JP2013035103A - 研磨パッド溝加工機及び研磨パッド溝加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨パッド1の表面に作用させて研磨パッド1の表面に多条の溝を切削形成するための切刃20が設けられた切削装置2と、切刃20の切削方向後方側に位置し、切刃20の方向に向けてエアーを吹き付ける後方側エアブロー装置3と、切刃20の切削方向前方側に位置し、切削により発生した切屑を吸引回収する塵導入部4と、を備えた研磨パッド溝加工機において、塵導入部4は、研磨パッド1の表面に対向する位置に設定可能な集塵口40aを有する集塵ボックス40と、集塵口に切屑を上方へ案内する整流板41と、を備えている。
【選択図】図1
Description
研磨パッドの表面に作用させて研磨パッドの表面に多条の溝を切削形成するための切刃が設けられた切削装置と、前記切刃の切削方向後方側に位置し、前記切刃の方向に向けてエアーを吹き付ける後方側エアブロー装置と、前記切刃の周囲近傍に位置し、切削により発生した切屑を吸引回収する塵導入部と、を備えた研磨パッド溝加工機において、
前記塵導入部は、
前記研磨パッドの表面に対向する位置に設定可能な集塵口を有する集塵筐体部と、
前記集塵口に位置する切屑を上方へ案内する整流手段と、を備えていることを特徴とするものである。
切刃を前記研磨パッドの表面に作用させて研磨パッドの表面に多条の溝を形成する工程と、前記切刃の切削方向前方側の位置において、前記切刃の方向に向けてエアーを吹き付ける工程と、前記切刃の周囲近傍の位置において、切削により発生した切屑を吸引回収する工程と、を有する研磨パッド溝加工方法であって、
前記吸引回収する工程は、
前記研磨パッドの表面に対向する位置に集塵筐体部の集塵口を近接させ、かつ、整流手段により前記集塵口から切屑を上方へ案内する工程を有することを特徴とするものである。
本発明に係る研磨パッド溝加工機の好適な実施形態を図面を用いて説明する。図1は、本発明に係る研磨パッド溝加工機の構成の一例を概略的に示す側面図である。図2は、その溝加工機が備える切削装置とエアブロー装置とを図1左方から見たときの正面図である。図3は、研磨パッドに溝加工を施す際の概略構成を示す平面図である。図4は、研磨パッド溝加工機を研磨パッドから離した状態を示す図である。
本発明では、溝加工の対象となる研磨パッド1として、CMPの技術分野における公知の研磨パッドを限定なく使用することができる。以下、研磨パッド1について簡単に説明する。
次に、上記の溝加工機を用いて研磨パッド1の表面に多条の溝を切削形成する方法について説明する。図3は、研磨パッドに溝加工を施す際の概略構成を示す平面図である。研磨パッド1は、駆動装置11によって回転駆動されるテーブル13に載置され、中心軸14回りのR方向に沿って回転する。上述した溝加工機は、その研磨パッド1の上方に配置されている。図1、4は、図3を左方向から見たときの側面図であり、テーブル13については図示を省略している。研磨パッド1の回転、つまり駆動装置11の作動は制御装置12によって制御される。
図8は、溝加工の手順を示すフローチャートである。まず、溝加工の対象となる研磨パッド1をテーブル17に載置するとともに、その上方にある溝加工機を所定の高さに配置する(S1)。この段階では、図4に示すように、切削装置2、エアブロー装置3、5及び塵導入部4が上昇していて、切刃20が非切削位置にある。以下、このような溝加工機の状態を待機状態と呼ぶ。多刃工具21の横方向位置(図2における左右方向位置)は、図3に示すような中心軸14の近傍となる。
実際に本発明の効果を確認するための実験を行った。実施例1では、集塵ボックス40の内部に前方側整流板41のみを配置した。実施例2では、実施例1に加えて前方側エアブロー装置5を追加した。図9にその実験結果を示す。評価項目として、切刃20への切屑の付着状態(評価1)と、切屑の飛散状態(評価2)を行った。比較例として、整流板および前方側エアブロー装置を設けないもので実験した。
図10は、別実施形態に係る研磨パッド溝加工機を示す図であり、特に、切削装置2の別実施形態を示す。切刃20はローラーカッターとして構成されている。図示のローラーカッターが紙面の垂直方向に複数並べられており、これにより、多条の溝を同時に加工することができる。その他の構成は図1に示す実施形態と同じであるので、同じ機能をする部材には同じ図番を付して、説明を省略する。
図11は、ローラーカッターを用いる場合のさらに別の実施形態である。この実施形態では、塵導入部4の集塵ボックス40が切刃20を囲むように配置される(切刃の周囲近傍に配置)。後方側エアブロー装置3も一部、集塵ボックス40内に入り込んでいる。集塵ボックス40の上方に前方側整流板41と後方側整流板42が配置されて管40cの方へ切屑を導く。前方側整流板41と後方側整流板42には、図5で例示したような溝を形成することが好ましい。かかる構成によっても、切屑を効率よく回収することができる。
本実施形態においては、切削装置2の前方側、すなわち、切削装置2と塵導入部4の間にもエアブロー装置を設けてもよい。これにより、切刃20に絡みついた切屑を更に効率よく分離させることができる。
2 切削装置
3 後方側エアブロー装置
4 塵導入部
5 前方側エアブロー装置
10 移動機構
11 駆動機構
12 制御装置
20 切刃
40 集塵ボックス
40a 集塵口
41 前方側整流板
42 後方側整流板
100 研磨パッド溝加工機
Claims (7)
- 研磨パッドの表面に作用させて研磨パッドの表面に多条の溝を切削形成するための切刃が設けられた切削装置と、
前記切刃の切削方向後方側に位置し、前記切刃の方向に向けてエアーを吹き付ける後方側エアブロー装置と、
前記切刃の周囲近傍に位置し、切削により発生した切屑を吸引回収する塵導入部と、を備えた研磨パッド溝加工機において、
前記塵導入部は、
前記研磨パッドの表面に対向する位置に設定可能な集塵口を有する集塵筐体部と、
前記集塵口に位置する切屑を上方へ案内する整流手段と、を備えていることを特徴とする研磨パッド溝加工機。 - 前記整流手段は、前記集塵口の切削方向前方側に配置され、かつ、上方に行くほど、前記切削方向前方側に傾斜している整流板として配置されることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド溝加工機。
- 前記集塵口の切削方向後方側に第2の整流手段が更に配置されることを特徴とする請求項2に記載の研磨パッド溝加工機。
- 前記整流手段は、前記集塵口の開口面積を小さくする機能を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の研磨パッド溝加工機。
- 前記集塵筐体部の前記切削方向前方側に、前記研磨パッドの表面に上方からエアーを吹き付ける前方側エアブロー装置を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨パッド溝加工機。
- 切刃を前記研磨パッドの表面に作用させて研磨パッドの表面に多条の溝を形成する工程と、
前記切刃の切削方向後方側の位置において、前記切刃の方向に向けてエアーを吹き付ける工程と、
前記切刃の周囲近傍の位置において、切削により発生した切屑を吸引回収する工程と、を有する研磨パッド溝加工方法であって、
前記吸引回収する工程は、
前記研磨パッドの表面に対向する位置に集塵筐体部の集塵口を近接させ、かつ、整流手段により前記集塵口から切屑を上方へ案内する工程を有することを特徴とする研磨パッド溝加工方法。 - 前記集塵筐体部の前記切削方向前方側において、前記研磨パッドの表面に上方からエアーを吹き付ける工程を有することを特徴とする請求項6に記載の研磨パッド溝加工方法。
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