JP2016027623A5 - インプリント材の供給パターンの作成方法、インプリント方法及び装置、物品の製造方法、及びプログラム - Google Patents

Description

本発明は、インプリント材の供給パターンの作成方法、インプリント方法及び装置、物品の製造方法、及びプログラムに関する。

Claims (10)

1. 型を用いて成形されるインプリント材の供給パターンの作成方法であって、
   前記型のパターン部を洗浄することで生じる前記パターン部の形状変化に関する情報を、異なる洗浄方法ごとに取得する工程と、
   前記洗浄方法に対応する前記形状変化に関する情報に基づいて、洗浄回数に対応する供給パターンを作成する工程と、
   を有することを特徴とする方法。
2. 前記供給パターンを作成する工程は、
   前記型を所定回数洗浄するまでに実行される洗浄方法の組み合わせに基づいて前記型の総形状変化に関する情報を取得し、該総形状変化に関する情報に基づいて前記所定回数に対応する供給パターンを作成する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 洗浄のタイミングに対応する前記洗浄方法ごとの形状変化を積算することにより、前記総形状変化に関する情報を求めることを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. １つの前記洗浄方法は、洗浄条件の異なる複数の洗浄工程を含み、
   前記方法は、前記洗浄方法ごとの前記形状変化に関する情報を取得する工程の前に、前記洗浄工程ごとの前記形状変化に関する情報を取得する工程をさらに有する
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
5. 前記洗浄方法ごとの前記形状変化に関する情報を取得する工程は、
   １つの洗浄方法に含まれる、それぞれの洗浄工程の組み合わせに基づいて、前記洗浄方法ごとの前記形状変化に関する情報を取得する工程を含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。
6. 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理において、前記基板上における前記インプリント材の供給パターンの作成方法であって、
   インプリント処理の回数が所定回数を超えたときに生じる前記型の欠陥に関する情報を取得する工程と、
   前記取得した欠陥に関する情報を用いて、前記所定回数を超えた後に実施されるインプリント処理に対応する供給パターンを作成する工程と、
   を有することを特徴とする方法。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の方法により作成された供給パターンを用いて、基板上にインプリント材を供給する工程と、
   型と、前記工程により供給されたインプリント材とを用いて前記基板上にパターンを形成する工程と、
   を有することを特徴とするインプリント方法。
8. 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
   前記インプリント材の供給パターンに基づいて前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
   前記インプリント処理を実行する処理部とを有し、
   前記供給パターンは、前記型の洗浄方法に応じて異なる、前記型のパターン部を洗浄することで生じる前記パターン部の形状変化に関する情報と洗浄回数とに対応していることを特徴とするインプリント装置。
9. 請求項８に記載のインプリント装置を用いてインプリント材のパターンを基板上に形成するステップと、
   前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
   を有することを特徴とする物品の製造方法。
10. コンピュータに、
    型のパターン部を洗浄することで生じる前記パターン部の形状変化に関する情報を、異なる洗浄方法ごとに取得する工程と、
    前記洗浄方法に対応する前記形状変化に関する情報に基づいて、洗浄回数に対応する供給パターンを作成する工程と、
    を実行させるためのプログラム。