나, 박리 모듈(300)가 박리 부재(310) 뿐만 아니라 배출 방지 블록(330) 및 배출 방지 추(340)를 포함함에 따라, 복수의 적층 부재가 적층된 대상 적층체(도 5 '20' 참조)에서 최상부에 위치하는 하나의 적층 부재만을 자동으로 박리할 수 있어, 공정 효율이 향상될 수 있다.
외측벽(410)은 수조(100)의 외측에 배치될 수 있다. 외측벽(410)은 수조(100)의 외부에서 수조(100)를 둘러싸고 있을 수 있다. 수조(100)의 내부는 액체 상태의 충진재(WT)로 채워지며, 수조(100)가 액체 상태의 충진재(WT)로 채워진 상태에서 박리 공정이 진행될 수 있는데, 이 때 수조(100)로부터 액체 상태의 충진재(WT)가 흘러나올 수 있다. 외측벽(410)은 수조(100)로부터 흘러나온 액체 상태의 충진재(WT)를 외측벽(410) 내에 가두어 둘 수 있다.
지지대(420)는 외측벽(410) 및 수조(100)의 하부에 배치될 수 있다. 지지대(420)는 외측벽(410) 및 수조(100) 등의 구성을 지지하는 역할을 수행할 수 있으며, 박리 장치(10)의 다른 구성이 배치될 수 있는 공간을 제공할 수 있다.
이하에서, 복수의 적층 부재가 적층된 대상 적층체(도 5 '20' 참조)에서 각 적층 부재(복수의 유리 부재, 복수의 필름 및 복수의 더미(도 6의 'GL', 'FL', 'DM' 참조)를 박리하는 방법에 대해 설명한다. 상기 대상 적층체(도 5 '20' 참조)에서 박리된 유리 부재는 표시 장치의 보호 부재(또는, 윈도우)로 사용될 수 있다.
도 4는 대상 적층체에서 각 적층 부재를 박리하는 과정을 순서대로 나타낸 순서도이다. 도 5는 박리 장치의 스테이지 유닛 상에 대상 적층체가 안착된 모습을 도시한 단면도이다. 도 6은 대상 적층체의 측면도이다. 도 7은 대상 적층체의 유리 부재의 단면도이다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 복수의 적층 부재가 적층된 대상 적층체(20)를 준비하고, 스테이지(210) 상에 상기 대상 적층체(20)를 안착(S01)시킨다.
도시하진 않았으나, 대상 적층체(20)는 박리 장치(10)의 외부로부터 로봇 암(Robot arm) 등에 의해 스테이지(210) 상으로 이송될 수 있다. 또한, 대상 적층체(20)는 복수의 원장 유리 기판이 적층된 상태에서 그 일부를 원하는 모양으로 절단함으로써 형성될 수 있다. 다만, 대상 적층체(20)를 형성하는 방법은 이에 제한되는 것은 아니다.
유리 부재(GL)는 제1 유리 부재(GL1) 및 제2 유리 부재(GL2)를 지칭하며, 필름(FL)은 제1 필름(FL1), 제2 필름(FL2) 및 제3 필름(FL3)을 지칭하고, 더미(DM)는 제1 더미(DM1) 및 제2 더미(DM2)를 지칭할 수 있다.
대상 적층체(20)는 유리 부재(GL), 필름(FL) 및 더미(DM)를 포함할 수 있다. 즉, 대상 적층체(20)는 제1 유리 부재(GL1), 제2 유리 부재(GL2), 제1 필름(FL1), 제2 필름(FL2), 제3 필름(FL3), 제1 더미(DM1) 및 제2 더미(DM2)를 포함할 수 있다. 도면 상에는 제1 더미(DM1)와 제2 더미(DM2) 사이에 2개의 유리 부재(GL) 및 3개의 필름(FL)이 배치되는 것으로 도시하였으나, 유리 부재(GL)의 개수 및 필름(FL)의 개수는 이에 제한되지 않는다.
대상 적층체(20)는 제1 더미(DM1), 제1 필름(FL1), 제1 유리 부재(GL1), 제2 필름(FL2), 제2 유리 부재(GL2), 제3 필름(FL3) 및 제2 더미(DM2)를 포함할 수 있으며, 제1 더미(DM1), 제1 필름(FL1), 제1 유리 부재(GL1), 제2 필름(FL2), 제2 유리 부재(GL2), 제3 필름(FL3) 및 제2 더미(DM2) 순으로 적층될 수 있다. 즉, 제1 더미(DM1)는 대상 적층체(20)의 최상부에 배치되며 제2 더미(DM2)가 대상 적층체(20)의 최하부에 배치된다. 제1 더미(DM1)와 제2 더미(DM2) 사이에는 복수의 유리 부재(GL)와 복수의 필름(FL)이 위치할 수 있으며, 각 필름(FL)은 유리 부재(GL) 사이, 제1 더미(DM1)와 제1 유리 부재(GL1) 사이 및 제2 더미(DM2)와 제2 유리 부재(GL2) 사이에 배치될 수 있다.
제1 유리 부재(GL1)와 제2 유리 부재(GL2)는 실질적으로 동일한 구성이며, 이하에서 설명의 편의상 제1 유리 부재(GL1)와 제2 유리 부재(GL2)를 유리 부재(GL)로 지칭하여 설명하나, 유리 부재(GL)에 대한 설명은 제1 유리 부재(GL1) 및 제2 유리 부재(GL2)에도 적용될 수 있다.
유리 부재(GL)는 소정 두께를 갖는 판상형의 시트 형상일 수 있다. 후술하겠으나, 유리 부재(GL)는 표시 장치(도 17의 표지 장치 '30' 참조)의 윈도우 역할을 수행할 수 있다. 유리 부재(GL)는 표시 장치(도 17의 표지 장치 '30' 참조)의 윈도우(또는 보호 부재)로 적용될 수 있으며, 표시 장치(도 17의 표지 장치 '30' 참조)의 평면 형상에 대체로 유사한 평면 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(도 17의 표지 장치 '30' 참조)가 직사각형 형상인 경우, 유리 부재(GL)의 평면 형상 또한 직사각형일 수 있다.
