JP5105729B2 - ガスクラスターイオンビームによる加工方法 - Google Patents
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Description
ノズルからガスを導入させてガスクラスターを生成させるクラスター生成室と、前記クラスター生成室から前記ガスクラスターをスキマーを通してイオン化器に導入してイオン化し、前記イオン化されたガスクラスターを電極群によって加速させて被処理物に照射することにより被処理物を加工する加工方法において、
前記スキマーを接地し、
前記イオン化器の電位が0KV以上10KV以下となるように、前記スキマーとの距離が20mm以下である前記イオン化器を接地するか又は該イオン化器に電圧を印加し、
前記電極群の電極及び前記被処理物に、前記スキマーと前記イオン化器の電位差よりも、前記イオン化器と前記被処理物または前記イオン化器と前記電極群の電極の電位差の方が大きくなるようにそれぞれの電位を設定して、前記ガスクラスターを加速させて前記被処理物に照射し、前記被処理物を加工することを特徴とする。
本実施例はスキマー4とイオン化器5の電位差を小さくすることで異常放電を防止するものである。
本実施例は、スキマー4とイオン化器5を同電位にして異常放電を防止する手法である。電位を除く構造は第1実施例と同様である。図3に示すように、ノズル1、クラスター生成室2、スキマー4、隔壁18およびイオン化器5は接地されていて電位は等しい。
本実施例は図4に示すように、各々接地され同電位となったスキマー4とイオン化器5を一体の構成部品として作成したものである。つまり、スキマー4とイオン化器5が同電位であるため、プロセス室15の隔壁18におけるスキマー4近傍にイオン化器5を直接取り付けた構造である。
本実施例はクラスターをイオン化し、加速した後でクラスターイオンビームの中性化を行い中性クラスターを基板に照射するものである。図5に示すように、基本的に第2実施例と同様であるが、第2実施例のようなステージ電極10及び碍子11を備えておらずステージ9が接地されている点、電極群7と基板8の間に、クラスターイオンの中性化を行うために加速後のクラスターイオンに熱電子を照射する熱フィラメント17が設けられている点で第2実施例とは異なっている。
2 クラスター生成室
4 スキマー
5 イオン化器
7 電極群
8 基板
15 プロセス室
18 隔壁
Claims (4)
- ノズルからガスを導入させてガスクラスターを生成させるクラスター生成室と、前記クラスター生成室から前記ガスクラスターをスキマーを通してイオン化器に導入してイオン化し、前記イオン化されたガスクラスターを電極群によって加速させて被処理物に照射することにより被処理物を加工する加工方法において、
前記スキマーを接地し、
前記イオン化器の電位が0KV以上10KV以下となるように、前記スキマーとの距離が20mm以下である前記イオン化器を接地するか又は該イオン化器に電圧を印加し、
前記電極群の電極及び前記被処理物に、前記スキマーと前記イオン化器の電位差よりも、前記イオン化器と前記被処理物または前記イオン化器と前記電極群の電極の電位差の方が大きくなるようにそれぞれの電位を設定して、前記ガスクラスターを加速させて前記被処理物に照射し、前記被処理物を加工することを特徴とする被処理物の加工方法。 - 前記被処理物の電位が、前記被処理物に照射されるガスクラスターとは逆極性の電位に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の被処理物の加工方法。
- 前記被処理物に照射されるガスクラスターは正に帯電していることを特徴とする請求項2に記載の被処理物の加工方法。
- 前記電極群による加速後のガスクラスターを中性化して前記被処理物に照射することを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項に記載の被処理物の加工方法。
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