JP2016027615A - 基板洗浄方法および基板洗浄装置 - Google Patents
基板洗浄方法および基板洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016027615A JP2016027615A JP2015068113A JP2015068113A JP2016027615A JP 2016027615 A JP2016027615 A JP 2016027615A JP 2015068113 A JP2015068113 A JP 2015068113A JP 2015068113 A JP2015068113 A JP 2015068113A JP 2016027615 A JP2016027615 A JP 2016027615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- substrate
- cluster
- gas cluster
- charged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
<第1の実施形態>
まず、第1の実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板洗浄装置を示す断面図である。
まず、ゲートバルブを開けて搬入出口を介して被処理基板Sを搬入し、基板載置台2上に載置し、処理容器1内を真空ポンプ6により真空引きして所定圧力の真空状態とするとともに、クラスター生成ガス供給部12からCO2ガス等のクラスター生成ガスを、所定流量で昇圧器(ガスブースター)により昇圧して、所定の供給圧力でクラスターノズル11から噴射する。これにより、クラスターノズル11から噴射されたクラスター生成ガスが断熱膨張し、ほぼ中性のガスクラスターCが生成される(図2(a))。なお、昇圧器を用いずにクラスター生成ガスの流量のみで供給圧力を調整してもよい。
なお、被処理基板Sが接地されていることにより、仮に被処理基板S以外から帯電したパーティクルが発塵した場合も、それらの再付着を極めて有効に抑制することができる。
次に、第2の実施形態について説明する。
図3は、本発明の第2の実施形態に係る基板洗浄装置を示す断面図である。
次に、第3の実施形態について説明する。
図4は、本発明の第3の実施形態に係る基板洗浄装置を示す断面図である。
次に、第4の実施形態について説明する。
図5は、本発明の第4の実施形態に係る基板洗浄装置を示す断面図である。
イオン電流=[シャッター閉の時の電流値]−[シャッター開の時の電流値]
次に、第5の実施形態について説明する。
図9は、本発明の第5の実施形態に係る基板洗浄装置を示す断面図である。
γ:導入ガスの比熱比
m:導入ガス分子の質量
である。
次に、第6の実施形態について説明する。
図11は、本発明の第6の実施形態に係る基板洗浄装置を示す断面図である。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施の形態においては、クラスター生成ガスを断熱膨張させることによりガスクラスターを生成したが、これに限るものではない。また、荷電ガスクラスターを生成する手法も上記実施形態に限定されるものではない。
2;基板載置台
3;駆動機構
4;排気口
5;排気配管
6;真空ポンプ
7;圧力制御バルブ
10,50,60;ガスクラスター照射機構
11,51,61;クラスターノズル
12,52,62;クラスター生成ガス供給部
20,20a,20b;VUVランプ
21;加速用電極
22;電源
30;制御部
42;イオン化源
45;プラズマ源
53;Heガス供給部
53′:H2ガス供給部
100,101,102,103,104,105;基板洗浄装置
C,C1;荷電ガスクラスター
S;被処理基板
Claims (33)
- ガスクラスターを用いて基板を洗浄する基板洗浄方法であって、
処理容器内に被処理基板を配置し、その中を排気して真空に保持することと、
前記処理容器内の被処理基板に向けて、荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射することと、
前記荷電ガスクラスターを被処理基板に到達する前に加速させることと、
加速された荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを被処理基板に衝突させて被処理基板上のパーティクルを除去することと、
前記被処理基板上のパーティクルを除去した際に、帯電した被処理基板およびパーティクルを除電することと、
被処理基板から除去され、除電されたパーティクルを排気流とともに前記処理容器から排出させることと
を含むことを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記荷電ガスクラスターは、前記処理容器内にクラスター生成ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより生成されたガスクラスターの少なくとも一部を荷電させることにより生成されることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターは、断熱膨張させることにより生成されたガスクラスターに電磁波を照射することにより生成されることを特徴とする請求項2に記載の基板洗浄方法。
- 前記電磁波は真空紫外線であることを特徴とする請求項3に記載の基板洗浄方法。
- 前記被処理基板および除去されたパーティクルを除電する際に、前記荷電ガスクラスターを生成する際の電磁波源から放射される電磁波を用いることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターは、前記処理容器内にクラスター生成ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより生成されたガスクラスターに、イオン化源で生成されたイオンを供給することにより生成されることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターは、前記処理容器内にクラスター生成ガスとヘリウムガスとの混合ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより生成されることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 前記混合ガスのヘリウムガスの流量とクラスター生成ガスの流量との比率は、10〜99%の範囲であることを特徴とする請求項7に記載の基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターは、前記処理容器内にクラスター生成ガスと水素ガスとの混合ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより生成されることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 前記混合ガスの水素ガスの流量とクラスター生成ガスの流量との比率は、10〜99%の範囲であることを特徴とする請求項9に記載の基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターは、前記処理容器内にアルコールガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより生成されることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターは、前記処理容器内に前記アルコールガスとヘリウムガスとの混合ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより生成されることを特徴とする請求項11に記載の基板洗浄方法。
