JP2005305537A - レーザ加工副次物の集塵方法及びその装置、レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工台305近傍に開口する給気口309を有し、前記給気口と略閉鎖した室303の外部と連通し外気を導入できる第1給気手段307と、所定の隙間を介して前記第1給気手段と対向して配置され、前記第1給気手段の給気口309を介して外気を吸引し第1気流を加工空間領域302に供給するための吸引手段311,315と、前記第1給気手段の給気口の内部に配置され、前記ワークの加工面に所定の角度で衝突させるように前記第1気流より高圧の第2気流を高圧気流供給源326より供給する第2給気手段321,325と、を備え、前記第1気流は、前記ワークの加工空間領域302を覆い、前記第2気流の周囲を取り囲むような流れである。
【選択図】 図2
Description
109 セラミックグリーンシート
301 集塵装置
302 加工空間領域
303 加工室カバー
307 外気導入チューブ
311 吸引チューブ
313 吸引口
317 開閉バルブ
319 バルブ駆動手段
Claims (5)
- レーザ光源から放射されたレーザビームを集光するための集光レンズと、集光レンズにより集光されたレーザビームを用いて加工されるワークを載置するための加工台と、を略閉鎖した室内に有するレーザ加工機に使用され、前記ワークを加工する際に前記ワークから生じる副次物を捕集するための集塵装置であって、
加工台近傍に開口する給気口を有し、前記給気口と前記略閉鎖した室の外部と連通し外気を導入できる第1給気手段と、
所定の隙間を介して前記第1給気手段と対向して配置され、前記第1給気手段の給気口を介して外気を吸引し第1気流を加工空間領域に供給するための吸引手段と、
前記第1給気手段の給気口の内部に配置され、前記ワークの加工面に所定の角度で衝突させるように前記第1気流より高圧の第2気流を高圧気流供給源より供給する第2給気手段と、を備え、
前記第1気流は、前記ワークの加工空間領域を覆い、前記第2気流の周囲を取り囲むような流れであることを特徴とする集塵装置。 - 前記第1気流の流れを邪魔するための邪魔板を前記第1給気手段の給気口近傍に設け、第2給気手段が邪魔板を貫通して配置されるエアノズルであることを特徴とする請求項1に記載の集塵装置。
- 前記副次物若しくは前記ワークに生じた静電気を除去するための除電手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の集塵装置。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の集塵装置を備えるレーザ加工装置。
- レーザビームによりワークをレーザ加工する際に生じる副次物を集塵装置を用いて捕集する集塵方法であって、集塵装置は、前記ワークを載置するための加工台が配置された略閉鎖した室と、前記室の加工台近傍に開口する給気口を有し、前記給気口と前記略閉鎖した室の外部とを連通する第1給気手段と、所定の隙間を介して前記第1給気手段と対向して配置される吸引手段と、前記第1給気手段の給気口の内部に配置され、前記ワークの加工面に衝突し前記第1気流より高圧の第2気流を高圧気流供給源より供給する第2給気手段と、を備え、前記集塵方法は、
ワークの加工空間領域を覆うような第1給気口から吸引口への第1気流の流れを形成する工程と、
前記吸引工程を開始した後、前記ワークの加工表面に前記第1気流より圧力の高い第2気流を噴射し所定の角度で衝突させる工程と、を備え、
前記第2気流が衝突する前記ワークの加工表面では、前記第1気流が第2気流の周囲を囲み、前記副次物が前記第1気流若しくは第2気流に乗り捕集されることを特徴とする集塵方法。
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