유리 부재(GL)는 초박막(Ultra Thin Glass; UTG) 내지 박막 유리를 포함할 수 있다. 유리 부재(GL)가 초박막 또는 박막으로 이루어짐에 따라 유리 부재(GL)는 플렉시블한 특성을 가질 수 있다. 즉, 유리 부재(GL)는 휘어지거나, 벤딩, 폴딩, 롤링될 수 있는 특성을 가질 수 있다. 유리 부재(GL)의 두께는 예를 들어, 10㎛ 내지 300㎛의 범위에 있을 수 있다. 일 실시예에서, 30㎛ 내지 80㎛ 두께 또는 약 50㎛ 두께의 유리 부재(GL)가 적용될 수 있다.
유리 부재(GL)는 소다 라임 유리, 알칼리 알루미노 실리케이트 유리, 보로실리케이트 유리, 또는 리튬 알루미나 실리케이트 유리를 포함할 수 있다.
유리 부재(GL)는 강한 강도를 갖기 위해 화학적 강화 또는 열적 강화된 유리를 포함할 수 있다. 화학적 강화는 알칼리 염 내에서 이온교환처리 공정을 통해 이루어질 수 있다. 이온교환처리 공정은 2회 이상 이루어질 수도 있다.
강화된 유리 부재(GL)는 표면으로부터 깊이 방향으로 스트레스 프로파일을 가질 수 있다. 예를 들어, 유리 부재(GL)는 표면의 압축 영역(CS)과 내부의 인장 영역(CT)을 포함할 수 있다. 강화된 유리 부재(GL)에서 스트레스는 통상 표면에서 가장 크고 내부로 갈수록 감소한다. 압축 영역(CS)과 인장 영역(CT)의 경계에는 스트레스가 평형을 이루는 지점인 압축 깊이(DOL)가 정의된다.
유리 부재(GL)는 모 기판 상태의 유리를 셀 단위로 절단한 후 강화된 것일 수 있다. 유리의 강화 공정은 표면 부근에 압축 영역(CS)을 형성한다. 예를 들어, 이온교환공정을 진행할 때, 알칼리 염과 유리의 이온은 표면에서 상호 교환되고, 교환된 이온이 유리의 내부로 확산되면서 소정 깊이(DOL)의 압축 영역(CS)을 형성할 수 있다. 그런데, 유리 부재(GL)가 셀 단위로 절단된 상태에서 이온교환공정이 진행되면 유리 부재(GL)의 상면(US)과 하면(BS) 뿐만 아니라 측면(SS)을 통해서도 이온교환이 이루질 수 있다. 따라서, 유리 부재(GL)의 상면(US)과 하면(BS) 부근 뿐만 아니라, 측면(SS) 부근에서도 압축 영역(CS)이 형성될 수 있다.
유리 부재(GL)의 표면 부근에 압축 영역(CS)이 형성됨에 따라 유리 부재(GL)의 표면은 찍힘이 잘 발생하지 않을 수 있다. 즉, 유리 부재(GL)의 표면은 찍힘 특성이 우수할 수 있다.
제1 필름(FL1) 내지 제3 필름(FL3)은 실질적으로 동일한 구성이며, 이하에서 설명의 편의상 제1 필름(FL1) 내지 제3 필름(FL3)을 필름(FL)으로 지칭하여 설명하나, 이는 제1 필름(FL1) 내지 제3 필름(FL3)에도 적용될 수 있다.
필름(FL)은 수지(Resin)가 경화된 것일 수 있다. 상기 수지는 상술한 복수의 원장 기판을 적층하는 과정에서, 각 원장 기판 사이에 도포되어 각 원장 기판을 상호 결합시킬 수 있다. 이에 따라, 대상 적층체(20)가 이송될 때, 대상 적층체(20)를 보다 안정적으로 이송할 수 있게 하는 역할을 할 수 있다.
제1 더미(DM1) 및 제2 더미(DM2)는 유리 부재(GL)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. 다만, 제1 더미(DM1) 및 제2 더미(DM2)의 두께는 유리 부재(GL)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 제1 더미(DM1)는 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하고, 제2 더미(DM2)는 대상 적층체(20)의 최하부에 위치함으로써, 대상 적층체(20)를 이송하는 과정에서 발생할 수 있는 외부의 충격으로부터 제1 더미(DM1) 및 제2 더미(DM2) 사이에 배치된 복수의 유리 부재(GL)를 보호할 수 있다.
수조(100) 내부는 액체 상태의 충진재(WT)로 채워질 수 있다. 상기 충진재(WT)는 물(H2O)일 수 있다. 이하에서 상기 충진재(WT)는 물(H2O)인 것으로 설명하나, 충진재(WT)는 이에 제한되지 않으며, 예를 들어, 에탄올(Ethanol, C2H5OH) 또는 계면활성제 등일 수 있다.
수조(100)의 내부가 물(H2O)로 채워짐에 따라, 스테이지(210), 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(20), 박리 부재(310)의 하부 및 배출 방지 블록(330)은 물(H2O)에 잠길 수 있으며, 스테이지(210), 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(20), 박리 부재(310)의 하부 및 배출 방지 블록(330)은 물(H2O)에 잠긴 상태로 대부분의 박리 공정이 진행될 수 있다.
상기 물(H2O)의 온도는 영상 30℃ 이상에서 영상 90℃ 이하이거나 영상 70℃ 이상에서 영상 90℃ 이하일 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다. 수조(100)의 내부를 채우고 있는 물(H2O)의 온도가 상기와 같은 경우 대상 적층체(20)의 박리가 보다 용이할 수 있다.
