JP2005223130A - 半導体ウエーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエーハを、切断面にチッピングを発生させることなく、また、接着フィルムの切断面に髭状のバリを発生させることなく切断することができる半導体ウエーハの分割方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハを、切削ブレードにより所定の分割予定ラインに沿って切断する半導体ウエーハの分割方法であって、半導体ウエーハをチャックテーブル上に表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、切削ブレードと半導体ウエーハが対向する位置において切削ブレードの回転方向と順方向にチャックテーブルを相対移動し、半導体ウエーハの分割予定ラインに沿って裏面に達しない深さの第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、切削ブレードの回転方向と逆方向にチャックテーブルを相対移動し、第1の切削工程において形成された切削溝に沿って接着フィルムの下面に達する第2の切削溝を形成する第2の切削工程とを含む。
【選択図】図6
【解決手段】半導体ウエーハを、切削ブレードにより所定の分割予定ラインに沿って切断する半導体ウエーハの分割方法であって、半導体ウエーハをチャックテーブル上に表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、切削ブレードと半導体ウエーハが対向する位置において切削ブレードの回転方向と順方向にチャックテーブルを相対移動し、半導体ウエーハの分割予定ラインに沿って裏面に達しない深さの第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、切削ブレードの回転方向と逆方向にチャックテーブルを相対移動し、第1の切削工程において形成された切削溝に沿って接着フィルムの下面に達する第2の切削溝を形成する第2の切削工程とを含む。
【選択図】図6
Description
本発明は、裏面にダイボンディング用の接着フィルムが貼着された半導体ウエーハを、回転する切削ブレードを備えた切削装置により分割予定ラインに沿って切断する半導体ウエーハの分割方法に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路を形成する。そして、半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断することにより回路が形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。半導体ウエーハの分割予定ラインに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードおよび回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を備えたスピンドルユニットを含んでいる。
また、個々に分割された半導体チップは、その裏面にアクリル系樹脂やポリイミド系樹脂等で形成された厚さ5〜40μmのダイアタッチフィルムと称するダイボンディング用の接着フィルムが装着され、この接着フィルムを介して半導体チップを支持するダイボンディングフレームに加熱接着することによりボンディングされる。半導体チップの裏面にダイボンディング用の接着フィルムを装着する方法としては、半導体ウエーハの裏面に接着フィルムを貼着し、この接着フィルムを介して半導体ウエーハをダイシングテープに貼着した後、半導体ウエーハの表面に形成されたストリートに沿って切削ブレードにより接着フィルムと共に切断することにより、裏面に接着フィルムが装着された半導体チップを形成している。(例えば、特許文献1参照。)
特開2000−182995号公報
上述した切削装置による切削には、切削ブレードとチャックテーブルに保持された被加工物が対向する位置において切削ブレードの回転方向と順方向にチャックテーブルを相対移動する所謂ダウンカット方式と、切削ブレードとチャックテーブルに保持された被加工物が対向する位置において切削ブレードの回転方向と逆方向にチャックテーブルを相対移動する所謂アップカット方式とがある。アップカット方式によって被加工物を切断すると切断部の上縁にチッピングが発生し易く、従って、半導体ウエーハの切断には一般にチッピングが発生しないダウンカット方式が採用されている。しかるに、ダウンカット方式によって裏面に接着フィルムが貼着された半導体ウエーハを切断すると、切削によって形成された直後の切削溝が接着フィルムの切削屑の逃げ場となって髭状のバリとなって生成される。このように接着フィルムの切断面に髭状のバリが発生すると、このバリが半導体チップの上に脱落して半導体チップの品質を低下させるとともに、ワイヤボンディングの際に断線の原因になるという問題がある。一方、アップカット方式よって裏面に接着フィルムが貼着された半導体ウエーハを切断すると、接着フィルムに髭状のバリが発生することを抑制することはできるが、半導体ウエーハの切断部の上縁にチッピングが発生という問題がある。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、裏面に接着フィルムが貼着された半導体ウエーハを、切断面にチッピングを発生させることなく、また、接着フィルムの切断面に髭状のバリを発生させることなく切断することができる半導体ウエーハの分割方法を提供することである。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、裏面にダイボンディング用の接着フィルムが貼着された半導体ウエーハを、回転する切削ブレードを備えた切削装置により所定の分割予定ラインに沿って切断する半導体ウエーハの分割方法であって、
