JP2015220437A - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents
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Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。なお、本明細書において「電気的に接続」とは、2つの要素の直接の接続によって、それら2つの要素の間の電気的伝導が生じる場合に限定されず、2つの要素の間の電気的伝導が、それら2つの要素の間に配置される別の要素を介在して生じる場合を含む。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。また、本明細書中の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示している。また、負の指数については、結晶学上、”−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、本明細書中では、数字の前に負の符号を付けている。また角度の記載には、全方位角を360度とする系を用いている。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る炭化珪素半導体装置の構造を概略的に示す断面模式図である。図2は、本発明の一実施の形態に係る炭化珪素半導体装置のJTE(Junction Termination Extension)領域およびガードリング領域の構造を概略的に示す平面模式図である。
図6は、本発明の第2の実施の形態に係る炭化珪素半導体装置を概略的に示す断面模式図である。図6を参照して、延在部65aは、絶縁膜70および絶縁膜15bを介在して、JTE領域2と、ガードリング領域3の少なくとも一部とに被さるように、JTE領域2の端部(境界5)から延在する。
図7は、本発明の第3の実施の形態に係る炭化珪素半導体装置を概略的に示す断面模式図である。図7を参照して、JTE領域2は、3つの領域2a,2b,2cを有する。
本発明の第4の実施の形態に係る炭化珪素半導体装置の断面は、たとえば図1に示した断面模式図と同様である。したがって、図1を参照しつつ第4の実施の形態に係る炭化珪素半導体装置を説明する。
第1から第4の実施の形態によれば、半導体素子部7は、縦型MOSFETを含む。しかしながら、半導体素子部7は、ダイオードを含んでいてもよい。
図9は、本発明の第6の実施の形態に係る炭化珪素半導体装置を概略的に示す断面模式図である。図9を参照して、半導体素子部7は、PN接合ダイオードを含む。具体的には、半導体素子部7は、コンタクト電極67およびp型領域19を備える。
2 JTE領域
2a,2b,2c 領域(JTE領域)
3 ガードリング領域
3a,3b,3i ガードリング部
4 フィールドストップ領域
5 境界
7 半導体素子部
10 炭化珪素層
10a 第1の主面
10b 第2の主面
10c 端部(炭化珪素層)
11 n+基板
12 ドリフト層
13 ボディ領域
14 ソース領域
15,15b,70 絶縁膜
15a ゲート絶縁膜
16 ソース電極
18 p+領域
19 p型領域
20 ドレイン電極
21 オーミック電極
27 ゲート電極
50 裏面保護電極
65 パッド電極
65a 延在部(パッド電極)
66 ショットキー電極
67 コンタクト電極
71 層間絶縁膜
CH チャネル領域
E9,EA,EB 電界
IR 素子領域
OR 終端領域
X 方向
Claims (12)
- 第1の主面と、前記第1の主面の反対側に位置する第2の主面とを有し、かつ、第1の導電型を有する炭化珪素層と、
前記炭化珪素層に形成された半導体素子部を含む素子領域と、
前記第1の導電型と異なる第2の導電型を有し、前記炭化珪素層の前記第1の主面に接し、かつ、平面視において前記素子領域を囲むように、前記炭化珪素層の内部に配置された第1の電界緩和領域と、
前記第1の主面上に配置され、かつ前記第1の電界緩和領域を覆う絶縁膜と、
前記第1の電界緩和領域に電気的に接続された電極とを備え、
前記電極は、
前記素子領域から前記第1の電界緩和領域へと向かう周縁方向に、前記素子領域側の前記第1の電界緩和領域の端部から延在する延在部を含み、
前記延在部は、前記絶縁膜を介在して、少なくとも前記第1の電界緩和領域の一部に被さる、炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素半導体装置は、
前記平面視において前記第1の電界緩和領域を囲むように、前記炭化珪素層の内部に配置され、かつ前記第2の導電型を有する第2の電界緩和領域をさらに備える、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記絶縁膜は、前記第1の電界緩和領域および前記第2の電界緩和領域を覆うように前記炭化珪素層の前記第1の主面に配置され、
前記電極の前記延在部は、前記絶縁膜を介在して、前記第1の電界緩和領域と、前記第2の電界緩和領域の少なくとも一部とに被さるように、前記第1の電界緩和領域の前記端部から延在する、請求項2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記周縁方向に沿った、前記第1の電界緩和領域の前記端部からの前記延在部の幅は、5μm以上である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記周縁方向に沿った、前記第1の電界緩和領域の幅は、15μm以上かつ50μm以下である、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第1の電界緩和領域に含まれる不純物のドーズ量は、1×1013cm-2以上かつ2×1013cm-2以下の範囲内にある、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第1の電界緩和領域の不純物濃度は、前記周縁方向に沿って段階的に変化する、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2の電界緩和領域は、互いに離れて配置された複数の領域を含み、
前記複数の領域のうち、前記第1の電界緩和領域に最も近い第1の領域の少なくとも一部に、前記絶縁膜を介して前記延在部が被せられる、請求項2〜請求項7のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記周縁方向に沿った前記複数の領域の各々の幅、および前記複数の領域の各々の不純物濃度のうちの少なくとも一方が、前記複数の領域の間で段階的に変化する、請求項8に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記半導体素子部は、トランジスタ素子を含み、
前記トランジスタ素子は、
前記第2の導電型を有し、前記炭化珪素層の内部に配置され、前記第1の電界緩和領域に電気的に接続されたボディ領域を含み、
前記第1の電界緩和領域の不純物濃度は、前記ボディ領域の不純物濃度よりも低い、請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記電極は、
前記炭化珪素層とショットキー接合されるショットキー電極を含む、請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記半導体素子部は、
前記炭化珪素層の内部に配置されて、前記第2の導電型を有し、前記炭化珪素層とともにダイオードを構成する第2導電型不純物領域を含み、
前記電極は、
前記第2導電型不純物領域に電気的に接続されたダイオード電極を含み、
前記第1の電界緩和領域の不純物濃度は、前記第2導電型不純物領域の不純物濃度よりも低い、請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
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