구체적으로 설명하면, 대상 적층체(20)가 상기 온도의 물(H2O)에 잠기는 경우 상술한 필름(FL)은 필름(FL)과 접하고 있는 제1 유리 부재(GL1), 제2 유리 부재(GL2), 제1 더미(DM1) 또는 제2 더미(DM2)와의 결합력이 약화될 수 있다. 즉, 필름(FL)은 상기 온도의 물(H2O) 속에 잠기는 경우, 물리적 및/또는 화학적 변화에 의해 필름(FL) 자체의 결합력이 감소할 수 있다. 뿐만 아니라, 필름(FL)과 제1 유리 부재(GL1), 제2 유리 부재(GL2), 제1 더미(DM1) 또는 제2 더미(DM2) 사이에 물(H2O)이 침투하여, 필름(FL)과 제1 유리 부재(GL1), 제2 유리 부재(GL2), 제1 더미(DM1) 또는 제2 더미(DM2) 사이를 물리적으로 이격시킬 수 있다. 이에 따라, 필름(FL)과 제1 유리 부재(GL1), 제2 유리 부재(GL2), 제1 더미(DM1) 또는 제2 더미(DM2) 사이의 마찰력이 감소하게 되어, 이후에 진행될 박리 공정을 보다 원활하게 진행하도록 할 수 있다.
아울러, 도면으로 도시하진 않았으나, 대상 적층체(20)가 스테이지(210) 상에 안착되기 전, 대상 적층체(20)는 별도로 마련된 공간에서 상술한 온도의 물(H2O) 속에 20분 내지 30분 동안 잠기는 추가적인 공정이 수행될 수도 있다.
도 8은 스테이지 유닛 상에 안착된 대상 적층체가 정렬된 모습을 나타내는 단면도이다. 도 9는 도 8의 B 영역을 확대한 확대도이다.
이어, 도 8 및 도 9를 참조하면, 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(20)를 정렬(S02)한다.
구체적으로 설명하면, 센터링 유닛(230)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킴으로써, 센터링 유닛(230)가 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(20)를 제1 방향(DR1)으로 밀어, 대상 적층체(20)를 배출 방지 블록(330)을 향해 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 대상 적층체(20)의 적어도 일부가 배출 방지 블록(330)의 내측면에 접촉할 때까지 대상 적층체(20)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 다만, 대상 적층체(20)를 제1 방향(DR1)으로 이동시키는 방법은 이에 제한되는 것은 아니다.
이후, 스테이지(210)을 두께 방향(제3 방향(DR3))으로 상승시키고, 이에 따라, 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(20)를 두께 방향(제3 방향(DR3))으로 상승시킬 수 있다. 대상 적층체(20)를 상승시킴으로써, 대상 적층체(20)가 박리 부재(310)와 접촉하도록 할 수 있다. 상술한 높이 조절 유닛(220)를 사용하여 스테이지(210) 및 상기 스테이지(210)에 안착된 대상 적층체(20)를 상승시킬 수 있으나, 스테이지(210) 및 상기 스테이지(210)에 안착된 대상 적층체(20)를 상승시키는 방법은 이에 제한되지 않는다.
도 10 및 도 11은 대상 적층체의 제1 더미가 박리되는 모습을 도시하는 박리 부재 주변의 확대도이다. 도 12는 대상 적층체의 제1 더미가 박리될 때 배출 방지 추 주변의 확대도이다.
도 10 내지 도 12를 참조하면, 박리 부재(310)가 회전함에 따라, 대상 적층체(20)의 최상부에 적층된 제1 더미(DM1)가 박리(S03)된다.
스테이지(210)의 상승에 의해, 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하고 있는 제1 더미(DM1)는 박리 부재(310)와 접촉하게 되고, 박리 부재(310)의 회전에 의해, 제1 더미(DM1) 및 제1 더미(DM1)를 제외한 나머지 적층 부재들 중 일부는 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 이 때, 배출 방지 블록(330)이 제1 더미(DM1)의 이동 경로 상에 위치하고 있음에도 불구하고, 제1 더미(DM1)는 대상 적층체(20)로부터 박리되어, 배출 방지 블록(330)의 팁부(332) 및 수조(100)의 상부를 지나 수조(100)의 외측으로 배출될 수 있다. 반면에, 제1 더미(DM1) 하부에 배치되어 있는 상기 나머지 적층 부재들은 배출 방지 블록(330)에 의해 제1 방향(DR1)으로의 이동이 차단되며, 상기 나머지 적층 부재들은 박리되지 않는다.
구체적으로 설명하면, 제1 더미(DM1)가 대상 적층체(20)로부터 박리되기 전, 제1 더미(DM1)의 하면 즉, 제1 필름(FL1)과 대향하고 있는 제1 더미(DM1)의 일면으로부터 연장되는 가상의 연장면이 존재할 수 있다. 상기 가상의 면은 지면에 대해 수평일 수 있다. 상기 가상의 연장면과 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 내측면이 만나는 지점에서, 상기 가상의 연장면과 상기 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 내측면이 이루는 예각(θ1)은 1° 이상 30° 이하이거나 10° 이상 20° 이하일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
스테이지(210)을 기준으로 스테이지(210)에서 배출 방지 블록(330)을 향하는 "?袖* 제1 방향(DR1)의 일측으로 지칭하며, 스테이지(210)에서 높이 조절 유닛(220) 방향을 제1 방향(DR1)의 타측으로 지칭하기로 한다.
박리 부재(310)가 단면도 상 시계 방향으로 회전할 수 있고, 박리 부재(310)와 제1 더미(DM1) 사이의 마찰력에 의해, 제1 더미(DM1)는 제1 방향(DR1)에서 배출 방지 블록(330)을 향해 즉, 제1 방향(DR1) 일측으로 이동할 수 있다. 이 때, 제1 더미(DM1)의 하면에서 연장된 상기 가상의 면과 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 내측면이 이루는 예각(θ1)이 상기와 같은 경우, 제1 더미(DM1)는 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 내측면을 타고 배출 방지 블록(330)의 상부를 향해 계속 이동할 수 있다. 박리 부재(310)가 계속해서 회전하는 경우, 제1 더미(DM1)는 제1 방향(DR1) 일측을 향해 계속 이동할 수 있고, 대상 적층체(20)로부터 박리될 수 있다.
