JP2007283354A - レーザ用光学素子の汚れ防止装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子2表面の帯電極性や帯電量を検出する静電気極性判定センサ5、前記帯電極性や帯電量の検出値に基づいて逆性イオンを含むパージガス6を前記光学素子表面に吹きつけるイオン発生装置4、及び、前記光学素子2を挟んで前記イオン発生装置4に対向する、前記パージガス6によって吹き飛ばされた埃や塵を集めるための集塵ボックス8からなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施例で用いた、汚れ防止装置を組み込んだ、レーザビームの集光特性を測定するためのレーザ照射装置の例である。図5と同じく、レーザ装置1から出射されたレーザビーム9が集光レンズ2によって集光され、ビームプロファイラー7によって集光特性が測定される。
2 集光レンズまたは、fθレンズ
3 パージガス配管
4 イオン発生装置
5 静電気センサ
6 パージガス
7 ビームプロファイラー
8 集塵ボックス
9 レーザビーム
10 装置筐体
11 開口部
12 フィルター
13 ファン
Claims (2)
- レーザビームを被加工材に光学素子を用いて伝送し、集光・照射して加工するレーザ加工装置に用いる光学素子の汚れ防止装置であって、
前記光学素子表面の帯電極性や帯電量を検出する静電気極性判定センサ、
前記帯電極性や帯電量の検出値に基づいて、逆性イオンを含むパージガスを前記光学素子表面に吹きつけるイオン発生装置、及び、
前記光学素子を挟んで前記イオン発生装置に対向する、前記パージガスによって吹き飛ばされた埃や塵を集めるための集塵ボックス
からなることを特徴とするレーザ用光学素子の汚れ防止装置。 - レーザビームを被加工材に光学素子を用いて伝送し、集光・照射して加工するレーザ加工装置に用いる光学素子の汚れ防止方法であって、
静電気極性判定センサで前記光学素子表面の帯電極性や帯電量を検出し、
前記帯電極性や帯電量の検出値に基づいて、イオン発生装置を用いて逆性イオンを含むパージガスを前記光学素子表面に吹きつけ、
前記パージガスによって吹き飛ばされた埃や塵を、前記光学素子を挟んで前記イオン発生装置に対向する集塵ボックスに集める
ことを特徴とするレーザ用光学素子の汚れ防止方法。
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