JP2016016357A - 塗布装置及びその改良方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することが可能であると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを招来することのない塗布装置及びその改良方法を提供する。【解決手段】塗布液を吐出するノズル7を有する移動体6と、テーブル4に載置された基板3とが相対的に移動され、ノズルから吐出される塗布液を基板に塗布するようにした塗布装置1であって、基板を支持しつつテーブルに移送する支持アーム10が、移動体に設けられる。【選択図】図1
Description
本発明は、塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することが可能であると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを招来することのない塗布装置及びその改良方法に関する。
塗布液を塗布するノズルと塗布対象物とが相対的に移動しつつ塗布対象物に塗布液を塗布する塗布装置として、例えば、特許文献1が知られている。特許文献1の「塗布装置および塗布方法、ならびにカラーフィルター製造装置および製造方法」は、塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器をテーブル上に保持された基板の塗布位置に移動させながら、該塗布器から塗布液を吐出することにより、基板表面に塗膜を形成する塗布方法において、前記テーブルは複数の基板を相重ならずに保持できるものであり、該テーブル上の任意の基板保持位置に載置された基板に塗膜を形成する間に、他の基板保持位置では基板の排出および/または基板の載置を行うようにしている。
特に、テーブルへ基板を搬入し、テーブルから基板を搬出する移載装置(ロボット)が、テーブルが設置されているベースに対して、基板搬送方向上流側及び下流側に設置されている。
背景技術では、塗布装置と、基板の搬入、搬出を行うロボット等の移載装置とが、別個に設置されていた。このため、塗布装置及び移載装置双方を設置し得る広いスペースが必要であった。また、設備のレイアウト変更や設備の移転などにあたって、工場等のスペースが狭いなどの理由により、塗布装置と移載装置とを、所望の位置に設置することができないおそれがあり、既存の移載装置を用いて塗布装置に対し基板の搬入、搬出を行うことができない場合には、移載装置を新たに購入したり製作しなければならないため、コストアップになってしまうという課題があった。
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することが可能であると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを招来することのない塗布装置及びその改良方法を提供することを目的とする。
本発明にかかる塗布装置は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした塗布装置であって、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームが、上記ノズルユニットに設けられることを特徴とする。
前記テーブルは、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備え、前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする。
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回されることを特徴とする。
本発明にかかる塗布装置の改良方法は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含んで、該既存の塗布装置を改良するようにしたことを特徴とする。
本発明にかかる塗布装置及びその改良方法にあっては、塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することができると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを防止することができる。
以下に、本発明にかかる塗布装置及びその改良方法の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、本実施形態に係る塗布装置(例えば、テーブルコータ(日本国登録商標)などと称される)を示す斜視図である。
本実施形態に係る塗布装置1は概略的には、塗布液を吐出するノズル7を有するノズルユニットと、テーブル4に載置された塗布対象物である基板3とが相対的に移動され、ノズル7から吐出される塗布液を基板3に塗布するようにした塗布装置1であって、基板3を塗布装置1外部からテーブル4近くまで搬送する外部搬送装置14(図3及び図4に図示)とテーブル4との間で基板3を支持しつつ移送する支持アーム10が、ノズルユニットに設けられる。
