JP2010142671A - 塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線114aがほぼ直線状に延びた直管部114を有し、直管部114の内部に気流を生じさせて負圧を発生させる。両端の開口部の間で直管部114の外部に開口する吸引開口部111から外側の周辺気体を塵埃とともに吸引する。吸引開口部111の下方に支持される基板Bの表面に対して、直管部114の軸線114aをほぼ平行に、しかも略一定の距離を維持しつつ相対移動させる。
【選択図】図1
Description
吸引開口部111から吸引された塵埃は、本体部11の内部を通過して吸引管12を介して吸引装置13(図1)へと吸引される。
11 本体部
13 吸引装置
111 吸引開口部
112 気体通過部
113 気体噴射部
114 直管部
117 整流部材
B 脆性基板(基板)
Claims (8)
- 両端に開口部を形成し、
一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸した直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、
両端の前記開口部の間で前記直管部の外部に開口する吸引開口部から外側の周辺気体を塵埃とともに吸引することを特徴とする塵埃吸引方法。 - 前記吸引開口部の下方に支持される基板の表面に対して、前記直管部の軸線をほぼ平行に、しかも略一定の距離を維持しつつ相対移動させることを特徴とする請求項1記載の塵埃吸引方法。
- 前記直管部の一端の開口部に向かって気体を噴射し、前記直管部の他端の開口部から気体を吸引することを特徴とする請求項1又は2記載の塵埃吸引方法。
- 前記直管部の内部における気流の方向に沿って、基板の表面に対して前記直管部を相対移動させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の塵埃吸引方法。
- 前記直管部の内部に層流状の気流を生じさせることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の塵埃吸引方法。
- 前記直管部の一端に管断面積が漸次減少する縮流管部を、他端に管断面積が漸次増加する拡流管部を、それぞれ接続することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の塵埃吸引方法。
- 前記縮流管部及び前記拡流管部は前記直管部と軸線を共有することを特徴とする請求項6に記載の塵埃吸引方法。
- 塵埃を吸引する塵埃吸引装置において、
両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸する直管部を有し、
該直管部は、両端の前記開口部の間に外部に開口する吸引開口部を備え、
前記直管部の一端の開口部は気体を噴射する気体噴射機構に接続されており、前記直管部の他端の開口部は気体を吸引する気体吸引機構に接続されており、
前記直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、前記吸引開口部の外側の周辺気体を塵埃とともに、前記直管部内部へ吸引するようにしてあることを特徴とする塵埃吸引装置。
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