該半導体ウエーハを該切削装置のチャックテーブル上に表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、
該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該半導体ウエーハが対向する位置において該切削ブレードの回転方向と順方向に該チャックテーブルを相対移動し、該半導体ウエーハの表面側から該分割予定ラインに沿って裏面に達しない深さの第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、
該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該半導体ウエーハが対向する位置において該切削ブレードの回転方向と逆方向に該チャックテーブルを相対移動し、該第1の切削工程において形成された該切削溝に沿って該接着フィルムの下面に達する第2の切削溝を形成する第2の切削工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
該半導体ウエーハを該切削装置のチャックテーブル上に表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、
該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該半導体ウエーハが対向する位置において該切削ブレードの回転方向と順方向に該チャックテーブルを相対移動し、該半導体ウエーハの表面側から該分割予定ラインに沿って裏面に達しない深さの第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、
該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該半導体ウエーハが対向する位置において該切削ブレードの回転方向と逆方向に該チャックテーブルを相対移動し、該第1の切削工程において形成された該切削溝に沿って該接着フィルムの下面に達する第2の切削溝を形成する第2の切削工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
上記第2の切削溝の幅は、上記第1の切削溝の幅より小さく形成される。また、上記半導体ウエーハは上記接着フィルム側を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着され、上記第2の切削工程における上記第2の切削溝はダイシングテープに達して形成される。
本発明における半導体ウエーハの分割方法によれば、第1の切削工程においては所謂ダウンカット方式によって切削されるので第1の切削ブレードによって半導体ウエーハに形成される第1の切削溝の上縁にチッピングが発生することはなく、また、第2の切削工程においては所謂アップカット方式によって切削されるので第2の切削ブレードによって切断される接着フィルムの切断面に髭状のバリが発生することがない。
以下、本発明による半導体ウエーハの分割方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1には、本発明に従って分割される半導体ウエーハの斜視図が示されている。図1に示す半導体ウエーハ2は、図示の実施形態においては厚さが70μmのシリコンウエーハからなっており、表面2aに複数の分割予定ライン21が格子状に形成されているとともに、該複数の分割予定ライン21によって区画された複数の領域に回路22が形成されている。
このように構成された半導体ウエーハ2の裏面2bには、図2に示すようにダイボンディング用の接着フィルム3が貼着される。図示の実施形態においては、厚さが20μmの接着フィルムが用いられている。なお、接着フィルム3としては、例えば日立化成工業(株)が製造販売しているアクリル系接着フィルム(FH−800)や、ポリイミド系接着フィルム(DF−400)等を用いることができる。
裏面に接着フィルム3が貼着された半導体ウエーハ2は、その接着フィルム3側を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するフレーム保持工程を実施する。フレーム保持工程は、図3に示すように環状のフレーム4に装着された伸長可能なダイシングテープ40の表面に半導体ウエーハ2の裏面2bに貼着された接着フィルム3側を貼着する。なお、上記ダイシングテープ40は、図示の実施形態においては厚さが100μmのポリ塩化ビニル(PVC)からなるシート基材の表面にアクリル樹脂系の糊が厚さが5μm程度塗布されている。