外部搬送装置14は、所定位置に搬送された基板3を支持して昇降可能な外部リフトピン14bを備え、テーブル4は、基板3を支持して昇降可能なリフトピン4bを備え、支持アーム10は、外部リフトピン14b及びリフトピン4bのいずれか一方により上昇された状態の基板3の下方に入り込み、外部リフトピン14b及びリフトピン4bのいずれか一方が降下されることにより基板3を支持し、外部リフトピン14b及びリフトピン4bのいずれか一方は、上昇することにより、支持アーム10に支持された状態の基板3を持ち上げて支持するようになっている。
テーブル4に載置された基板3に対してノズルユニットが移動されることにより、ノズルユニットと基板3との相対的な移動が行われる。支持アーム10は、上下方向の軸を中心に、外部リフトピン14b及びリフトピン4bのいずれか一方に支持された基板3を支持可能な支持位置と、外部リフトピン14b及びリフトピン4bのいずれか一方に支持された基板3から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される。
本実施形態に係る塗布装置1は例えば、基台2上に設けられ、塗布液の塗布対象物としての板状をなす基板3が載置される平面視長方形状のテーブル4と、基台2上に設けられ、テーブル4の一対の平行な縁に沿って設けられた一対のレール5と、一対のレール5に沿って移動可能な移動体6と、移動体6に設けられ、基板3に塗布する塗布液を吐出可能なノズル7とを備える。基板3は、テーブル4より面積が小さな長方形状に形成され、テーブル4上に載置されたときには、基板3の全体がテーブル4上に配置される。
テーブル4は、基板3より広い面積を有し、上面は高精度の水平面に形成される。テーブル4には、互いに所定の間隔を隔てて、上下方向に貫通する貫通孔4aが複数設けられる。貫通孔4aにはそれぞれ、昇降可能なリフトピン4bが出没するように設けられる。リフトピン4bは、上端で基板3を支持する。このため、基板3は、リフトピン4bに支持されて、テーブル4の上方にて上下方向に移動可能であると共に、リフトピン4bの上端が、テーブル4の上面より下方へ没入することにより、テーブル4上に載置される。
一対のレール5は、基台2上に、テーブル4を挟んで平行に配設される。レール5は、長方形状のテーブル4の長辺より長く設けられる。
移動体6は、各レール5上を移動自在に設けられた2つの移動柱体8と、2つの移動柱体8に架け渡され、移動柱体8の上端部同士を連結する連結梁体9とから構成される。移動体の連結梁体9には、基板3を支持しつつ外部搬送装置14からテーブル4に移送し、あるいは、テーブル4から外部搬送装置14へ移送する支持アーム10を有する2つのアームユニット11が設けられる。
連結梁体9は、レール5に沿う方向(以下、相対移動方向という)と直交する方向(以下、幅方向という)に沿って、2つの移動柱体8に架け渡される。移動体6は、レール5に沿って移動すると、連結梁体9がテーブル4の上面から間隔を隔てて、テーブル4上方を移動する。
2つのアームユニット11は、連結梁体9に、テーブル4の幅方向における中央から幅方向に振り分けた各位置に1つずつ固定して設けられる。2つのアームユニット11の各支持アーム10は、基板3を幅方向両側から挟むように配置され、後述する突起10cが基板3の下に入り込んで基板3を支持する。このため、支持アーム10は、基板3を支持するときに、レール5の長さ方向と平行に、互いに向かい合うように配置される。また、向かい合ったときの2つの支持アーム10の間隔は、いずれの支持アーム10も突起10cで支持した基板3の幅方向外側に位置するように、基板3の幅とほぼ等しくなるように配置される。
2つのアームユニット11は各々、連結梁体9に固定されるベース12と、ベース12上に固定され、駆動軸13a(図6参照)がベース12を上下方向に貫通して設けられたモーター13と、モーター13の駆動軸に連結されてベース12の下側で水平方向に旋回自在に設けられ、基板3を支持する支持アーム10とを有している。
支持アーム10は、モーター13の駆動軸13aに連結された基端部10aと、基端部10aから所定方向に延びて基板3を保持するアーム本体10bとを有する。2つの支持アーム10は、基端部10aがモーター13により回転駆動されて、アーム本体10bが旋回し、基板3を支持可能な支持位置(図3(c)及び図3(e)参照)と、リフトピン4bまたは後述する外部リフトピン14bに支持された基板3から退避される退避位置(図3(a)、図3(b)及び図3(d)参照)との間で水平方向に旋回されるように構成される。図5に示すように、支持位置は、アーム本体10bがレール5に沿う方向に配置される位置であり、退避位置は、アーム本体10bが幅方向に沿って配置される位置である。
図2は、アーム本体10bの要部拡大斜視図である。アーム本体10bには、支持アーム10が支持位置に移動したときに、互いに対向する側に向かって突出する突起10cが、先端側と基端部10a側とに設けられる。突起10cは、アーム本体10bの厚み(上下方向の幅)より薄く形成されると共に、アーム本体10bの上面よりも低い高さ位置に設けられる。これにより、突起10cとアーム本体10bとの間に段差10dが形成される。
基板3は、支持位置に移動した2つの支持アーム10の突起10c上に載置され、基板3の縁が水平方向から段差10d及びアーム本体10bの側面に当接する状態で支持アーム10上に支持される。
2つの支持アーム10は、退避位置において、アーム本体10bが幅方向へ互いに反対方向に向かってテーブル4から突出される。2つの支持アーム10は、基板3を支持する際には、モーター13が右回り及び左回りに互いに反対方向に回転することにより、基板3に向かって近づくように旋回される。このため、2つの支持アーム10のアーム本体10bは、テーブル4を挟んで、対称な形状に形成される。
