JP2005086160A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面に格子状に形成された分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域に光デバイスが形成されたウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、ウエーハの裏面側から分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して裏面に所定深さのレーザー加工溝を形成するレーザー光線照射行程と、表面に保護シートが貼着されたウエーハをレーザー加工溝に沿って分割する分割行程と、レーザー加工溝に沿って分割されたウエーハの裏面を保護シートが貼着された状態で研削しレーザー加工溝を除去する研削行程とを含む。
【選択図】 図5
Description
該ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して裏面に所定深さのレーザー加工溝を形成するレーザー光線照射行程と、
裏面に該レーザー加工溝が形成された該ウエーハの表面に保護シートを貼着する保護シート貼着行程と、
表面に該保護シートが貼着された該ウエーハをレーザー加工溝に沿って分割する分割行程と、
該レーザー加工溝に沿って分割された該ウエーハの裏面を該保護シートが貼着された状態で研削し該レーザー加工溝を除去する研削行程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
該ウエーハの表面に保護シートを貼着する保護シート貼着行程と、
表面に該保護シートが貼着された該ウエーハの裏面側から分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して裏面に所定深さのレーザー加工溝を形成するレーザー光線照射行程と、
表面に該保護シートが貼着された該ウエーハを該レーザー加工溝に沿って分割する分割行程と、
該レーザー加工溝に沿って分割された該ウエーハの裏面を該保護シートが貼着された状態で研削し該レーザー加工溝を除去する研削行程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
レーザー ;YVO4パルスレーザー
波長 ;355nm
パルスエネルギー;10μJ
集光スポット径 ;φ0.5μm
パルス幅 ;12ns
繰り返し周波数 :50kHz
第2の実施形態は、上記第1の実施形態における上記レーザー光線照射行程と保護シート貼着行程の順序を逆にしたものである。即ち第2の実施形態は、先ず上記光デバイスウエーハ2の表面2aに保護シート4を貼着する保護シート貼着行程を実施する、そして、表面2aに保護シート4が貼着された光デバイスウエーハ2を上記図2の(a)に示すようにレーザー加工装置3のチャックテーブル31上に裏面2bを上にして保持し、上述したレーザー光線照射行程を実施する。なお、保護シート貼着行程およびレーザー光線照射行程を実施した後は、第2の実施形態も上記第1の実施形態における分割行程および研削行程を同様に実行する。
21:分割予定ライン
22:光デバイス
23:レーザー加工溝
24:クラック
3:レーザー加工装置
31:レーザー加工装置のチャックテーブル
32:撮像手段
33:レーザー光線照射手段
4:保護シート
5:支持部材
6:押圧部材
7:研削手段
71:研削手段のチャックテーブル
72:研削手段
721:研削砥石
Claims (2)
- 表面に格子状に形成された分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域に光デバイスが形成されたウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
該ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して裏面に所定深さのレーザー加工溝を形成するレーザー光線照射行程と、
裏面に該レーザー加工溝が形成された該ウエーハの表面に保護シートを貼着する保護シート貼着行程と、
表面に該保護シートが貼着された該ウエーハを該レーザー加工溝に沿って分割する分割行程と、
該レーザー加工溝に沿って分割された該ウエーハの裏面を該保護シートが貼着された状態で研削し該レーザー加工溝を除去する研削行程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 表面に格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域に光デバイスが形成されたウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
該ウエーハの表面に保護シートを貼着する保護シート貼着行程と、
表面に該保護シートが貼着された該ウエーハの裏面側から分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して裏面に所定深さのレーザー加工溝を形成するレーザー光線照射行程と、
表面に該保護シートが貼着された該ウエーハを該レーザー加工溝に沿って分割する分割行程と、
該レーザー加工溝に沿って分割された該ウエーハの裏面を該保護シートが貼着された状態で研削し該レーザー加工溝を除去する研削行程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。
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