반면에, 제1 더미(DM1)의 하부에 위치하는 대상 적층체(20)의 나머지 적층 부재들은 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 형태에 의해, 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 내측면에 접촉할 때까지 제1 방향(DR1) 일측으로 약간 이동할 수 있다. 상기 나머지 적층 부재들이 제1 방향(DR1) 일측으로 약간 이동할 수 있다 하더라도, 상기 적층 부재들이 배출 방지 블록(330)의 팁부(332)의 내측면과 만나게 되면, 상기 나머지 적층 부재들은 더이상 이동할 수 없으며, 배출 방지 블록(330)에 의해 가로막혀, 제1 방향(DR1) 일측으로 이동이 차단된다. 즉, 제1 더미(DM1)를 제외한 나머지 적층 부재들은 대상 적층체(20)로부터 박리되지 않고 상기 스테이지(210) 상에 남게 된다.
아울러, 배출 방지 추(340)는 제1 더미(DM1)를 제외한 나머지 적층 부재들이 박리되는 것을 방지하는 역할을 수행할 수 있다. 배출 방지 추(340)는 대상 적층체(20)의 제1 방향(DR1) 타측에 위치하면서, 제1 더미(DM1)를 제외한 나머지 적층 부재 상에 위치할 수 있다. 배출 방지 추(340)는 일정 무게를 가질 수 있으며, 제1 더미(DM1)를 제외한 나머지 적층 부재 상에 배치됨으로써, 상기 나머지 적층 부재에 하중을 가할 수 있다. 이 때, 상기 하중은 두께 방향으로 아래쪽으로 가해지게 된다. 상기 하중에 의해, 상기 나머지 적층 부재가 제1 방향(DR1) 일측으로 이동하는 것을 억제 또는 방지할 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330)이 상기 나머지 적층 부재의 이동을 차단할 뿐만 아니라, 배출 방지 추(340)가 상기 나머지 적층 부재의 이동을 억제함으로써, 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 제1 더미(DM1)만 박리될 수 있다.
도 13 및 도 14는 제1 필름이 박리되는 모습을 도시하는 박리 부재 주변의 확대도이다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 제1 더미(DM1)가 박리된 후 스테이지(210) 및 상기 스테이지(210) 상에 안착된 제1 더미(DM1)가 박리된 대상 적층체(20)를 상승시켜, 제1 더미(DM1)가 박리된 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 제1 필름(FL1)을 박리(S04)한다.
스테이지(210)을 상승시킴으로써, 제1 더미(DM1)가 박리된 대상 적층체(20)를 상승시켜, 상기 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 제1 필름(FL1)이 박리 부재(310)와 접하도록 상기 대상 적층체(20)를 이동시킨다.
제1 필름(FL1)을 박리 부재(310)에 접촉하도록 이동시킨 후 박리 부재(310)를 구동하여, 박리 부재(310)를 회전시킨다. 이 경우 박리 부재(310)의 회전에 의해, 제1 필름(FL1) 및 제1 필름(FL1)을 제외한 나머지 적층 부재들 중 일부는 제1 방향(DR1) 일측으로 이동할 수 있다. 이 때, 배출 방지 블록(330)이 제1 필름(FL1)의 이동 경로 상에 위치하고 있음에도 불구하고, 제1 필름(FL1)은 대상 적층체(20)로부터 박리되어, 배출 방지 블록(330)의 팁부(332) 및 수조(100)의 상부를 지나 수조(100)의 외측으로 배출될 수 있다. 반면에, 제1 필름(FL1) 하부에 배치되어 있는 상기 나머지 적층 부재들은 배출 방지 블록(330) 및 배출 방지 추(340)에 의해 제1 방향(DR1)으로의 이동이 차단되며, 상기 나머지 적층 부재들은 박리되지 않는다.
제1 더미(DM1)가 박리된 대상 적층체(20)에서 제1 필름(FL1)만이 박리되고, 제1 더미(DM1) 및 제1 필름(FL1)을 제외한 나머지 적층 부재들이 박리되지 않는 상기 박리 공정(S04)은 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한 제1 더미(DM1)의 박리 공정(S03)과 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 도 13 및 도 14에서는 제1 더미(DM1)가 아닌 제1 필름(FL1)이 박리된다는 점과 제1 더미(DM1) 및 제1 필름(FL1)을 제외한 나머지 적층 부재들이 박리되지 않고 스테이지(210) 상에 배치된다는 점에서만 차이가 있다. 따라서, 중복되는 설명에 대해서는 생략하기로 한다.
도 15 및 도 16은 제1 더미 및 제1 필름이 박리된 대상 적층체에서 제1 유리 부재가 박리되는 모습을 도시하는 박리 부재 주변의 확대도이다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 제1 더미(DM1) 및 제1 필름(FL1)이 박리된 후 스테이지(210) 및 상기 스테이지(210) 상에 안착된 제1 더미(DM1)와 제1 필름(FL1)이 박리된 대상 적층체(20)를 상승시켜, 상기 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 제1 유리 부재(GL1)를 박리(S05)한다.
스테이지(210)을 상승시킴으로써, 제1 더미(DM1)와 제1 필름(FL1)이 박리된 대상 적층체(20)를 상승시켜, 상기 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 제1 유리 부재(GL1)가 박리 부재(310)와 접하도록 상기 대상 적층체(20)를 이동시킨다.
제1 유리 부재(GL1)를 박리 부재(310)에 접촉하도록 이동시킨 후 박리 부재(310)를 구동하여, 박리 부재(310)를 회전시킨다. 이 경우 박리 부재(310)의 회전에 의해, 제1 유리 부재(GL1), 및 제1 더미(DM1), 제1 필름(FL1) 및 제1 유리 기재를 제외한 나머지 적층 부재들 중 일부는 제1 방향(DR1) 일측으로 이동할 수 있다. 이 때, 배출 방지 블록(330)이 제1 유리 부재(GL1)의 이동 경로 상에 위치하고 있음에도 불구하고, 제1 유리 부재(GL1)는 상기 대상 적층체(20)로부터 박리되어, 배출 방지 블록(330)의 팁부(332) 및 수조(100)의 상부를 지나 수조(100)의 외측으로 배출될 수 있다. 반면에, 제1 유리 부재(GL1) 하부에 배치되어 있는 상기 나머지 적층 부재들은 배출 방지 블록(330) 및 배출 방지 추(340)에 의해 제1 방향(DR1)으로의 이동이 차단되며, 상기 나머지 적층 부재들은 박리되지 않는다.