- 前記ガスを噴射させる際の圧力は、0.1〜5MPaであることを特徴とする請求項7から請求項12のいずれか1項に記載の基板洗浄方法。
- 荷電ガスクラスターの加速は、荷電ガスクラスターが被処理基板に到達するまでの間で、荷電ガスクラスターと逆の極性を有する電荷により荷電ガスクラスターを引き込むことにより行われることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載に基板洗浄方法。
- 前記荷電ガスクラスターを、被処理基板に到達する前に除電することをさらに含むことを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の基板洗浄方法。
- 前記被処理基板は、接地された基板保持体に保持され、前記基板保持体を通して接地されていることを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか1項に記載の基板洗浄方法。
- ガスクラスターを用いて基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
被処理基板が配置され、真空に保持される処理容器と、
前記処理容器内を排気する排気機構と、
前記処理容器内の被処理基板に向けて、荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段と、
前記荷電ガスクラスターを、被処理基板に到達する前に加速させる手段と、
前記加速されたガスクラスターを含む前記ガスクラスターにより被処理基板上のパーティクルが除去された際に、帯電した被処理基板およびパーティクルを除電する除電手段と
を具備し、
前記被処理基板から除去され、前記除電手段により除電されたパーティクルを、前記排気機構により排気流とともに前記処理容器から排出させることを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段は、前記処理容器内にクラスター生成ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることによりガスクラスターを生成するガスクラスター生成機構と、生成されたガスクラスターの少なくとも一部を荷電する荷電手段とを有することを特徴とする請求項17に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電手段は、電磁波を照射して前記ガスクラスターの少なくとも一部を荷電ガスクラスターとすることを特徴とする請求項18に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電手段は、真空紫外線を照射する真空紫外線ランプであることを特徴とする請求項19に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電手段は、電磁波を照射することにより、前記除電手段としても機能することを特徴とする請求項19または請求項20に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段は、前記処理容器内にクラスター生成ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることによりガスクラスターを生成するガスクラスター生成機構と、生成されたガスクラスターの少なくとも一部にイオンを供給するイオン化源とを有することを特徴とする請求項17に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段は、前記処理容器内にクラスター生成ガスとヘリウムガスとの混合ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより、前記ガスクラスターの少なくとも一部を荷電ガスクラスターとすることを特徴とする請求項17に記載の基板洗浄装置。
- 前記混合ガスのヘリウムガスの流量とクラスター生成ガスの流量との比率は、10〜99%の範囲であることを特徴とする請求項23に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段は、前記処理容器内にクラスター生成ガスと水素ガスとの混合ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより、前記ガスクラスターの少なくとも一部を荷電ガスクラスターとすることを特徴とする請求項17に記載の基板洗浄装置。
- 前記混合ガスの水素ガスの流量とクラスター生成ガスの流量との比率は、10〜99%の範囲であることを特徴とする請求項25に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段は、前記処理容器内にアルコールガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることにより、前記ガスクラスターの少なくとも一部を荷電ガスクラスターとすることを特徴とする請求項17に記載の基板洗浄装置。
- 前記荷電ガスクラスターを含むガスクラスターを照射する手段は、前記処理容器内にアルコールガスとヘリウムガスとの混合ガスを高圧力で噴射させて断熱膨張させることを特徴とする請求項27に記載の基板洗浄装置。
- 前記ガスを噴射させる際の圧力は、0.1〜5MPaであることを特徴とする請求項23から請求項28のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記前記荷電ガスクラスターを加速させる手段は、荷電ガスクラスターが被処理基板に到達するまでの間で、荷電ガスクラスターと逆の極性を有する電荷により荷電ガスクラスターを引き込むことを特徴とする請求項17から請求項29のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記処理容器内の基板配置領域を覆う着脱可能なカバーをさらに具備することを特徴とする請求項17から請求項30のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記除電手段は、前記荷電ガスクラスターを、被処理基板に到達する前に除電することを特徴とする請求項17から請求項31のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 前記被処理基板は、接地された基板保持体に保持され、前記基板保持体を通して接地されていることを特徴とする請求項17から請求項32のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015068113A JP6566683B2 (ja) | 2014-07-02 | 2015-03-30 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
TW104120001A TWI680020B (zh) | 2014-07-02 | 2015-06-22 | 基板洗淨方法及基板洗淨裝置 |
KR1020150092221A KR101800505B1 (ko) | 2014-07-02 | 2015-06-29 | 기판 세정 방법 및 기판 세정 장치 |
US14/789,630 US20160001334A1 (en) | 2014-07-02 | 2015-07-01 | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014136643 | 2014-07-02 | ||