ノズル7は、連結梁体9の下に設けられる。ノズル7は、塗布液をテーブル4に載置された基板3に向けて吐出するようになっている。ノズル7は、テーブル4の幅方向全長にわたって、当該テーブル4と対向するように設けられる。移動体6がレール5に沿って移動しつつノズル7から塗布液が吐出されると、テーブル4のほぼ全面に載置された基板3に対し塗布液を塗布することができる。ノズル7を備えた移動体6がノズルユニットに相当する。そして、ノズルユニットがテーブル4に対して相対移動することにより、基板3に塗布液が塗布される。
上記構成の塗布装置1は、既に工場等の設備に設置されている既存の塗布装置を改良する場合に、当該既存の塗布装置の移動体6(ノズルユニットに相当)に、上述したような、基板3を支持しつつテーブル4に移送する支持アーム10を後付けする工程を含めた改良方法を適用することによっても、塗布装置1を新設する場合と同様に設備に組み込むことができる。
次に、本実施形態に係る塗布装置1の動作について、図3〜図5を用いて説明する。図3(a)〜(i)は、塗布装置1の第1動作から第9動作までを、正面側から見た模式図である。図4(j)〜(r)は、塗布装置1の第10動作から第18動作までを、正面側から見た模式図である。図5(a)〜(e)はそれぞれ、図3におけるA矢視、B矢視、C矢視、D矢視、並びにE矢視を示す図である。
図3(a)及び図5(a)に示すように、塗布装置1の移動体6の移動方向(レール5の長さ方向)に並べて設けられた外部搬送装置14により、基板3が塗布装置1側の所定位置に搬送される。このとき、支持アーム10は、退避位置に位置している。
外部搬送装置14は例えば、基板3を下から支持しつつ搬送することが可能な、細い複数本の搬送ベルト14aを、搬送ベルト14a同士の間に隙間を空けて、配設したものであり、上端で基板3を支持して昇降移動が可能な外部リフトピン14bは、搬送ベルト14a同士の隙間に配設される。基板3は、外部リフトピン14bに支持されて外部搬送装置14の上方で上下方向に移動可能とされる。外部リフトピン14bの上端が、外部搬送装置14の上面より下方に没入することにより、基板3は外部搬送装置14上に載置される。
基板3が、図3(b)及び図5(b)に示すように、外部リフトピン14bにより、支持アーム10よりも高い位置まで上昇されると、支持アーム10が退避位置のまま、移動体6はレール5に沿って基台2の外部搬送装置14側の端まで移動する。
次に、2つの支持アーム10は水平方向へ旋回して、図3(c)及び図5(c)に示すように、2つの支持アーム10同士がほぼ平行となる基板3の支持位置に移動する。これにより、突起10cが基板3の下方に入り込む。
次に、図3(d)に示すように、外部リフトピン14bが降下して、基板3が支持アーム10上に載置される。その後、図3(e)に示すように、支持アーム10が基板3を支持した状態で、移動体6がレール5に沿って基台2の外部搬送装置14側とは反対側の端まで移動する。
次に、図3(f)及び図5(d)に示すように、リフトピン4bが上昇し、その上端が支持アーム10よりも高い位置まで上昇することにより、基板3は、支持アーム2からリフトピン4bに受け渡されて支持される。
次に、図3(g)及び図5(e)に示すように、支持アーム10が退避位置に移動する。次いで、図3(h)に示すように、リフトピン4bが降下して、基板3はテーブル4上に載置される。
次に、図3(i)に示すように、移動体6が基台2上で外部搬送装置14の反対側から外部搬送装置14側に向かってレール5に沿って移動する(矢印f参照)。このとき、テーブル4に載置されている基板3に対し、ノズル7から塗布液を吐出して塗膜3aを形成する。その後、図4(j)に示すように、移動体6がレール5に沿って反対方向に移動して、元の位置に戻る(矢印g参照)。
移動体6が元の位置に戻った後、図4(k)に示すように、リフトピン4bが上昇し、基板3がリフトピン4bによって支持される。次いで、2つの支持アーム10が退避位置から支持位置へ向かって旋回する。図4(l)に示すように、2つのアーム本体10bがほぼ平行となる支持位置に移動すると、基板3の下方に突起10cが入り込む。その後、図4(m)に示すように、リフトピン4bが降下して、基板3は支持アーム10の突起10c上に載置され、アーム本体10bに保持される。
塗膜3aが形成された基板3が支持アーム10に支持された状態で、図4(n)に示すように、移動体6がレール5に沿って基台2の外部搬送装置14側の端まで移動する(矢印f参照)。これにより、基板3が外部搬送装置14の上方に位置される。
次に、図4(o)に示すように、外部リフトピン14bが支持アーム10よりも高い位置まで上昇して、基板3は支持アーム10から外部リフトピン14bに受け渡されて支持される。その後、図4(p)に示すように、支持アーム10が旋回して退避位置に移動する。次いで、図4(q)に示すように、外部リフトピン14bが降下して、基板3は外部搬送装置14上に載置される。
最後に、図4(r)に示すように、外部搬送装置14が稼働して、塗膜3aが形成された基板3が搬送されると共に、移動体6が元の位置に戻り(矢印g参照)、これにより一連の工程が終了する。