제1 더미(DM1) 및 제1 필름(FL1)이 박리된 대상 적층체(20)에서 제1 유리 부재(GL1)만이 박리되고, 제1 더미(DM1), 제1 필름(FL1) 및 제1 유리 부재(GL1)를 제외한 나머지 적층 부재들이 박리되지 않는 상기 박리 공정(S05)은 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한 제1 더미(DM1)의 박리 공정(S03)과 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 도 15 및 도 16에서는 제1 더미(DM1)가 아닌 제1 유리 부재(GL1)가 박리된다는 점과 제1 더미(DM1), 제1 필름(FL1) 및 제1 유리 부재(GL1)를 제외한 나머지 적층 부재들이 박리되지 않고 스테이지(210) 상에 배치된다는 점에서만 차이가 있다. 따라서, 중복되는 설명에 대해서는 생략하기로 한다.
이어, 도시하진 않았으나 제1 필름(FL1)을 박리하는 공정(S04)과 제1 유리 부재(GL1)를 박리하는 공정(S05)를 반복하여 제2 필름(FL2), 제2 유리 부재(GL2) 및 제3 필름(FL3)을 순차적으로 제거할 수 있다. 도면 상에는 제1 필름(FL1) 내지 제3 필름(FL3) 및 제1 유리 부재(GL1) 내지 제2 유리 부재(GL2)만을 도시하였으나, 상술한 바와 같이, 필름(FL)의 개수와 유리 부재(GL)의 개수는 제한이 없다. 따라서, 필름(FL)의 개수 및 유리 부재(GL)의 개수에 따라 반복되는 제1 필름(FL1)을 박리하는 공정(S04) 및 제1 유리 부재(GL1)를 박리하는 공정(S05)의 횟수도 달라질 수 있다.
이어, 모든 필름(FL)과 모든 유리 기재를 박리한 후 대상 적층체(20)의 최하단에 위치하는 제2 더미(DM2)를 제거(S06)하면 모든 박리 공정이 종료된다. 상기 제2 더미(DM2)를 제거하는 방법은 상술한 제1 필름(FL1)을 박리하는 공정(S04) 또는 제1 유리 부재(GL1)를 박리하는 공정(S05)에 따를 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 작업자가 직접 제2 더미(DM2)를 제거할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 일 실시예에 따른 박리 장치(10)를 이용하여 대상 적층체(20)의 각 적층 부재들을 박리하는 경우, 대상 적층체(20)로부터 각 적층 부재를 자동으로 박리할 수 있다. 또한, 대상 적층체(20)에 적층된 복수의 적층 부재를 별도의 공정없이 연속적으로 박리할 수 있다. 이에 따라, 작업자가 직접 박리 공정을 수행하지 않으므로, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 각 적층 부재들을 박리하는 작업을 연속적으로 반복하여 수행할 수 있어, 박리 공정의 효율이 향상될 수 있다.
이하에서, 도 17 및 도 18을 참조하여, 일 실시예에 따른 박리 장치(10)를 이용하여 박리한 유리 부재(GL)를 포함하는 표시 장치에 대하여 설명한다.
도 17은 일 실시예에 따른 박리 장치를 이용하여 박리한 유리 부재를 포함하는 표시 장치의 평면도이다. 도 18은 도 17의 표시 장치가 폴딩된 경우의 단면도이다. 도 18에서 보호 부재(PRT)는 예시적으로 도 7의 제1 유리 부재(GL1)를 포함한다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 표시 장치(30)는 표시 영역(DPA)을 통해 화면이나 영상을 표시하며, 표시 영역(DPA)을 포함하는 다양한 장치가 그에 포함될 수 있다. 표시 장치(30)의 예는, 이에 제한되는 것은 아니지만, 스마트폰, 휴대 전화기, 태블릿 PC, PDA(Personal Digital Assistant), PMP(Portable Multimedia Player), 텔레비전, 게임기, 손목 시계형 전자 기기, 헤드 마운트 디스플레이, 퍼스널 컴퓨터의 모니터, 노트북 컴퓨터, 자동차 네비게이션, 자동차 계기판, 디지털 카메라, 캠코더, 외부 광고판, 전광판, 각종 의료 장치, 각종 검사 장치, 냉장고나 세탁기 등과 같은 표시 영역(DPA)를 포함하는 다양한 가전 제품, 사물 인터넷 장치 등을 포함할 수 있다.
표시 장치(30)는 표시 영역(DPA)과 비표시 영역(NDA)을 포함한다. 표시 영역(DPA)은 화면이 표시되는 영역이고, 비표시 영역(NDA)은 화면이 표시되지 않는 영역이다.
표시 영역(DPA)에는 복수의 화소(PX)가 배치될 수 있다. 화소(PX)는 화면을 표시하는 기본 단위가 된다. 화소(PX)는 이에 제한되는 것은 아니지만, 적색 화소, 녹색 화소, 및 청색 화소를 포함할 수 있다. 복수의 화소(PX)는 평면상 교대 배열될 수 있다. 예를 들어, 화소(PX)는 행렬 방향으로 배치될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)의 주변에 배치될 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)의 주변에 배치되며, 표시 영역(DPA)을 둘러쌀 수 있다. 일 실시예에서, 표시 영역(DPA)은 직사각형 형상으로 형성되고, 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)의 4변 둘레에 배치될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
표시 장치(30)는 폴딩 영역(FDA), 제1 언폴디드 영역(NFA1) 및 제2 언폴디드 영역(NFA2)을 포함할 수 있다. 폴딩 영역(FDA)은 실제로 휘어져 폴딩이 이루어지는 영역으로 표시 장치(30)의 중앙을 가로지를 수 있다. 폴딩 영역(FDA)을 경계로 제1 언폴디드 영역(NFA1)과 제2 언폴디드 영역(NFA2)이 나뉠 수 있다. 도면에서는 제1 언폴디드 영역(NFA1)과 제2 언폴디드 영역(NFA2)의 폭은 상이한 경우를 예시하였지만, 동일할 수도 있다.