なお、フレーム保持工程において半導体ウエーハ2の裏面2bに接着フィルムを装着することができる。この場合ダイシングテープに接着フィルムが一体に形成された複合タイプのテープ、例えばリンテック(株)から製造販売されている複合テープ(LE−5000)を用いることができる。即ち、ダイシングテープの表面に形成された接着フィルム上に半導体ウエーハ2の裏面2bを貼着する。
上述したように裏面に接着フィルム3側を貼着した半導体ウエーハ2の接着フィルム3側を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着したならば、切削装置によって半導体ウエーハ2を分割予定ライン21に沿って切断し個々の半導体チップに分割する。ここで、切削装置の一実施形態について、図4を参照して説明する。図4に示す切削装置5は、吸引保持手段を備えたチャックテーブル51と、第1の切削ブレード521を備えた第1の切削手段52と、該第1の切削手段52と平行に配設され第2の切削ブレード531を備えた第2の切削手段53とを具備している。第1の切削手段52の第1の切削ブレード521と第2の切削手段53の第2の切削ブレード531は、回転軸に垂直な同一平面内に配設されている。なお、図示の実施形態においては、第1の切削ブレード521は厚さが40μmに形成されており、第2の切削ブレード531は厚さが20μmに形成されている。図示の実施形態においては、上記第1の切削手段52には、撮像手段54が配設されている。
上記切削装置5を用いて半導体ウエーハ2を分割予定ライン21に沿って切断するには、図4に示すようにチャックテーブル51上に半導体ウエーハ2のダイシングテープ40側を載置し(従って、半導体ウエーハ2は表面2aが上側となる)、図示しない吸引手段によってチャックテーブル51上に半導体ウエーハ2を吸着保持する(ウエーハ保持工程)。なお、図4においては、ダイシングテープ40が装着された環状のフレーム4を省いて示しているが、環状のフレーム4はチャックテーブル51に配設された適宜のクランプ機構に保持されている。このようにして半導体ウエーハ2を吸引保持したチャックテーブル51は、図示しない移動機構によって撮像手段54の直下に位置付けられる。
チャックテーブル51が撮像手段54の直下に位置付けられると、撮像手段54および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ2の切削すべき領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段54および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ2の所定方向に形成されている分割予定ライン21と、該分割予定ライン21に沿って切削する第1の切削ブレード521および第2の切削ブレード531との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、切削領域のアライメントを遂行する。また、半導体ウエーハ2に形成されている上記所定方向に対して直角に延びる分割予定ライン21に対しても、同様に切削領域のアライメントが遂行される。
以上のようにしてチャックテーブル51上に保持されている半導体ウエーハ2に形成されている分割予定ライン21を検出し、切削領域のアライメントが行われたならば、半導体ウエーハ2を保持したチャックテーブル51を図5に示す切削開始位置に移動する。次に、第1の切削ブレード521および第2の切削ブレード531を図5において2点鎖線で示す待機位置から下方にそれぞれ切り込み送りし、図5において実線で示すように所定の切り込み送り位置に位置付ける。この切り込み送り位置は、図5のに示すように第1の切削ブレード521の切り込み深さH1が半導体ウエーハ2の裏面2bに達しない位置、例えば半導体ウエーハ2の厚さが70μmである場合は表面2aから40μmの位置(半導体ウエーハ2の裏面2bから30μm上方位置)に設定されている。また、第2の切削ブレード531の切り込み送り深さH2は、例えば接着フィルム3の厚さが20μmである場合図5に示すようにダイシングテープ40に達し半導体ウエーハ2の表面2aから例えば110μmの位置に設定されている。従って、第2の切削ブレード531は、ダイシングテープ30を20μm切り込むことになる。
次に、第1の切削ブレード521を図5において矢印A1で示す方向に例えば40000rpmで回転駆動するとともに、第2の切削ブレード531を図5において矢印A2で示す方向(第1の切削ブレード531の回転方向と反対の方向)に例えば20000rpmで回転駆動する。そして、チャックテーブル51即ち半導体ウエーハ2を図5において矢印X1で示す方向に例えば30mm/秒の切削送り速度で移動せしめる。従って、第1の切削ブレード521は、チャックテーブル51に保持された半導体ウエーハ2と対向する位置において回転方向と順方向に半導体ウエーハ2と相対移動する所謂ダウンカット方式によって切削することになる。一方、第2の切削ブレード531は、第1の切削ブレード521の回転方向と反対の方向に回転するので、チャックテーブル51に保持された半導体ウエーハ2と対向する位置において回転方向と逆方向に半導体ウエーハ2と相対移動するする所謂アップカット方式によって切削することになる。
