JP2015209529A - 熱伝導性ポリマー組成物及び熱伝導性成形体 - Google Patents
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Abstract
Description
また、制御機構の局所化や、クラウドの活用が進み、電子機器の小型化や高性能化の要求が高まりつつある。
それに伴い、デバイスからの発熱量が大きくなってきており、優れた放熱性が求められる機会が増大している。
例えば、高輝度LED、パソコン、自動車のモータ制御機構、電力を変換・制御するパワーエレクトロニクス技術を利用したデバイス等に用いられる半導体装置の技術分野等では、優れた放熱性を発揮させることが強く要望されている。
このような熱伝導性ポリマー組成物(以下、単に「ポリマー組成物」ともいう)のなかでもベースポリマーにエポキシ樹脂を採用したエポキシ樹脂組成物は、熱伝導性のみならず接着性、電気絶縁性、強度などにおいて優れていることから広く用いられている。
具体的には、このようなエポキシ樹脂組成物は、半導体装置の封止材や半導体装置と放熱器とを接着させるためのプリプレグシートなどに広く用いられている。
このようなことを背景として、無機物粒子の中でも特に高い熱伝導性を示す窒化ホウ素粒子や窒化アルミニウム粒子を熱伝導性ポリマー組成物に高い割合で含有させることが試みられている。
例えば、下記特許文献1においては、無機物粒子のなかでも特に高い熱伝導性を示す窒化ホウ素粒子などを最密充填させてエポキシ樹脂成形体の熱伝導性を従来以上のものにすることが試みられている。
その一方で、ポリマー組成物に無機物粒子を高充填させると、例えば、加熱溶融状態にして成形体を作製するような場合において、当該ポリマー組成物に十分な流動性が発揮されずに成形体内に気泡が残存し易く内部に空隙が形成され易い。
また、有機溶剤によってポリマー組成物をワニス化させたような場合であっても、無機物粒子が高充填されていると前記有機溶剤を除去した後に内部に気泡を形成させ易い。
従って、いずれのような場合においても熱伝導性成形体中に気泡を混在させ易くなる。
該気泡の存在は、熱伝導性を低下させる原因になるとともに熱伝導性成形体の強度や電気絶縁性に問題を生じさせるおそれを有する。
(1)10μm以上400μm以下の粒径を有する粒子を80体積%以上含有する。
(2)20μm以上400μm以下の粒径を有する粒子を60体積%以上含有する。
(3)30μm以上400μm以下の粒径を有する粒子を40体積%以上含有する。
従って、例えば、熱伝導性成形体の形成に際して熱伝導性ポリマー組成物を加熱溶融状態にさせたりした場合に当該ポリマー組成物に優れた流動性を発揮させることができる。
即ち、本発明によれば、熱伝導性成形体に空隙を形成させるおそれの低いポリマー組成物が提供され得る。
本実施形態の熱伝導性ポリマー組成物は、電気絶縁性を有するベースポリマーと熱伝導性の無機物粒子とを含有している。
また、本実施形態の熱伝導性ポリマー組成物は、前記無機物粒子が、凝集状態の窒化ホウ素粒子からなる第1成分、及び、該第1成分以外の第2成分を含んでいる。
そして、本実施形態の熱伝導性ポリマー組成物は、熱伝導性無機物粒子中の第2成分の含有割合が5体積%以上55体積%以下であるとともに第1成分及び第2成分を含む熱伝導性無機物粒子が特定の粒度分布がとなるように含有されている。
この1次粒子の形状は、特に限定されるものではなく、バルク状、針状、板状であってもよい。
該板状の1次粒子は、厚み方向から見た形状が、円形や六角形であってもよい。
また、板状の1次粒子は、大きさの異なる薄板を積層したような形状を有し、階段状、或いは、劈開状の部分構造を外周縁において備えていてもよい。
さらに、板状の1次粒子は、板の厚み方向とは直交する面方向から見た形状が一直線形状である必要はなく、直線を屈曲させた形状、又は、曲線状などであってもよい。
なお、本実施形態に係る前記2次粒子としては、ホウ素及び窒素以外に前記1次粒子に通常含有されている酸素や水素などの不純物に加え、前記1次粒子どうしを結合させるための成分を不純物として含有するものを採用することができる。
なお、該第1成分は、前記第2成分とともに熱伝導性ポリマー組成物に高充填した際に当該熱伝導性ポリマー組成物に良好な流動性を付与する上において、比表面積が5m2/g以下のものを用いることが好ましい。
そして、熱伝導性ポリマー組成物に良好な流動性をより確実に付与する上において、前記第1成分は、前記比表面積が4m2/g以下であることが好ましく、3.5m2/g以下であることがより好ましい。
なお、前記第1成分の比表面積の下限値は、0.5m2/gとされる。
該第1成分のかさ密度は、0.15g/cm3以上であることが好ましく、0.2g/cm3以上であることがより好ましい。
さらに、前記第1成分は、かさ密度(JIS K5101−12−1の「見掛け密度」)が、例えば、2.3g/cm3以下のものを採用することができる。