本実施形態に係る塗布装置1及びその改良方法にあっては、基板3を搬送する外部搬送装置14と塗布を行うテーブル4との間で基板3を移送する支持アーム10が、ノズル7を備える移動体6に設けられている。すなわち、塗布液を塗布する際の移動装置と、基板3を外部搬送装置14とテーブル4との間で受け渡す際の移動装置とを兼ねている。これに対し、背景技術で説明した特許文献1の「塗布装置および塗布方法、ならびにカラーフィルター製造装置および製造方法」(特開2002−102771号公報)では、テーブルと、テーブルへ基板を搬入し、テーブルから基板を搬出する、ハンドを備えたロボットとを別々に設置している。別々に設置する特許文献1では、テーブル及びロボットに対し、個々に設備スペースを確保する必要がある。また、テーブル及びロボットはそれぞれ、個別に装置として完成したものであるため、大型な装置になってしまうと同時に、コストアップになってしまう。これに対し、本実施形態に係る塗布装置1及びその改良方法では、上述したように、テーブル4に備えられる塗布用の移動体6に、搬送用の支持アーム10を組み込むようにしていて、テーブルとハンド付きロボットが別々の特許文献1とは異なり、塗布機能と搬送機能を一体化した構成としている。このため、特許文献1のように、各々別個の移動装置等を備える場合よりも、コストを低減できると共に、装置そのものを小さくできて、設置スペースも狭くすることができる。要するに、本実施形態に係る塗布装置1及びその改良方法では、外部搬送装置14とテーブル4との間での基板3の移送機能を備えて、設備を省スペース化することができると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを防止することができる。
そして、本実施形態に係る塗布装置1の改良方法によれば、既存の塗布装置の移動体6に、支持アーム10等を後付けする工程を含んで、既存の塗布装置を改良するようにしているので、これにより、既存の塗布装置自体、その場で改良できることはもちろんのこと、この既存の塗布装置を他所へ移設した際に、ロボット等の移載装置を別途設ける必要がなくなり、必要設置面積を小さく狭めることが可能となる。
また、本実施形態に係る塗布装置1及びその改良方法では、テーブル4が、基板3を支持して昇降可能なリフトピン4bを備え、支持アーム10は、その突起10cがリフトピン4bにより上昇された状態の基板3の下方に入り込み、リフトピン4bが降下されることにより基板3を支持し、リフトピン4bは、上昇することにより、支持アーム10に支持された状態の基板3を持ち上げて支持するようになっている。このため、支持アーム10により基板3を上下方向に移動させる必要がない。すなわち、支持アーム10は、基板3を水平方向に移送するだけで足り、複雑な動作を要求されることがない。支持アーム10は、ロボットのような複雑な運動機構が不要なので、コストダウンを図ることができる。
外部搬送装置14に対しても同様であって、基板3が外部リフトピン14bにより上昇された状態で、支持アーム10の突起10cが基板3の下に入り込み、外部リフトピン14bが降下することにより支持アーム10に基板3が支持され、また、支持アーム10に支持されている基板3は、外部リフトピン14bが上昇することにより、当該外部リフトピン14bに移し替えられて支持される。従って、支持アーム10は、複雑な運動機構が不要で、コストダウンを図ることができる。
また、支持アーム10は、上下方向の軸(駆動軸13a)を中心に、リフトピン4bに支持された基板3を支持可能な支持位置と、リフトピン4bに支持された基板3から退避される退避位置との間で水平方向に旋回されるので、簡単な機構で基板3を移送することができる。
上記実施形態おいては、固定して設置されたテーブル4に載置された基板3に対してノズル7を備えた移動体6(ノズルユニット)が移動することにより、ノズル7と基板3との相対移動が行われる例について説明したが、ノズル7が固定され、基板3が載置されるテーブル4が移動する構成であっても良い。
上記実施形態においては、移動体6に近接する位置に、支持アーム10を駆動するモーター13の駆動軸13aを設ける場合について説明したが、これに限るものではない。図6には、上記実施形態のアームユニット11の構成(図6(a)参照)と対比して、変形例に係るアームユニット11の構成(図6(b)参照)が示されている。
図6(b)に示すように、図1に示した幅方向に関し、駆動軸13aを移動体6の中央側に寄せると共に、当該駆動軸13aを、移動体6から支持アーム10が旋回する側へ突出させたベース12の先端側に設けることにより、移動体6から離隔して配置し、さらに、支持アーム10をL字状に形成することによって、支持アーム10の旋回範囲を狭めることができる。これにより、支持アーム10の退避位置における幅寸法W2を、図6(a)に示した上記実施形態の支持アーム10の退避位置における幅寸法W1よりも小さくすることができる。これにより、さらに省スペース化を達成することができる。
また、2つの支持アーム10は、必ずしも旋回運動させなくてもよい。図6(c)には、アームユニットの構成について、他の変形例が示されている。具体的には、2つの支持アーム10が基板3を支持することが可能な平行状態を保ったまま、図1に示した幅方向にスライド移動自在とされ、移動体6に沿ってスライド移動されて突起10cが基板3の下に入り込む支持位置と、突起10cが基板3の下から外れた退避位置との間で移動される構成としても良い。