この結果、半導体ウエーハ2は、図6に示すように第1の切削ブレード521により所定の分割予定ライン21に沿って第1の切削溝211が形成され(第1の切削工程)、第2の切削ブレード531により第1の切削溝211に沿って第2の切削溝212が形成される(第2の切削工程)。第1の切削ブレード521によって形成される第1の切削溝211は、図7に示すように幅(B1)が例えば40μmで半導体ウエーハ2の表面2aから深さ(H1)が例えば40μmであり、半導体ウエーハ2の裏面2bに達していない。また、第2の切削ブレード531によって形成される第2の切削溝212は、図8に示すように幅(B2)が例えば20μmで第1の切削溝211の底面から深さ(H3)が例えば70μmであり、接着フィルム3の厚さが20μmなのでダイシングテープ30に達しダイシングテープ30を深さ約20μm切削することになる。従って、半導体ウエーハ2および接着フィルム3は、所定の分割予定ライン21に沿って切断されることになる。
上記第1の切削工程においては、上述したようにダウンカット方式によって切削されるので、第1の切削ブレード521によって切削される第1の切削溝211の上縁にチッピングが発生することはない。また、上記第2の切削工程においては、上述したようにアップカット方式によって切削されるので、接着フィルム3の切断面に髭状のバリが発生することがない。即ち、アップカット方式によって接着フィルム3を切削すると、第2の切削ブレード531によって接着フィルム3を切断する際にまだ完全に切断されていない半導体ウエーハ2の方向にかき上げるように切削が遂行されるため、接着フィルムの切削屑は切削方向に存在する半導体ウエーハによって遮断されて逃げ場を失い髭状の切削屑が微粒子状に破砕されると考えられる。
上述したように半導体ウエーハ2に形成された所定の分割予定ライン21に沿って第1の切削工程および第2の切削工程を実施したならば、第1の切削ブレード521および第2の切削ブレード531を図5において2点鎖線で示す待機位置に位置付け、チャックテーブル51即ち半導体ウエーハ2を矢印X1と反対方向に移動して、図5に示す位置に戻す。そして、チャックテーブル51即ち半導体ウエーハ2を紙面に垂直な方向(割り出し送り方向)に分割予定ライン21の間隔に相当する量だけ割り出し送りし、次に切削すべき分割予定ライン21を第1の切削ブレード521および第2の切削ブレード531と対応する位置に位置付ける。このようにして、次に切削すべき分割予定ライン21を第1の切削ブレード521および第2の切削ブレード531と対応する位置に位置付けたならば、上述した第1の切削工程および第2の切削工程を実施する。
上述した第1の切削工程および第2の切削工程を半導体ウエーハ2の所定方向に形成された全ての分割予定ライン21に実施する。そして、半導体ウエーハ2の所定方向に形成された全ての分割予定ライン21に上述した第1の切削工程および第2の切削工程を実施したならば、半導体ウエーハ2を吸引保持した吸着チャック51を90度回転させて、半導体ウエーハ2に所定方向と直交する方向に形成された全ての分割予定ライン21に対して上述した第1の切削工程および第2の切削工程を実行する。この結果、半導体ウエーハ2は、裏面に接着フィルム3が貼着された半導体チップに分割される。
以上、図4に示す切削装置5、即ち互いに平行に配設された第1の切削手段52および第2の切削手段53を備えた切削装置を用いて、半導体ウエーハに形成された分割予定ライン毎に第1の切削工程と第2の切削工程を実施する例を示したが、半導体ウエーハに形成された分割予定ラインに対して第1の切削工程を完了した後に、即ち第1の切削工程が実施され第1の切削溝が形成された分割予定ラインに対して第2の切削工程を実施してもよい。図9には、第1の切削工程を数本の分割予定ラインに対して実施した後に、第2の切削工程を実施することができる切削装置6が示されている。図9に示す切削装置6は、吸引保持手段を備えたチャックテーブル61と、第1の切削ブレード621を備えた第1の切削手段62と、該第1の切削手段62と同一軸線上に配設され第2の切削ブレード631を備えた第2の切削手段63とを具備している。なお、図示の実施形態においては、第1の切削ブレード621は厚さが40μmに形成されており、第2の切削ブレード631は厚さが20μmに形成されている。そして、図示の実施形態においては第1の切削ブレード621と第2の切削ブレード631との間隔は、半導体ウエーハに形成された分割予定ライン21の4本分に設定されている。