該第1成分のかさ密度は、2.0g/cm3以下であることが好ましく、1.8g/cm3以下であることがより好ましく、1.5g/cm3以下であることがさらに好ましい。
また、本実施形態においては、例えば、非凝集状態の窒化ホウ素粒子を前記第2成分として熱伝導性ポリマー組成物に含有させることができる。
また、前記酸化物としては、例えば、金属イオンがドーピングされている酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズ等が挙げられる。
なかでも前記第2成分を構成する熱伝導性無機物粒子としては、2W/mK以上、特に20W/mK以上の熱伝導性無機物粒子を用いることが好ましく、材質面からは窒化物、酸化物、炭素系物質の内の何れかの粒子であることが好ましく、窒化アルミニウム粒子、酸化アルミニウム粒子、及び、ダイヤモンド粒子の内の何れかであることがさらに好ましい。
なお、熱伝導性無機物粒子中に2W/mK未満の熱伝導性無機物粒子を含有させてもよいが、その場合、2W/mK未満の熱伝導性無機物粒子は、全ての熱伝導性無機物粒子に占める割合が5体積%未満となるように含有させることが好ましい。
そして、熱伝導性ポリマー組成物に良好な流動性をより確実に付与する上において、前記第2成分は、前記比表面積が0.3m2/g以下であることが好ましく、0.2m2/g以下であることがより好ましい。
なお、前記第2成分の比表面積の下限値については、通常、0.01m2/gである。
特に第2成分として窒化アルミニウム粒子を採用する場合には、当該窒化アルミニウム粒子の加水分解を防止するための表面処理を施すことが好ましい。
なお、前記第1成分や前記第2成分に予め表面処理が施された無機物粒子を採用する場合、前記の「比表面積」とは表面処理前の無機物粒子について求められるものではなく、この表面処理後の無機物粒子について求められるものである。
なお、この体積平均粒子径については、レーザー回折・散乱法によって測定することができ、例えば、レーザー回折式・粒度分布測定装置(SALD−2100、SHIMADZU)を用いて測定することができる。
また、第2成分の体積平均粒子径は、前記のような熱伝導性の観点から25μm以上であることが特に好ましく、30μm以上であることがとりわけ好ましい。
なお、前記第2成分は、通常、レーザー回折・散乱法によって求められる体積平均粒子径が500μm以下とされる。
また、第2成分の画像解析手法によって求められる体積平均粒子径は、25μm以上であることが特に好ましく、30μm以上であることがとりわけ好ましく、40μm以上であることが最も好ましい。
なお、前記第2成分は、通常、画像解析手法によって求められる体積平均粒子径が500μm以下とされ、前記体積平均粒子径が200μm以下であることが好ましく、100μm以下であることが特に好ましい。
なお、前記面積円形度(HS)の上限値は、通常、1.0である。
具体的には、前記粒度分布は、10〜400μmの粒径を有する粒子が80体積%以上となっていることが重要であり、前記粒子が82体積%以上となっていることが好ましい。
また、前記粒度分布は、20〜400μmの粒径を有する粒子が60体積%以上となっていることが重要であり、前記粒子が61体積%以上となっていることが好ましい。
さらに、前記粒度分布は、30〜400μmの粒径を有する粒子の含有量が40体積%以上となっていることが重要であり、前記粒子の含有量が45体積%以上となっていることが好ましい。
なお、前記粒度分布は、40μm以上の粒径を有する粒子の含有量が30体積%以上となっていることが好ましい。
また、前記粒度分布は、50μm以上の粒径を有する粒子の含有量が20体積%以上となっていることが好ましい。
そして、前記粒度分布は、300μmを超える大きさの粒子を実質的に含有していない状態となっていることが好ましく、200μmを超える大きさの粒子を実質的に含有していない状態となっていることが特に好ましい。
ポリマー組成物にこのような微細な粒子を含有させる場合、前記熱伝導性無機物粒子全体に占める粒径30μm未満の粒子の割合は、25体積%以上52体積%以下であることが好ましく、27体積%以上45体積%以下であることがより好ましい。
また、前記熱伝導性無機物粒子全体に占める粒径10μm未満の粒子の割合は、7体積%以上16体積%以下であることが好ましく、9体積%以上15体積%以下であることがより好ましい。
前記熱伝導性無機物粒子全体に占める粒径10μm以上20μm未満の粒子の割合は、10体積%以上22体積%以下であることが好ましく、11体積%以上20体積%以下であることがより好ましい。
そして、粒径10μm未満の粒子(A)に対する粒径10μm以上20μm未満の粒子(B)の割合(B/A)は、1.2〜1.3であることが好ましい。
さらに、前記熱伝導性無機物粒子全体に占める粒径20μm以上30μm未満の粒子の割合は、7体積%以上16体積%以下であることが好ましく、7体積%以上14体積%以下であることがより好ましい。
