JP2016009712A - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。また、本明細書中の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示している。また結晶学上の指数が負であることは、通常、“−”(バー)を数字の上に付すことによって表現されるが、本明細書中では数字の前に符号を付している。また角度の記載には、全方位角を360度とする系を用いている。
まず、本発明の実施の形態1に係る炭化珪素半導体装置の構成について説明する。
図7は、MOSFETのドレイン電極20と表面保護電極19との間に逆バイアス電圧が印加されたときのMOSFETの状態を模式的に示した断面図である。図7を参照して、MOSFETがオフの状態において、ドレイン電極20(SBDのカソード電極)の電位が表面保護電極19(SBDのアノード電極)の電位よりも高くなるように、ドレイン電極20および表面保護電極19の間に電圧が印加される。このような状態は、図6に示すインバータ回路101の動作中において発生し得る。この場合、ボディ領域13およびコンタクト領域18(図4)とn型領域22との接合面、およびp型埋込領域30とドリフト領域12との接合面から空乏層が広がる。n型領域22の不純物濃度およびドリフト領域12の不純物濃度が、ボディ領域13、コンタクト領域18の不純物濃度およびp型埋込領域30の不純物濃度よりも低い。このため、空乏層は、より大きくn型領域22およびドリフト領域12側に広がる。
図11は、本発明の実施の形態2に係る炭化珪素半導体装置1Aの構成を示す概略平面図である。図12は、図11のXII−XIIに沿った炭化珪素半導体装置1Aの断面を示した断面図である。なお、図11では、炭化珪素層10の第1の主面10a上に形成されるゲート絶縁膜15、ゲート電極27、ソース電極16、層間絶縁膜21および表面保護電極19は記載されていない。
図13は、本発明の実施の形態3に係る炭化珪素半導体装置1Bの構成を示す断面図である。図13は、図1のIII−IIIに沿った炭化珪素半導体装置1の断面を示している。図13を参照して、実施の形態3に係る炭化珪素半導体装置1Bの構成は、基本的には、実施の形態1に係る炭化珪素半導体装置1と同様である。ショットキー電極17に代えてオーミック電極25を備える点において、実施の形態1に係る炭化珪素半導体装置1と相違する。以下、この点について詳細に説明する。
3 正極端子
4 負極端子
8 直流電源
9A 単相負荷
10 炭化珪素層
11 炭化珪素単結晶基板
12 ドリフト領域
13 ボディ領域
14 ソース領域
15 ゲート絶縁膜
16 ソース電極
17 ショットキー電極
18 コンタクト領域
19 表面保護電極
20 ドレイン電極
22 n型領域
23 裏面保護電極
24 高濃度領域
25 オーミック電極
27 ゲート電極
30 p型埋込領域
101 インバータ回路
OP 開口部
TR トレンチ
SW 側壁面
BT 底部
Claims (14)
- 炭化珪素半導体装置であって、
第1の主面と、前記第1の主面と反対側の第2の主面とを有する炭化珪素層を備え、
前記炭化珪素層は、
第1導電型を有する第1不純物領域と、
前記第1不純物領域と接し、かつ前記第1導電型とは異なる第2導電型を有する第2不純物領域と、
前記第1導電型を有し、前記第2不純物領域によって前記第1不純物領域から隔てられた第3不純物領域と、
前記第2導電型を有し、前記第1の主面と前記第2不純物領域とを繋ぐ第4不純物領域とを含み、
前記第2不純物領域および前記第4不純物領域には、前記第1の主面から前記第1不純物領域にまで到達する開口部が設けられ、前記炭化珪素層はさらに、
前記開口部中に位置し、前記第1導電型を有する第5不純物領域と、
前記第1の主面の平面視において少なくとも一部分が前記第5不純物領域に重なるように、前記第1不純物領域中に埋め込まれ、かつ前記第2導電型を有する第6不純物領域とを含み、
前記炭化珪素半導体装置は、
前記第1不純物領域、前記第2不純物領域および前記第3不純物領域に接して形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、
前記炭化珪素層の前記第1の主面において、前記第3不純物領域および前記第4不純物領域の双方に接する第1の電極と、
前記炭化珪素層の前記第2の主面に接して設けられる第2の電極と、
前記炭化珪素層の前記第1の主面において、前記第5不純物領域に接し、かつ前記第1の電極と電気的に接続される第3の電極とをさらに備える、炭化珪素半導体装置。 - 前記第3の電極は、前記第5不純物領域にショットキー接合されたショットキー電極である、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3の電極は、Ti,Ni,Pt,AuおよびWiの少なくともいずれかを含む、請求項2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3の電極は、前記第5不純物領域にオーミック接合されたオーミック電極である、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3の電極は、Ti,Al,Niの少なくともいずれかを含む、請求項4に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3の電極は、TiAlSi,NiSiおよびNiAlのいずれかを含む、請求項5に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3の電極は、前記第1の電極の一部を構成する、請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第5不純物領域は、前記第1不純物領域の不純物濃度と等しい不純物濃度を有する、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第5不純物領域は、前記第3の電極に接し、かつ前記第1不純物領域の不純物濃度よりも高い不純物濃度を有する高濃度領域を含む、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 平面視において、前記第2不純物領域、前記第3不純物領域および前記第4不純物領域の各々はストライプ形状を有し、
前記第5不純物領域は、前記ストライプ形状の長軸方向において、前記第4不純物領域に隣接する、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 平面視において、前記炭化珪素層には、外周形状が多角形状である複数のセルが互いに隣接して形成され、
各前記複数のセルは、外周形状が多角形状である前記第3不純物領域に取り囲まれるように前記第4不純物領域が形成され、かつ前記第4不純物領域に取り囲まれるように前記第5不純物領域が形成される、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素層の前記第1の主面は、珪素面または珪素面から8°以下オフした面であり、
前記ゲート絶縁膜は、前記炭化珪素層の前記第1の主面において、前記第1不純物領域、前記第2不純物領域および前記第3不純物領域に接して形成され、
前記ゲート電極は、前記第1不純物領域、前記第2不純物領域および前記第3不純物領域の上方に前記ゲート絶縁膜を介して形成される、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素層の前記第1の主面は、炭素面または炭素面から8°以下オフした面であり、かつ前記第1の主面にはトレンチが設けられ、
前記トレンチは、前記第3不純物領域および前記第2不純物領域を貫通して前記第1不純物領域に至る側壁面と、前記側壁面に連接し、かつ前記第1不純物領域に位置する底部とを有し、
前記ゲート絶縁膜は、前記トレンチの前記側壁面および前記底部と前記炭化珪素層の前記第1の主面とに接するように設けられ、
前記ゲート電極は、前記トレンチの内部において前記ゲート絶縁膜に接する、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第1導電型はn型であり、かつ前記第2導電型はp型である、請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
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