図9に示す切削装置6を用いて本発明を実施するには、チャックテーブル61上に半導体ウエーハ2のダイシングテープ40側を載置し(従って、半導体ウエーハ2は表面2aが上側となる)、図示しない吸引手段によってチャックテーブル61上に半導体ウエーハ2を吸着保持する(ウエーハ保持工程)。そして、上述したアライメントを実施した後、図10に示すように第1の切削手段62の第1の切削ブレード621によって半導体ウエーハに形成された図において左から1番目、2番目、3番目の分割予定ライン21に対して順次第1の切削工程を完了してそれぞれ第1の切削溝211を形成する。次に、第1の切削手段62の第1の切削ブレード621によって図において左から4番目の分割予定ライン21に対して第1の切削工程を実施するとともに、図において左から1番目の分割予定ライン21に沿って形成された第1の切削溝211に沿って第2の切削手段63の第2の切削ブレード631により第2の切削工程を実施する。この結果、第1の切削溝211に沿って第2の切削溝212が形成され、半導体ウエーハ2および接着フィルム3は、分割予定ライン21に沿って切断される。このように第1の切削手段62の第1の切削ブレード621および第2の切削手段63の第2の切削ブレード631によって第1の切削工程および第2の切削工程を半導体ウエーハに形成された全ての分割予定ライン21に沿って実施する。なお、第1の切削手段62の第1の切削ブレード621による第1の切削工程は、上述したダウンカット方式となるように第1の切削ブレード621の回転方向およびチャックテーブル61の移動方向が設定される。また、第2の切削手段63の第2の切削ブレード631による第2の切削工程は、上述したアップカット方式となるように第2の切削ブレード631の回転方向およびチャックテーブル61の移動方向が設定される。即ち、図9に示すようにチャックテーブル61を矢印X2で示す方向に移動して切削する場合には、第1の切削ブレード621は矢印A3で示す方向に回転し、第2の切削ブレード631は矢印A4で示す方向に回転する。
以上、第1の切削手段と第2の切削手段を備えた切削装置を用いて本発明を実施する例について説明したが、上述した第1の切削工程と第2の切削工程をそれぞれ独立した2台の切削装置を用いて実施してもよい。
また、上述した第2の切削工程を実施する切削手段のみを用いて、上記第1の切削工程と第2の切削工程を実施してもよい。
また、上述した第2の切削工程を実施する切削手段のみを用いて、上記第1の切削工程と第2の切削工程を実施してもよい。
2:半導体ウエーハ
21:分割予定ライン
22:回路
211:第1の切削溝
212:第2の切削溝
3:ダイボンディング用の接着フィルム
4:環状のフレーム
40:ダイシングテープ
5:切削装置
51:切削装置のチャックテーブル
52:第1の切削手段
521:第1の切削ブレード
53:第2の切削手段
531:第2の切削ブレード
6:切削装置
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211:第1の切削溝
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3:ダイボンディング用の接着フィルム
4:環状のフレーム
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51:切削装置のチャックテーブル
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621:第1の切削ブレード
63:第2の切削手段
631:第2の切削ブレード
Claims (3)
- 裏面にダイボンディング用の接着フィルムが貼着された半導体ウエーハを、回転する切削ブレードを備えた切削装置により所定の分割予定ラインに沿って切断する半導体ウエーハの分割方法であって、
該半導体ウエーハを該切削装置のチャックテーブル上に表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、
該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該半導体ウエーハが対向する位置において該切削ブレードの回転方向と順方向に該チャックテーブルを相対移動し、該半導体ウエーハの表面側から該分割予定ラインに沿って裏面に達しない深さの第1の切削溝を形成する第1の切削工程と、
該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該半導体ウエーハが対向する位置において該切削ブレードの回転方向と逆方向に該チャックテーブルを相対移動し、該第1の切削工程において形成された該切削溝に沿って該接着フィルムの下面に達する第2の切削溝を形成する第2の切削工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法。 - 該第2の切削溝の幅は、該第1の切削溝の幅より小さく形成される、請求項1記載の半導体ウエーハの分割方法。
- 該半導体ウエーハは該接着フィルム側を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着され、該第2の切削工程における該第2の切削溝は該ダイシングテープに達して形成される、請求項1又は2記載の半導体ウエーハの分割方法。
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