該電気絶縁性ポリマーとしては、JIS C2139:2008によって求められる体積抵抗率が1×1011Ω・cm以上のものが好ましく、本実施形態における電気絶縁性ポリマーの体積抵抗率は、1×1012Ω・cm以上であることが好ましく、1×1013Ω・cm以上であることが特に好ましい。
前記熱硬化性樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば、エポキシ樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、熱硬化性ウレタン樹脂などが挙げられる。
前記ゴムとしては、天然ゴム、スチレン・ブタジエンゴム、エチレン・α−オレフィンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどが挙げられる。
なお、上記のような樹脂やゴムは、本実施形態のポリマー組成物において単独使用または2種類以上併用することができる。
また、接着性、耐熱性、電気絶縁性などにおいて優れた特性をポリマー組成物に発揮させる上において、前記のような電気絶縁性ポリマーの中でも、エポキシ樹脂やフェノール樹脂を採用することが好ましい。
具体的には、前記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂(例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、水素添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ダイマー酸変性ビスフェノール型エポキシ樹脂など)、ノボラック型エポキシ樹脂(例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂など)、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂(例えば、ビスアリールフルオレン型エポキシ樹脂など)、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂(例えば、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂など)などの芳香族系エポキシ樹脂、例えば、トリエポキシプロピルイソシアヌレート(トリグリシジルイソシアヌレート)、ヒダントインエポキシ樹脂などの含窒素環エポキシ樹脂、例えば、脂肪族系エポキシ樹脂、例えば、脂環式エポキシ樹脂(例えば、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂などのジシクロ環型エポキシ樹脂など)、例えば、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、例えば、グリシジルアミン型エポキシ樹脂などが挙げられる。
また、エポキシ樹脂のエポキシ当量は、例えば、10000g/eq以下であることが好ましく、9000g/eq以下であることがさらに好ましく、8000g/eq以下であることが特に好ましい。
なかでも、エポキシ樹脂は、前記エポキシ当量が、5000g/eq以下であることが好ましく、1000g/eq以下であることが特に好ましい。
また、前記エポキシ樹脂の軟化点は、例えば、130℃以下であることが好ましく、90℃以下であることがより好ましい。
なお、上記のようなエポキシ樹脂の中でも、本実施形態のポリマー組成物に含有させるエポキシ樹脂としては、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、または、下記一般式(1)で表される骨格を備えたエポキシ樹脂が好ましい。
また、本実施形態のポリマー組成物における前記エポキシ樹脂の配合割合は、熱伝導性無機物粒子100質量部に対して、例えば、100質量部以下であることが好ましく、50質量部以下であることがより好ましく、20質量部以下であることがさらに好ましく、10質量部以下であることが特に好ましい。
該硬化剤としては、例えば、加熱によりエポキシ樹脂を硬化させることができる潜在性硬化剤などが挙げられ、フェノール系硬化剤、アミン化合物系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミド化合物系硬化剤、ヒドラジド化合物系硬化剤などが挙げられる。