JP2014136643 | 2014-07-02 | ||
JP2015068113A JP6566683B2 (ja) | 2014-07-02 | 2015-03-30 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016027615A true JP2016027615A (ja) | 2016-02-18 |
JP6566683B2 JP6566683B2 (ja) | 2019-08-28 |
Family
ID=55016362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015068113A Active JP6566683B2 (ja) | 2014-07-02 | 2015-03-30 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160001334A1 (ja) |
JP (1) | JP6566683B2 (ja) |
KR (1) | KR101800505B1 (ja) |
TW (1) | TWI680020B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019050281A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 東芝メモリ株式会社 | プラズマ処理装置 |
US11446714B2 (en) * | 2015-03-30 | 2022-09-20 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method, and gas cluster generating apparatus and gas cluster generating method |
US11772138B2 (en) | 2015-03-30 | 2023-10-03 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method, and gas cluster generating apparatus and gas cluster generating method |
JP7488880B2 (ja) | 2021-12-27 | 2024-05-22 | セメス カンパニー,リミテッド | ホームポート、そして、これを含む基板処理装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108292598B (zh) * | 2015-11-30 | 2022-09-02 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置的腔室清洁方法 |
JP6596340B2 (ja) * | 2016-01-21 | 2019-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
WO2017189037A2 (en) * | 2016-04-29 | 2017-11-02 | Intel Corporation | Enhanced defect removal through substrate and media charge modulation |
JP7225211B2 (ja) * | 2017-08-18 | 2023-02-20 | ティーイーエル マニュファクチュアリング アンド エンジニアリング オブ アメリカ,インコーポレイテッド | 低温流体を噴霧するための装置 |
US10376050B2 (en) * | 2017-12-22 | 2019-08-13 | Purpose Built, Inc. | Multi-functional kitchen device |
US20220399210A1 (en) * | 2019-11-01 | 2022-12-15 | Tokyo Electron Limited | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method |
KR20210115861A (ko) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US11450506B2 (en) * | 2020-04-24 | 2022-09-20 | Tel Manufacturing And Engineering Of America, Inc. | Pattern enhancement using a gas cluster ion beam |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0855829A (ja) * | 1994-02-28 | 1996-02-27 | Applied Materials Inc | 高圧プラズマ処理方法および装置 |
JPH08319105A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-12-03 | Res Dev Corp Of Japan | ガスクラスターおよびガスクラスターイオンの 形成方法 |
JPH11354621A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-12-24 | Hitachi Ltd | 光照射による除電方法及びこれを用いた処理装置 |
JP2003505867A (ja) * | 1999-07-19 | 2003-02-12 | エピオン コーポレイション | 表面平滑加工用適応gcib |
JP2004146085A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Hitachi Ltd | ガスクラスターイオンの発生方法及びその発生装置 |
JP2006188721A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-20 | Canon Inc | クラスターのイオン化方法および装置、これらによりイオン化されたクラスターを用いた膜形成方法、エッチング方法、表面改質方法、洗浄方法 |
JP2010218901A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Canon Inc | ガスクラスターイオンビーム照射装置 |
JP2013175681A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Kyoto Univ | 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び真空処理装置 |
JP2014086247A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Canon Inc | 超音速ビーム装置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2662321B2 (ja) * | 1991-05-31 | 1997-10-08 | 科学技術振興事業団 | 超低速クラスターイオンビームによる表面処理方法 |
