JP2016006844A - 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】溝加工ヘッドの底面板33のツール32が突出する近傍に吸い込み口を有する集塵フード40を設ける。溝加工ヘッド30を用いて基板Wを溝加工する際に、集塵フード40の空気をダクト34を介してブロア35で吸引する。こうすれば溝加工によって生じる粉塵を基板Wに付着する前に集塵フード40の吸い込み口に吸い込むことができる。
【選択図】図9
Description
11 テーブル
12 カメラ
13 台座
14 支持台
15 ガイド
16 モニタ
17 ブリッジ
18a,18b 支柱
19 ガイドバー
20 ガイド
21 モータ
30 溝加工ヘッド
31 ツールホルダ
32 ツール
33 底面板
34 ダクト
35 集塵機
40,60 集塵フード
41,61 底面板
42〜45 壁面板
46 仕切り部
47〜50 仕切り板
41a,41b,47a,48a 端部
51,52 整流ブロック
Claims (5)
- 溝加工ヘッドと、
前記溝加工ヘッドの下部に設けられた集塵フードと、
前記集塵フードからダクトを介して空気を吸引する集塵機と、を具備する溝加工ヘッドの集塵機構であって、
前記溝加工ヘッドは、刃先を下方にしたツールを保持するツールホルダを有するものであり、
前記集塵フードは、上面が開放された筐体であり、前記溝加工ヘッドのツールを突出させる開口と、前記ツールホルダとの間に一定間隔隔てるように前記開口部から上方に向けて設けられた枠状の仕切り部とを有し、前記ツールの先端が前記開口から下方に突出するように取付けられたものである溝加工ヘッドの集塵機構。 - 前記集塵フードは、前記ヘッドに設けられる吸い込み口を中心とした底面をV字形とした請求項1記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
- 前記集塵フードの開口部及び仕切り部は、吸い込み口の端面の
先端が鋭く切り欠かれたものである請求項1又は2記載の溝加工ヘッドの集塵機構。 - 前記集塵フードは、筐体の内側の角に三角柱状の整流ブロックを更に有する請求項1又は2記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
- 基板が載置されるテーブルと、
溝加工のためのツールを有するツールホルダが装着される請求項1〜4のいずれか1項記載の溝加工ヘッドの集塵機構と、
前記テーブルと前記溝加工ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動手段と、を備え、前記溝加工ヘッドを基板の上面に平行に移動させ、基板上に溝を形成する溝加工装置。
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