該フェノール系硬化剤としては、例えば、フェノール、クレゾール、レゾルシン、カテコール、ビスフェノールA、ビスフェノールF、フェニルフェノール、アミノフェノールなどのフェノール化合物および/またはα−ナフトール、β−ナフトール、ジヒドロキシナフタレンなどのナフトール化合物と、ホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、サリチルアルデヒドなどのアルデヒド基を有する化合物とを酸性触媒下で縮合または共縮合させて得られるノボラック型フェノール樹脂、例えば、フェノール化合物および/またはナフトール化合物とジメトキシパラキシレンまたはビス(メトキシメチル)ビフェニルから合成されるフェノール・アラルキル樹脂、例えば、ビフェニレン型フェノール・アラルキル樹脂、ナフトール・アラルキル樹脂などのアラルキル型フェノール樹脂、例えば、フェノール化合物および/またはナフトール化合物とジシクロペンタジエンから共重合により合成されるジシクロペンタジエン型フェノールノボラック樹脂、例えば、ジシクロペンタジエン型ナフトールノボラック樹脂などのジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、例えば、トリフェニルメタン型フェノール樹脂、例えば、テルペン変性フェノール樹脂、例えば、パラキシリレンおよび/またはメタキシリレン変性フェノール樹脂、例えば、メラミン変性フェノール樹脂などが挙げられる。
また、フェノール系硬化剤の水酸基当量は、例えば、2000g/eq以下であることが好ましく、1000g/eq以下であることがさらに好ましく、500g/eq以下であることが特に好ましい。
また、前記フェノール系硬化剤としては、各フェニルに水酸基以外の置換基を有していないことが好ましい(水酸基以外が水素原子であることが好ましい)。
即ち、本実施形態における前記フェノール系硬化剤は、例えば、下記一般式(4)に示す4,4’,4”−メチリジントリスフェノールなどであることが好ましい。
また、前記硬化剤は、エポキシ樹脂100質量部に対し、例えば、500質量部以下、好ましくは300質量部以下、さらに好ましくは200質量部以下となるようにポリマー組成物に含有させることが望ましい。
また、本実施形態のポリマー組成物は、要すれば、フェノール系硬化剤とフェノール系硬化剤以外の硬化剤(例えば、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、ポリメルカプタン系硬化剤、ポリアミノアミド系硬化剤、イソシアネート系硬化剤、ブロックイソシアネート系硬化剤等)を併用するようにしてもよい。
具体的には、例えば、イミダゾール化合物、イミダゾリン化含物、有機ホスフィン化合物、酸無水物化合物、アミド化合物、ヒドラジド化合物、ユリア化合物などの硬化促進剤を本実施形態のポリマー組成物に含有させうる。
該硬化促進剤は、エポキシ樹脂100質量部に対し、例えば、0.1質量部以上含有させることが好ましく、0.5質量部以上含有させることがより好ましく、1質量部以上含有させることがさらに好ましい。
また、前記硬化促進剤は、エポキシ樹脂100質量部に対し、20質量部以下となるようにポリマー組成物に含有させることが好ましく、10質量部以下となるようにポリマー組成物に含有させることがより好ましく、5質量部以下となるようにポリマー組成物に含有させることが特に好ましい。
前記に示したフェノール系硬化剤は、軟化温度が200℃を超えるものが多いため、ポリマー組成物に含有させる硬化促進剤としては200℃以下の温度において触媒活性が過度に発揮されないものが好ましい。
そのようなことから本実施形態のポリマー組成物は、前記オニウム塩系硬化促進剤としてテトラフェニルホスホニウム塩系硬化促進剤やトリフェニルホスホニウム塩系硬化促進剤といったホスホニウム塩系硬化促進剤を含有させることが特に好ましく、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレートを含有させることが最も好ましい。
前記分散剤をポリマー組成物に含有させる場合には、当該分散剤は、1種単独であっても、2種以上の併用であってもよい。
また、ポリマー組成物における分散剤の配合量は、前記無機物粒子100質量部に対し、0.01質量部以上含有させることが好ましく、0.1質量部以上含有させることがより好ましい。
また、前記分散剤の配合量は、前記熱伝導性無機物粒子100質量部に対し、10質量部以下とすることが好ましく、5質量部以下することがより好ましい。
前記混合は、例えば、前記熱伝導性無機物粒子と、前記エポキシ樹脂とを撹拌し、又は、振とうすることで行うことができる。
前記撹拌は、熱伝導性無機物粒子及びエポキシ樹脂に剪断力を与える公知の方法で行うことができ、ミル(ボールミル、ロールミル等)、混練機(ニーダー、ロール等)、乳鉢、遊星式攪拌機等を用いて行うことができる。
また、本実施形態においては、前記熱伝導性無機物粒子と、前記エポキシ樹脂とを撹拌すると共に、得られるポリマー組成物から気泡を除去すべく、撹拌脱泡機(ハイブリッドミキサー等)を用いて前記撹拌を行ってもよい。
換言すれば、熱伝導性成形体における本実施形態の無機物粒子の濃度が、例えば9〜98質量%、好ましくは50〜96質量%、さらに好ましくは75〜94質量%、特に好ましくは80〜91質量%となるように、前記熱伝導性無機物粒子と前記電気絶縁性ポリマーとを混合して、本実施形態に係るポリマー組成物を作製することが望ましい。