폴딩 영역(FDA), 제1 언폴디드 영역(NFA1) 및 제2 언폴디드 영역(NFA2)은 각각 표시 영역(DPA) 및 비표시 영역(NDA)과 일부 중첩할 수 있다.
상기 폴딩은 표시면이 내측을 향하도록 폴딩되는 인폴딩 방식 및/또는 표시면이 외측을 향하도록 폴딩되는 아웃폴딩 방식이 적용될 수 있다. 도 18은 아웃폴딩 방식으로 폴딩된 예를 보여준다. 표시 장치(30)가 폴딩되면서 폴딩 영역(FDA)에서 표시 패널(ATL)과 보호 부재(PRT)가 함께 휘어진다. 폴딩 영역(FDA)에서의 보호 부재(PRT)는 휘어짐과 펴짐이 반복될 수 있다.
표시 장치(30)는 표시 패널(ATL) 및 표시 패널(ATL) 상에 배치된 보호 부재(PRT)를 포함할 수 있다.
표시 패널(ATL)은 유기 발광 표시 패널(OLED), 무기 발광 표시 패널(inorganic EL), 퀀텀닷 발광 표시 패널(QED), 마이크로 LED 표시 패널(micro-LED), 나노 LED 표시 패널(nano-LED), 플라즈마 표시 패널(PDP), 전계 방출 표시 패널(FED), 음극선 표시 패널(CRT)등의 자발광 표시 패널 뿐만 아니라, 액정 표시 패널(LCD), 전기 영동 표시 패널(EPD) 등의 수광 표시 패널을 포함할 수 있다.
보호 부재(PRT)는 필름층(FIL) 및 유리 부재(GL1)를 포함할 수 있다. 필름층(FIL)은 비산 방지 기능을 수행할 수 있다. 예를 들어, 유리 부재(GL1)가 파손된 경우에도 파편이 필름층(FIL)에 부착되어 있음으로 인해 파편의 비산이 방지될 수 있다. 필름층(FIL)은 비산 방지 기능 외에, 또는 그와 더불어 내충격 등의 다른 기능을 수행할 수도 있다.
유리 부재(GL1)는 필름층(FIL) 상에 배치될 수 있다. 유리 부재(GL1)에 대한 자세한 설명은 상술하였으므로, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
필름층(FIL)과 유리 부재(GL1) 사이에는 제1 결합층(PSA1)이 위치할 수 있다. 제1 결합층(PSA1)은 유리 부재(GL1)와 필름층(FIL) 사이에 개재되어 이들을 결합시키는 역할을 한다. 제1 결합층(PSA1)은 점착층인 것이 바람직하지만, 접착층일 수도 있다.
필름층(FIL)과 표시 패널(ATL) 사이에는 제2 결합층(PSA2)이 위치할 수 있다. 제2 결합층(PSA2)은 광학 투명 접착제(OCA)나 광학 투명 접착 수지(OCR) 등의 투명층일 수 있다. 보호 부재(PRT)는 제2 결합층(PSA2)에 의해 표시 패널(ATL) 상에 부착될 수 있다.
보호 부재(PRT)는 테두리 영역에 배치된 인쇄층(PL)을 더 포함할 수 있다. 인쇄층(PL)은 비표시 영역(NDA)에 배치된다. 인쇄층(PL)은 테두리 코팅층일 수 있다. 인쇄층(PL)은 심미감을 부여하는 장식층 및/또는 최외곽 블랙 매트릭스층일 수 있다.
이하, 박리 장치(10)의 다른 실시예들에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서, 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하거나 간략화하고, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
도 19는 다른 실시예에 따른 박리 장치의 박리 부재 주변을 도시한 단면도이다.
도 19를 참조하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_1)에 포함된 배출 방지 블록(330_1)의 팁부(332_1)는 내측면이 둥근 형상이 아니라는 점에서 도 2의 실시예와 차이가 있다.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10)는 배출 방지 블록(330)을 포함하고, 배출 방지 블록(330_1)은 기저부(331)와 팁부(332_1)를 포함할 수 있다. 다만, 배출 방지 블록(330_1)의 팁부(332_1)의 내측면은 둥근 형상이 아니며, 팁부(332_1)의 내측면은 상기 팁부(332_1)의 상부에서 팁부(332_1)의 하부를 향해 직선으로 연결되어 있을 수 있다. 즉, 배출 방지 블록(330_1)의 팁부(332_1)의 내측면은 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)에 대하여 기울어진 형상일 수 있다. 또한, 팁부(332_1)의 내측면과 제1 더미(DM1)의 하면에서 연장된 가상의 면이 만나는 지점에서 상기 내측면과 상기 가상의 면이 이루는 예각(θ2)은 1° 이상 30° 이하이거나 10° 이상 20° 이하일 수 있다.
이 경우에도 박리 부재(310)가 회전함에 따라, 대상 적층체(20)에 적층된 각 적층 부재들을 하나씩 자동으로 박리할 수 있어, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 박리 공정의 효율이 향상될 수 있다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 박리 부재 주변을 도시한 단면도이다.
도 20을 참조하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_2)에 포함된 배출 방지 블록(330_2)은 기저부(331) 및 팁부(332)를 포함하지 않으며, 원 기둥의 형태로 형성되었다는 점에서 도 2의 실시예와 차이가 있다.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10)는 배출 방지 블록(330_2)을 포함하되, 상기 배출 방지 블록(330_2)은 기저부(331) 및 팁부(332)를 포함하지 않으며, 제2 방향(DR2)으로 연장된 원기둥의 형상 또는 롤러의 형상일 수 있다. 따라서, 도 20의 도면상 본 실시예에 따른 배출 방지 블록(330_2)의 단면도는 원형일 수 있다.
배출 방지 블록(330_2)의 표면과 제1 더미(DM1)의 하면에서 연장된 가상의 면이 만나는 지점에서 상기 표면과 상기 가상의 면이 이루는 예각(θ3)은 1° 이상 30° 이하이거나 10° 이상 20° 이하일 수 있다.