基板3を塗布装置1外部からテーブル4近くまで搬送する外部搬送装置14は、上述した実施形態の例に限らず、基板3を塗布装置1に備えた支持アーム10に受け渡しできるものであれば、どのようなものであってもよく、搬送用のロボットで搬送して受け渡ししても、作業員が搬送して受け渡しを行ってもよい。
1 塗布装置
2 基台
3 基板
3a 塗膜
4 テーブル
4a 貫通孔
4b リフトピン
5 レール
6 移動体
7 ノズル
8 移動柱体
9 連結梁体
10 支持アーム
10a 基端部
10b アーム本体
10c 突起
10d 段差
11 アームユニット
12 ベース
13 モーター
13a 駆動軸
14 外部搬送装置
14a 搬送ベルト
14b 外部リフトピン
2 基台
3 基板
3a 塗膜
4 テーブル
4a 貫通孔
4b リフトピン
5 レール
6 移動体
7 ノズル
8 移動柱体
9 連結梁体
10 支持アーム
10a 基端部
10b アーム本体
10c 突起
10d 段差
11 アームユニット
12 ベース
13 モーター
13a 駆動軸
14 外部搬送装置
14a 搬送ベルト
14b 外部リフトピン
本発明にかかる塗布装置は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした塗布装置であって、前記テーブルは、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備え、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームが、上記ノズルユニットに設けられ、前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする。
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする。
他の本発明にかかる塗布装置は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした塗布装置であって、上記ノズルは、上記テーブルの幅方向にわたって、該テーブルと対向するように設けられ、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームが、上記ノズルユニットに設けられることを特徴とする。
本発明にかかる塗布装置の改良方法は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備えるテーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含み、前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持するようにして、該既存の塗布装置を改良するようにしたことを特徴とする。前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする。他の本発明にかかる塗布装置の改良方法は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットの該ノズルは、上記テーブルの幅方向にわたって、該テーブルと対向するように設けられ、当該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含んで、該既存の塗布装置を改良するようにしたことを特徴とする。
本発明にかかる塗布装置の改良方法は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備えるテーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含む塗布装置の改良方法であって、前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする。
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする。
Claims (4)
- 塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした塗布装置であって、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームが、上記ノズルユニットに設けられることを特徴とする塗布装置。
- 前記テーブルは、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備え、
前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、
上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回されることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。
- 塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含んで、該既存の塗布装置を改良するようにしたことを特徴とする塗布装置の改良方法。
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