また、前記熱伝導性無機物粒子に占める前記第1成分の割合は、50体積%以上であることが好ましく、60体積%以上であることがより好ましく、70体積%以上であることがさらに好ましく、80体積%以上であることがとりわけ好ましい。
さらに、ポリマー組成物に良好な流動性を発揮させる上において前記熱伝導性無機物粒子全体に占める前記第1成分の割合は、95体積%以下であることが重要である。
そして、前記熱伝導性無機物粒子に占める前記第1成分の割合は、90体積%以下であることが好ましい。
また、前記第1成分と前記第2成分との合計に占める前記第2成分の割合は、上記効果をより確実に発揮させる上において、10体積%以上であることが好ましい。
さらに、前記第1成分と前記第2成分との合計に占める前記第2成分の割合は、50体積%以下であることが好ましく、40体積%以下であることがより好ましく、30体積%以上であることがさらに好ましく、20体積%以下であることがとりわけ好ましい。
前記溶媒としては、例えば、アルコール等のヒドロキシル基含有脂肪属炭化水素(例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール等)、ケトンなどのカルボニル基含有脂肪属炭化水素(例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン等)、脂肪族炭化水素(例えば、ペンタン、ヘキサン等)、ハロゲン化脂肪族炭化水素(例えば、ジクロロメタン、クロロホルム、トリクロロエタン等)、ハロゲン化芳香族炭化水素(例えば、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン(具体的には、オルトジクロロベンゼン)等)、エーテル(例えば、テトラヒドロフラン等)、芳香族炭化水素(例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン等)、含窒素化合物(例えば、N−メチルピロリドン(NMP)、ピリジン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド(DMF)等)、非プロトン性溶媒(例えば、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジメチルホルムアミド等)等が挙げられる。
これらの溶媒は、単独使用又は2種以上併用することができる。
前記溶媒としては、メチルエチルケトン、トルエン、シクロペンタノン、酢酸エチルの何れか、又は、これらを2種類以上混合した混合溶媒が好ましい。
なお、本実施形態のポリマー組成物は、電気絶縁性ポリマーが常温常圧(20℃、1気圧)下で液状である場合や、電気絶縁性ポリマーが加熱によって溶融する場合には、前記溶媒を含有しなくてもよい。
なお、ポリマーシートとしては、前記ポリマー組成物のみからなるものの他に、基材シートの片面、又は、両面に前記ポリマー組成物からなるポリマー層を形成させたものや、繊維質の基材シートに前記ポリマー組成物を含浸担持させたものなどが挙げられるが、以下においては、主としてポリマー組成物のみからなるポリマーシートについて説明する。
(1a)ポリマー組成物が易変形性を示す軟化状態となるように、ポリマー組成物を、例えば、100〜350℃に加熱する加熱工程。
(1b)上記加熱工程において軟化状態にさせたポリマー組成物を適宜な支持板上に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成工程。
(1c)上記塗膜形成工程で作製した塗膜を冷却して硬化させることによって、熱伝導性シートを得るシート形成工程。
(2a)熱硬化性樹脂の硬化反応が過度に進行しない程度の温度且つポリマー組成物が易変形性を示す温度(例えば、60〜150℃に)に加熱して当該ポリマー組成物を軟化状態にさせる加熱工程。
(2b)上記加熱工程において軟化状態にさせたポリマー組成物を適宜な支持板上に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成工程。
(2c)上記塗膜形成工程で作製した塗膜を冷却して硬化させることによって、前記熱硬化性樹脂が半硬化状態(Bステージ状態)となっている熱伝導性シートを得るシート形成工程。
(3a)ポリマー組成物を適宜な支持板上に塗布することにより、ウェット状態の塗膜を形成する塗膜形成工程。
(3b)前記塗膜形成工程で得た塗膜から溶媒を揮発除去させることにより、熱伝導性シートとなる乾燥塗膜を得るシート形成工程。
また、前記塗膜形成工程に際しては、前記ポリマー組成物の粘度をエバポレーターなどを用いて適宜調整することができる。
特に、熱プレス機などによって乾燥塗膜を厚み方向に加圧しつつ加熱することは、熱伝導性シート内に気泡などが存在することを防止する上において有利となる。