이 경우에도 박리 부재(310)가 회전함에 따라, 대상 적층체(20)에 적층된 각 적층 부재들을 하나씩 자동으로 박리할 수 있어, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 박리 공정의 효율이 향상될 수 있다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 박리 부재 주변을 도시한 단면도이다.
도 21을 참조하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_3)에 포함된 박리 부재(310_3)의 표면의 적어도 일부 영역에는 마찰 부재(311_3)가 부착되어 있다는 점에서 도 2의 실시예와 차이가 있다.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_3)는 박리 부재(310_3)를 포함하고, 박리 부재(310_3)의 표면은 고무로 이루어지되, 박리 부재(310_3)의 표면에는 상기 표면의 적어도 일부 영역에 마찰 부재(311_3)가 부착되어 있을 수 있다. 이 경우 상기 마찰 부재(311_3)는 박리 부재(310_3)의 표면에 부착되며, 대상 적층체(20)의 각 적층 부재들과 직접 맞닿을 수 있다. 상기 마찰 부재(311_3)는 박리 부재(310_3)와 대상 적층체(20) 사이의 마찰력을 증가시킬 수 있다. 박리 부재(310_3)와 대상 적층체(20)의 각 적층 부재 사이의 마찰력이 증가됨에 따라, 박리 부재(310_3)의 회전에 의한 박리 공정이 보다 원활하게 수행될 수 있다.
이 경우에도 박리 부재(310_3)가 회전함에 따라, 대상 적층체(20)에 적층된 각 적층 부재들을 하나씩 자동으로 박리할 수 있어, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 박리 공정의 효율이 향상될 수 있다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 단면도이다.
도 22를 참조하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_4)는 박리 부재(310) 뿐만 아니라 서브 박리 부재(310S)를 포함한다는 점에서 도 2의 실시예와 차이가 있다.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10)는 박리 모듈(300)를 포함하되, 박리 모듈(300)는 복수의 박리 부재(310)를 포함할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 박리 장치(10)는 박리 부재(310) 및 서브 박리 부재(310S)를 포함할 수 있다. 서브 박리 부재(310S)의 형상은 박리 부재(310)의 형상과 실질적으로 동일할 수 있다.
서브 박리 부재(310S)는 스테이지(210) 상부에 배치되면서, 박리 부재(310)와 센터링 유닛(230) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 서브 박리 부재(310S)는 박리 부재(310)와 동일한 높이를 가질 수 있다. 즉, 스테이지(210)의 상면으로부터 박리 부재(310)까지의 높이는 스테이지(210)의 상면으로부터 서브 박리 부재(310S)까지의 높이와 동일할 수 있다. 이 경우, 스테이지(210) 상에 안착된 대상 적층체(20)가 상승함에 따라, 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 적층 부재는 박리 부재(310) 및 서브 박리 부재(310S)와 접촉할 수 있다. 대상 적층체(20)에서 최상부에 위치하는 적층 부재를 박리하는 공정을 진행하는 경우, 서브 박리 부재(310S)를 더 포함함에 따라, 박리 공정이 보다 원활하게 수행될 수 있다.
이 경우에도 박리 부재(310)가 회전함에 따라, 대상 적층체(20)에 적층된 각 적층 부재들을 하나씩 자동으로 박리할 수 있어, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 박리 공정의 효율이 향상될 수 있다. 아울러, 박리 장치(10)가 박리 부재(310) 뿐만 아니라 서브 박리 부재(310S)를 더 포함함에 따라, 박리 부재(310)가 손상된다 하더라도, 서브 박리 부재(310S) 만으로도 박리 공정을 수행할 수 있으므로, 박리 공정을 지속적으로, 원활하게 수행할 수 있다.
도 23은 또 다른 실시예에 따른 박리 장치의 단면도이다. 도 24는 도 23의 박리 장치에 의해 대상 적층체로부터 적층 부재가 박리되는 방법을 간략히 도시한 단면도이다.
도 23 및 도 24를 참조하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_5)의 박리 부재(310_5)는 롤러 아닌 플레이트(Plate) 형상이라는 점에서 도 2의 실시예와 차이가 있다.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 박리 장치(10_5)의 박리 부재(310_5)는 롤러의 형태로 형성되지 않으며, 플레이트의 형상으로 형성될 수 있다. 박리 부재(310_5)는 스테이지(210)의 상부에 배치될 수 있으며, 박리 부재 지지부(320)와 연결될 수 있다. 박리 부재(310_5)의 하면 즉, 스테이지(210)과 대향하는 면의 표면은 고무로 이루어질 수 있다. 다만, 박리 부재(310_5)는 이에 제한되지 않으며, 예를 들어, 박리 부재(310_5)의 하부에는 대상 적층체(20)를 흡착할 수 있는 흡착 부재가 배치될 수 있다.
박리 부재(310_5)는 상/하로(제3 방향(DR3)으로) 이동할 수 있다. 스테이지(210) 상에 대상 적층체(20)가 안착된 후, 스테이지(210) 상부에 배치된 박리 부재(310_5)는 하강하여 대상 적층체(20)와 접촉할 수 있다. 이어, 박리 부재(310_5)가 제1 방향(DR1) 일측으로 이동함에 따라, 대상 적층체(20)의 최상부에 위치하는 적층 부재는 박리 부재(310_5)와 함께 이동하여, 대상 적층체(20)로부터 박리될 수 있다.