US6613240B2 (en) * | 1999-12-06 | 2003-09-02 | Epion Corporation | Method and apparatus for smoothing thin conductive films by gas cluster ion beam |
US6331227B1 (en) * | 1999-12-14 | 2001-12-18 | Epion Corporation | Enhanced etching/smoothing of dielectric surfaces |
JP4805251B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2011-11-02 | ティーイーエル エピオン インク. | ガスクラスターイオンビームの改良された処理方法および装置 |
US7459702B2 (en) * | 2004-10-26 | 2008-12-02 | Jayant Neogi | Apparatus and method for polishing gemstones and the like |
US20060093753A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Nickel Janice H | Method of engineering a property of an interface |
US7504135B2 (en) * | 2005-02-03 | 2009-03-17 | Samsung Electronics Co., Ltd | Method of fabricating a manganese diffusion barrier |
JP5466410B2 (ja) * | 2008-02-14 | 2014-04-09 | 信越化学工業株式会社 | Soi基板の表面処理方法 |
US8313663B2 (en) * | 2008-09-24 | 2012-11-20 | Tel Epion Inc. | Surface profile adjustment using gas cluster ion beam processing |
US8455060B2 (en) * | 2009-02-19 | 2013-06-04 | Tel Epion Inc. | Method for depositing hydrogenated diamond-like carbon films using a gas cluster ion beam |
JP2011003357A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Canon Inc | ガスクラスターイオンビーム加工装置 |
GB2484488B (en) * | 2010-10-12 | 2013-04-17 | Vg Systems Ltd | Improvements in and relating to ion guns |
JP5776397B2 (ja) * | 2011-07-19 | 2015-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄方法、処理装置及び記憶媒体 |
JP6157469B2 (ja) * | 2011-08-22 | 2017-07-05 | エクソジェネシス コーポレーション | ガスクラスタイオンビーム技術の適用により生体物質の表面の湿潤性および/または生体適合性特徴を変更する方法、およびそれにより作製される生体物質 |
US9315798B2 (en) * | 2011-08-22 | 2016-04-19 | Exogenesis Corporation | Methods for improving the bioactivity characteristics of a surface and objects with surfaces improved thereby |
US8512586B2 (en) * | 2011-09-01 | 2013-08-20 | Tel Epion Inc. | Gas cluster ion beam etching process for achieving target etch process metrics for multiple materials |
US20140336125A1 (en) * | 2011-12-19 | 2014-11-13 | Joseph Khoury | Methods for improving the bioactivity characteristics of a surface and objects with surfaces improved thereby |
JP5776669B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2015-09-09 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、および固体撮像素子の製造方法 |
US8993982B2 (en) * | 2013-07-15 | 2015-03-31 | Vg Systems Limited | Switchable ion gun with improved gas inlet arrangement |
US9123505B1 (en) * | 2014-02-21 | 2015-09-01 | Tel Epion Inc. | Apparatus and methods for implementing predicted systematic error correction in location specific processing |
-
2015
- 2015-03-30 JP JP2015068113A patent/JP6566683B2/ja active Active
- 2015-06-22 TW TW104120001A patent/TWI680020B/zh active
- 2015-06-29 KR KR1020150092221A patent/KR101800505B1/ko active IP Right Grant
- 2015-07-01 US US14/789,630 patent/US20160001334A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0855829A (ja) * | 1994-02-28 | 1996-02-27 | Applied Materials Inc | 高圧プラズマ処理方法および装置 |
JPH08319105A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-12-03 | Res Dev Corp Of Japan | ガスクラスターおよびガスクラスターイオンの 形成方法 |
JPH11354621A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-12-24 | Hitachi Ltd | 光照射による除電方法及びこれを用いた処理装置 |
JP2003505867A (ja) * | 1999-07-19 | 2003-02-12 | エピオン コーポレイション | 表面平滑加工用適応gcib |
JP2004146085A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Hitachi Ltd | ガスクラスターイオンの発生方法及びその発生装置 |