なお、このような利点については、熱伝導性シートを構成しているポリマーが熱可塑性樹脂である場合も同じである。
このように熱プレス工程を実施することで、熱伝導性シートとして高熱伝導率化されたものを得ることができ、含有されるポリマーが熱硬化性樹脂の場合、所望の硬化状態となったBステージシートやCステージシートを得ることができる。
該加熱温度は80℃以上250℃以下であることが好ましく、90℃以上220℃以下であることがより好ましく、100℃以上200℃以下であることがさらに好ましい。
前記Bステージシートを得る場合は、加熱をし過ぎない方が好ましいことから、前記熱プレス工程における加熱温度は、60℃以上の温度範囲の内、例えば、70℃以上160℃以下とすることが好ましく、80℃以上150℃以下とすることがより好ましい。
また、前記Cステージシートを得る場合は、硬化を十分に進行させる上において、前記加熱温度は、120℃以上とすることが好ましく、130℃以上250℃以下とすることがより好ましく、150℃以上220℃以下とすることが特に好ましい。
なお、前記Cステージシートを得る場合の前記加熱時間は、10分以上であることが好ましく、30分以上であることがより好ましく、1時間以上であることが特に好ましい。
また、上記のような方法に代えて、フラットダイ(T−ダイ)などを装着した押出成形機を用いて熱伝導性シートを形成させることも可能である。
従って、前記塗膜形成工程などにおいて優れた流動性がポリマー組成物に発揮され、且つ、熱プレス工程などにおいて高い圧力を加えなくても内部に空隙が形成され難いことから熱伝導性に優れるとともに部分放電開始電圧が高く、機械的強度に優れたものとなり得る。
例えば、本実施形態の熱伝導性成形体は、ポリマー組成物を金型に入れ、熱プレスなどの熱成形によって、熱伝導性ブロックとして成形することもできる。
さらには、本実施形態に係る熱伝導性成形体は、トランスファーモールドやインジェクションモールドなどのインモールド成形によって3次元構造を有するものとすることができる。
このようなインモールド成形においては、例えば、熱伝導性成形体の一部のみを本実施形態のポリマー組成物によって形成させ、残部を前記ポリマー組成物以外の素材によって形成させる場合、この残部を予め他の素材で形成させておき、この他の素材で形成させた部材をモールド用金型内に配置した後で、当該金型内に前記ポリマー組成物を充填する方法を採用することも可能である。
当該部位の空隙率は、2.5%以下であることがより好ましく、2.0%以下であることがさらに好ましく、1.5%以下であることが特に好ましく、1.0%以下であることがとりわけ好ましい。
なお、前記部位の空隙率の下限値は、通常、0%である。
評価用のエポキシ組成物を調整すべく以下の材料を用意した。
日本化薬社製の下記一般式(5)で表される物質で、エポキシ当量が169g/eqのエポキシ樹脂(商品名「EPPN−501HY」)。
三菱化学社製の下記一般式(6)で表される物質で、エポキシ当量が192g/eqのエポキシ樹脂(商品名「YX4000HK」)。
前記一般式(6)および下記一般式(7)で表される物質の混合物で、エポキシ当量が175g/eqの三菱化学社製のエポキシ樹脂(商品名「YL6121H」)。
群栄化学工業社製、水酸基当量 105g/eqの下記一般式(8)で表される物質(商品名「GS−200」)。
和光純薬社製、水酸基当量 97g/eqの下記一般式(4)で表される4,4’,4”−メチリジントリスフェノール。
本州化学工業社製、水酸基当量 138g/eqの下記一般式(9)で表される物質(商品名「DHTP−M」)。
テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート(TPPK)。
ビックケミー・ジャパン社製、分散剤、商品名「DISPER BYK−111」
信越化学社製、フェニルトリメトキシシラン、商品名「KBM−103」
トーヨーカラー社製、顔料、商品名「TY90230GREY」
水島合金鉄社製、窒化ホウ素凝集粒子、商品名「HP−40」(比表面積3m2/g)
F2:古河電子社製、窒化アルミニウム凝集粒子、商品名「FAN−f80」(比表面積0.1〜0.15m2/g)
F3:古河電子社製、窒化アルミニウム凝集粒子、商品名「FAN−f50」(比表面積0.15m2/g)
F4:古河電子社製、窒化アルミニウム凝集粒子、商品名「FAN−f30」(比表面積0.2m2/g)
F5:Globaltop Materals社製、窒化アルミニウム凝集粒子、商品名「AlN200AF」(比表面積0.12m2/g)
F6:古河電子社製、窒化アルミニウム凝集粒子、商品名「FAN−f05」(比表面積1m2/g)
F7:昭和電工社製、球状酸化アルミニウム粒子、商品名「CB−A40」(比表面積0.2m2/g)
F8:昭和電工社製、球状酸化アルミニウム粒子、商品名「CB−P10」(比表面積0.6m2/g)
F9:昭和電工社製、球状酸化アルミニウム粒子、商品名「CB−P02」(比表面積1.1m2/g)
F10:三井化学社製、非凝集状の窒化ホウ素粒子(1次粒子)、商品名「MBN−010T」(比表面積13m2/g)
F11:ダイヤモンド粒子
F12:日本アエロジル社製、超微粒子高熱法シリカ粒子、商品名「アエロジル」
F13:アドマテックス社製、ナノシリカ粒子、商品名「アドマナノ YA010C−SV1」
熱伝導性シートを作製するためのエポキシ樹脂組成物の配合を後段の表2〜4に示す。
この表2〜4に示した配合量でワニス状のエポキシ樹脂組成物を作製した。
まず、初めにエポキシ樹指(Ep1〜Ep3)とフェノール系硬化剤(C1〜C3)とをハイブリッドミキサー専用の容器に仕込んだ。
次いで表に記載の溶媒としてのメチルエチルケトンを前記の容器に仕込んだ。
なお、「アドマナノ YA010C−SV1」(F13)を用いる場合は、溶媒としてのメチルエチルケトンに代えて、シクロペンタノン中に3質量%濃度で分散させた分散液として前記の容器に仕込んだ。
このとき、エポキシ樹脂及び溶媒を仕込んだ容器に対して、必要に応じて、70℃の熱水による湯せんを行った。
この時の攪拌時間は、基本的には10分間とし、樹脂の溶け具合に応じて適宜延長し樹脂溶液を作製した。
次いで、この樹脂溶液に所定量の添加剤を添加しハイブリッドミキサーで3分間攪拌した。
さらに、所定量のTPPK(CA)を樹脂溶液に添加しハイブリッドミキサーで3分間攪拌した。
この凝集状態の窒化ホウ素粒子を加えた後の攪拌が終了した時点で、容器内の混和物の粘度を確認し、必要に応じて溶媒を追加するとともに追加攪拌(1分間)を実施した。
これらの工程によってワニス状のエポキシ樹脂組成物を得、これを3分間真空脱泡処理し、熱伝導性シートを作製するための塗工液とした。
なお、実施例13〜16においては当該脱泡工程を省略した。
初めに、塗工台(ガラス板)の表面から埃を除去し、該塗工台に、粗化処理面を上にしてマットペット(PET)を配置し、固定した。
次に、前記塗工液を厚み300μm〜400μmのアプリケータを用いて手塗により塗工し、前記マットペット上にウェット塗膜を形成させた。
このウェット塗膜の形成されたマットペットをSUS製の板上に乗せて110℃の乾燥機中で10分間乾燥した。
なお、溶剤にシクロぺンタノンを使用した場合は、上記条件に代えて130℃×10分の乾燥を行った。
前記乾燥によって乾燥塗膜の形成されたマットペットを所定の大きさ、(例えば、50mm×50mm)に切り出して熱プレス用のシートサンプルとし、該シートサンプルを必要枚数作製した。
次いで、図3に示すように、このシートサンプル(SP)を2枚重ね合わせ、且つ、乾燥塗膜(S1)が内側となるように重ね合わせて積層体(マットペット(S2)/乾燥塗膜(S1)/乾燥塗膜(S1)/マットペット(S2))を作製した。
そして、この積層体に対して熱プレス工程を実施するためのプレスセットを形成させた。
このプレスセットの形成に際しては、下から順に、マットペット(MP)/積層体/マットペット(MP)の順に積層してまずは一次セット(L1)を形成させた。
そして、この1次セット(L1)を両側からアルミ板(AP)で挟み込んだものを用意し、これを15枚のクッション紙からなる緩衝性シート(CS)及び1枚のマットペット(MP)を介して熱プレス用の天板(EP)の間に挟み込みプレスセットを形成させた。
該プレスセットの積層構造は、1次セット(L1)が1段の場合、下から順に、天板(アルミ板)/緩衝性シート/マットペット/アルミ板(AP)/1次セット(L1)/アルミ板(AP)/マットペット/緩衝性シート/天板(アルミ板)とした(図1(a)参照)。
なお、このプレスセットは、必要に応じて、アルミ板(AP)と1次セット(L1)とを交互に2〜4段重ね(4段重ねの場合:図1(B)参照)となるようにして形成させた。
次いで、プレス温度を120℃にセットし、前記プレスセットを昇温時間も含めて20分間プレスして乾燥塗膜どうしを接着させた後、加圧状態を維持したまま常温まで冷却しマットペットを取り除いてBステージ状態のシートサンプル(2層構造のBステージシート)を得た。
なお、実施例13〜15については、この2層構造のBステージシート2枚を上記と同様に熱プレスして4層構造のBステージシートを作製した。
また、実施例13、16においては、上記プレス温度を120℃に代えて130℃とした。
乾燥塗膜の形成されたマットペットから切出した2枚のシートサンプルに代えて2枚のBステージシートを用いたこと以外はBステージシートの作製にあたって用意したものと同様のプレスセットを用意し、これを常温のプレス板上に配置して真空下で所定の圧力となるように加圧した。
次いで、プレス温度を180℃にセットし、前記プレスセットを昇温時間も含めて60分間プレスしてBステージシートどうしを接着させた後、加圧状態を維持したまま常温まで冷却し約400μm厚みのCステージ状態のシートサンプルを得た。
次いで、プレス温度を10分間プレスした後、常温まで冷却しCステージシートを作製した。
<粒子径・形状の測定>
上記Cステージシートの作製に用いた無機物粒子は、以下のようにして粒子径、粒度分布、粒子形状を確認した。
おおよそ50mgほどの無機物粒子を1ccの測定溶媒中に分散させ、超音波処理を10分施して、粒度分布測定用の粒子分散液とした。
粒度分布測定用の容器に希釈用溶媒を入れ、さらに、前記粒子分散液を測定用の容器に適量を入れて攪拌し、その後、島津製作所社製の「SALD−2100」を用いて粒度分布の測定を行った。
初めに、1〜19mm3の所定量の粒子を圧縮空気でガラス板上に分散固定化した。
次いで、マルバーン社製の粒子画像分析装置「モフォロギG3」を用い、5mm角から20mm角の面積に固定化された粒子の光学画像を取得した。
その後、取得した5万個以上の粒子画像から、「solidity=0.91」のパラメータを用いてフィルタ処理を行い、無機物粒子の面積円形度(HS)及び体積平均粒子径(D)を求めた。
結果を、比表面積(SA)とともに表に示す。
Cステージシート内に含まれる空隙の割合(空隙率)を評価した。
空隙率(φ)は、理論密度(ρT)と実測の密度(ρE)から下記の式(a)により算出した。
空隙率(φ)=(1−ρE/ρT)×100(%) ・・・(a)
即ち、実測の密度(ρE)については、約20mm角のCステージシートを用いて、JIS K7112:1999に準じ25℃の水による水中置換法により求めた。
また、理論密度(ρT)は、窒化ホウ素粒子の密度を2.26g/cm3、窒化アルミニウムの密度を3.26g/cm3、酸化アルミニウムの密度を3.8g/cm3、樹脂などの密度を1.3g/cm3として算出した。
例えば、窒化アルミニウム粒子を85.3質量%含むポリマー組成物100gは、体積が26.2cm3(85.3/3.26)の窒化アルミニウム粒子と、体積が11.3cm3(14.7/1.3)のポリマーのみによって構成されているものと考え、理論密度をおおよそ2.66g/cm3(100/(26.2+11.3))として計算した。
「×」:2〜10MPaの圧力でのプレス条件全てで空隙率3.0%以上
「○」:2〜10MPaの圧力でのプレス条件の何れかで空隙率3.0%未満
前記のようにして作製したCステージシートから、一辺1cmの正方形のテストピースと直径2.5cmの円形のテストピースとを切り出し、黒化処理として受光部と検出部にそれぞれレーザー加工用反射防止剤であるFC−153ブラックガードスプレーを薄く塗布し(乾燥厚み10μm以下)、前記正方形テストピースを厚み方向の熱拡散率測定用試料とし、前記円形テストピースを面方向の熱拡散率測定用試料とした。
例えば、窒化アルミニウム粒子を85.3質量%含むポリマーは、理論比熱をおおよそ0.85kJ/kgK(0.853×0.74+0.147×1.5)として算出した。
「×」:2〜10MPaの圧力でのプレス条件全てで熱伝導率が12.5W/mK未満
「○」:2〜10MPaの圧力でのプレス条件の何れかで熱伝導率が12.5W/mK以上
「×」:空隙率が3%以上、又は、熱伝導率が12.5W/mK未満
「○」:空隙率が3%未満、且つ、熱伝導率が12.5W/mK以上
「◎」:空隙率が2%未満、且つ、熱伝導率が13.0W/mK以上
「×」:全てのプレス条件で判定結果が「×」
「○」:何れかのプレス条件で「○」があるが「◎」が無い
「◎」:何れかのプレス条件で「◎」がある
Claims (6)
- 熱伝導性無機物粒子と電気絶縁性ポリマーとを含有する熱伝導性ポリマー組成物であって、
前記熱伝導性無機物粒子は、凝集状態の窒化ホウ素粒子からなる第1成分、及び、該第1成分以外の第2成分を含み、第2成分の含有割合が5体積%以上55体積%以下であるとともに下記(1)〜(3)の要件をすべて満足することを特徴とする熱伝導性ポリマー組成物。
(1)10μm以上400μm以下の粒径を有する粒子を80体積%以上含有する。
(2)20μm以上400μm以下の粒径を有する粒子を60体積%以上含有する。
(3)30μm以上400μm以下の粒径を有する粒子を40体積%以上含有する。 - 前記第2成分には、窒化アルミニウム粒子、又は、酸化アルミニウム粒子が含まれている請求項1記載の熱伝導性ポリマー組成物。
- 前記電気絶縁性ポリマーとして熱硬化性樹脂が含まれている請求項1又は2に記載の熱伝導性ポリマー組成物。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の熱伝導性ポリマー組成物によって一部又は全部が形成されてなる熱伝導性成形体。
- 前記熱伝導性ポリマー組成物がシート状に成形されてなる熱伝導性シートである請求項4記載の熱伝導性成形体。
- 前記熱伝導性ポリマー組成物によって形成されてなる部位の空隙率が3%以下である請求項4又は5記載の熱伝導性成形体。
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