이 경우에도 박리 부재(310_5)가 이동함에 따라, 대상 적층체(20)에 적층된 각 적층 부재들을 하나씩 자동으로 박리할 수 있어, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 박리 공정의 효율이 향상될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 박리 장치
20: 대상 적층체
30: 표시 장치
100: 수조
200: 스테이지 모듈
300: 박리 모듈
410: 외측벽
420: 지지대

Claims (20)

  1. 수조;
    상기 수조 내에 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지 상부에 배치되는 박리 부재; 및
    상기 수조 내에 배치되며, 상기 스테이지의 외측에 배치되는 배출 방지 블록을 포함하고,
    상기 배출 방지 블록의 높이는 상기 스테이지의 높이보다 큰 박리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 수조의 내부에 채워지는 물을 더 포함하는 박리 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 스테이지, 상기 배출 방지 블록 및 상기 박리 부재의 하측 일부는 상기 물에 잠기는 박리 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 박리 부재는 표면이 고무로 덮여져 있는 롤러인 박리 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 박리 부재의 최하단의 높이는 상기 배출 방지 블록의 최상단의 높이보다 낮은 박리 장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 박리 부재의 표면의 적어도 일부에는 마찰 부재가 배치되는 박리 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 배출 방지 블록은 균일한 폭을 갖는 기저부 및 상기 기저부와 연결되고 상기 기저부의 폭보다 작은 폭을 갖는 팁부를 포함하는 박리 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 팁부의 폭은 상단으로 갈수록 감소하는 박리 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 팁부의 내측면은 둥근 형상인 박리 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 박리 부재와 함께 상기 대상 적층체로부터 상기 유리 부재를 박리하고, 표면이 고무로 덮여져 있는 서브 박리 부재를 더 포함하는 박리 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 박리 부재와 상기 서브 박리 부재는 동일한 높이를 갖는 박리 장치.
  12. 복수의 유리 부재가 적층되어 있는 대상 적층체를 스테이지 상에 안착하는 단계;
    상기 대상 적층체가 안착된 상기 스테이지를 상승시키는 단계; 및
    박리 부재를 이용하여 대상 적층체의 최상부에 위치하는 제1 유리 부재를 박리하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계는 물로 채워진 수조 내에서 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계에서 상기 물의 온도는 영상 70℃ 내지 영상 90℃인 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계에서 상기 박리 부재의 적어도 일부, 상기 스테이지 및 상기 대상 적층체는 상기 액체 물질에 잠겨진 채로 상기 박리 공정이 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계 이후에 상기 제1 유리 부재가 박리된 상기 대상 적층체가 안착된 상기 스테이지를 상승시키는 단계; 및
    상기 제1 유리 부재가 박리된 상기 대상 적층체의 최상부에 위치하는 제2 유리 부재를 박리하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 대상 적층체는 복수의 유리 부재 사이에 필름을 더 포함하고,
    상기 제2 유리 부재를 박리하는 단계 이전에 상기 제1 유리 부재가 박리된 상기 대상 적층체로부터 상기 필름을 박리하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제12 항에 있어서,
    상기 박리 부재는 롤러이고,
    상기 스테이지를 상승시키는 단계는 상기 스테이지 상에 안착된 상기 대상 적층체의 상기 제1 유리 부재가 상기 박리 부재와 직접 맞닿도록 상기 스테이지가 상승하는 단계인 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계에서 상기 제1 유리 부재는 상기 박리 부재의 회전에 의해 박리되는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 박리 부재의 표면은 고무로 덮여져 있는 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 유리 부재를 박리하는 단계 이전에 상기 대상 적층체를 정렬하는 단계를 더 포함하고,
    상기 대상 적층체를 정렬하는 단계에서 상기 제1 유리 부재의 하면으로부터 연장된 가상의 면과 배출 방지 블록의 내측면이 만나는 지점에서 상기 가상의 면과 상기 배출 방지 블록의 상기 내측면이 이루는 예각은 10° 내지 20°인 표시 장치의 제조 방법.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080113486A1 (en) * 2006-09-29 2008-05-15 Shingo Eguchi Peeling apparatus and manufacturing apparatus of semiconductor device
JP2013134793A (ja) * 2011-12-26 2013-07-08 Furukawa Electric Co Ltd:The ガラス基板の製造方法およびガラス基板の製造装置
JP2015118719A (ja) * 2013-12-17 2015-06-25 旭硝子株式会社 ガラス基板分離装置、ガラス基板分離方法及びガラス基板の製造方法
US20160361913A1 (en) * 2013-12-03 2016-12-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Peeling apparatus and stack manufacturing apparatus
JP6090184B2 (ja) * 2014-01-27 2017-03-08 信越半導体株式会社 半導体ウェーハの洗浄槽及び貼り合わせウェーハの製造方法
KR20190033724A (ko) * 2017-09-22 2019-04-01 주식회사 제우스 디스플레이부 분리방법 및 디스플레이부 분리장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950005903B1 (ko) 1992-12-30 1995-06-07 삼성전기주식회사 박리지 제거장치
DE102007061410A1 (de) * 2007-12-11 2009-06-18 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von Wafern von einem Waferstapel
WO2010082567A1 (ja) * 2009-01-13 2010-07-22 株式会社エクサ ウエハ分離装置、ウエハ分離搬送装置、ウエハ分離方法、ウエハ分離搬送方法及び太陽電池用ウエハ分離搬送方法
DE102009024239A1 (de) * 2009-05-29 2010-12-02 Schmid Technology Systems Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Stapeln bzw. Transport einer Vielzahl von flachen Substraten
CN201901431U (zh) * 2010-12-21 2011-07-20 王晓春 一种铝扁管翻转上料装置
KR101989484B1 (ko) * 2012-07-09 2019-06-17 삼성디스플레이 주식회사 디라미네이션 장치 및 이를 포함하는 인라인 열전사 시스템

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080113486A1 (en) * 2006-09-29 2008-05-15 Shingo Eguchi Peeling apparatus and manufacturing apparatus of semiconductor device
JP2013134793A (ja) * 2011-12-26 2013-07-08 Furukawa Electric Co Ltd:The ガラス基板の製造方法およびガラス基板の製造装置
US20160361913A1 (en) * 2013-12-03 2016-12-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Peeling apparatus and stack manufacturing apparatus
JP2015118719A (ja) * 2013-12-17 2015-06-25 旭硝子株式会社 ガラス基板分離装置、ガラス基板分離方法及びガラス基板の製造方法
JP6090184B2 (ja) * 2014-01-27 2017-03-08 信越半導体株式会社 半導体ウェーハの洗浄槽及び貼り合わせウェーハの製造方法
KR20190033724A (ko) * 2017-09-22 2019-04-01 주식회사 제우스 디스플레이부 분리방법 및 디스플레이부 분리장치

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