JP2006188721A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-20 | Canon Inc | クラスターのイオン化方法および装置、これらによりイオン化されたクラスターを用いた膜形成方法、エッチング方法、表面改質方法、洗浄方法 |
JP2010218901A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Canon Inc | ガスクラスターイオンビーム照射装置 |
JP2013175681A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Kyoto Univ | 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び真空処理装置 |
JP2014086247A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Canon Inc | 超音速ビーム装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11446714B2 (en) * | 2015-03-30 | 2022-09-20 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method, and gas cluster generating apparatus and gas cluster generating method |
US11772138B2 (en) | 2015-03-30 | 2023-10-03 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method, and gas cluster generating apparatus and gas cluster generating method |
JP2019050281A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 東芝メモリ株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP7488880B2 (ja) | 2021-12-27 | 2024-05-22 | セメス カンパニー,リミテッド | ホームポート、そして、これを含む基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101800505B1 (ko) | 2017-11-22 |
TWI680020B (zh) | 2019-12-21 |
JP6566683B2 (ja) | 2019-08-28 |
KR20160004203A (ko) | 2016-01-12 |
US20160001334A1 (en) | 2016-01-07 |
TW201611915A (en) | 2016-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6566683B2 (ja) | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 | |
US11446714B2 (en) | Processing apparatus and processing method, and gas cluster generating apparatus and gas cluster generating method | |
US11772138B2 (en) | Processing apparatus and processing method, and gas cluster generating apparatus and gas cluster generating method | |
US6375860B1 (en) | Controlled potential plasma source | |
JP2002289583A (ja) | ビーム処理装置 | |
CN108611623B (zh) | 抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置及方法 | |
US20100214712A1 (en) | Method for charge-neutralizing target substrate and substrate processing apparatus | |
JP5945178B2 (ja) | ガスクラスター照射機構およびそれを用いた基板処理装置、ならびにガスクラスター照射方法 | |
JP4825846B2 (ja) | カーボンナノチューブ作製装置 | |
US7755065B2 (en) | Focused ion beam apparatus | |
US8053747B2 (en) | Substrate processing apparatus and cleaning method of the same | |
JP5105729B2 (ja) | ガスクラスターイオンビームによる加工方法 | |
TWI728187B (zh) | 差異原位清潔用的工件加工裝置 | |
JP2002289582A (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
KR102071817B1 (ko) | 기판 세정 방법 및 기판 세정 장치, 및 클러스터 생성 가스의 선정 방법 | |
Uchida et al. | Atmospheric-pressure gas-breakdown characteristics with a radio-frequency voltage | |
JP2014037618A (ja) | 堆積装置および堆積方法 | |
JP2007266522A (ja) | プラズマ処理装置およびそれを用いた加工方法 | |
Xu et al. | Influence of the low-frequency source parameters on the plasma characteristics in a dual frequency capacitively coupled plasma reactor: Two dimensional simulations | |
Zolotukhin et al. | Generation of electron beam plasma inside the dielectric tube | |
JP2002270394A (ja) | イオンバランス制御機能付軟x線式イオナイザ | |
WO2014009583A1 (es) | Dispositivo y método para limpiar superficies con haz de gases en vacío y ultra alto vacío | |
JP6471845B2 (ja) | クラスターイオンビームを用いた常温接合方法および装置 | |
Klimov et al. | Forevacuum Plasma Source of a Ribbon Electron Beam for Beam Plasma Generation | |
Merlino | Negative Ion and Dust Particle-Containing Plasmas |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6566683 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |