JP2015185665A - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被着体としてのウエハWFに接着シートASが貼付された対象物としてのワークWKを当該ウエハWF側から支持する被着体支持手段20と、ウエハWFに貼付された接着シートASを保持可能なシート保持手段30と、被着体支持手段20とシート保持手段30とを相対移動させてウエハWFから接着シートASを剥離可能な移動手段50とを備え、被着体支持手段20は、ウエハWFの内方に向けて当該ウエハWFから離間する方向に傾斜し、ウエハWFの外縁部WF1のみに接触して当該ウエハWFを支持可能な支持面としての支持面22Aを備えた支持部材22を有している。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の剥離装置は、接着シートが貼付されたウエハを支持する支持面を有した被着体支持手段と、支持面を介してウエハを吸着する吸引手段と、接着シートを保持可能なシート保持手段と、シート保持手段を被着体支持手段に対して水平方向に移動させる移動手段とを備え、当該移動手段を移動させることで被着体から接着シートを剥離するように構成されている。
本発明のシート剥離装置において、前記被着体支持手段は、前記支持部材の位置を調整可能な調整手段を有することが好ましい。
さらに、被着体支持手段が調整手段を有していることで、サイズの異なる被着体を支持する場合や、被着体の大きさの寸法に誤差が生じていていたり、被着体の支持位置にずれが生じていたりする場合でも、支持面の適正位置に被着体の外縁部を接触させることができ、被着体を確実に支持することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
吸引手段24は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通し、支持部材22の鉛直面から突出してウエハWFの下面近傍に開口した吸引管24Aと、同じく図示しない減圧手段に連通し、テーブル21の底面から突出してウエハWFの下面近傍に開口した吸引管24Bとを有している。
移動手段50は、テーブル21をそのスライダ51Aで支持する駆動機器としてのリニアモータ51から構成されている。
先ず、作業者が図1(A)に示すように剥離用テープPTをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、ワークWKをテーブル21のフレーム支持面21Aおよび支持部材22の支持面22A上に載置したことを検知手段60が検知すると、被着体支持手段20が吸引手段24を駆動し、吸引管24AでウエハWFの外縁部を吸引するとともに、吸引管24BでウエハWFの中央部を吸引する。これにより、ウエハWFは、その外縁部WF1のみが支持面22Aで支持される。なお、支持部材22でウエハWFを支持する際、光学センサやカメラ等の撮像手段等の図示しない検知手段によって、ウエハWFの外縁位置を確認しながら、被着体支持手段20がリニアモータ23を駆動し、ウエハWFの大きさや、寸法の誤差に合わせて支持部材22の位置を調整してもよく、これにより、支持面22Aの適正位置にウエハWFの外縁部WF1を接触させることができ、ウエハWFを確実に支持することができる。なお、ウエハWFの外縁位置を作業者が確認しながら、被着体支持手段20のリニアモータ23を駆動し、支持部材22の位置を調整してもよい。
さらに、シート保持手段30は、剥離用テープPTを介すことなく、チャックシリンダや吸着パッド等で接着シートASを直接保持する構成でもよい。
また、移動手段50は、被着体支持手段20のみを移動させてもよいし、シート保持手段30のみを移動させてもよい。
さらに、対象物は、リングフレームRFがなく、ウエハWFに接着シートASが貼付されたものでもよい。
また、支持部材22の支持面22Aは、ゴムや樹脂等の弾性部材の表面で構成してもよいし、図2(B)に拡大して示すように、微細な階段状に構成されていてもよく、これらのような構成では、ウエハWFから接着シートASを剥離する際に、当該ウエハWFが剥離方向に滑ることを抑制し、接着シートASが剥離できなくなることをより効果的に防止することができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…被着体支持手段
22…支持部材
22A…支持面
23…リニアモータ(調整手段)
24…吸引手段
30…シート保持手段
50…移動手段
AS…接着シート
WF…ウエハ(被着体)
WF1…外縁部
WK…ワーク(対象物)
Claims (4)
- 被着体に接着シートが貼付された対象物を当該被着体側から支持する被着体支持手段と、
前記被着体に貼付された接着シートを保持可能なシート保持手段と、
前記被着体支持手段とシート保持手段とを相対移動させて前記被着体から接着シートを剥離可能な移動手段とを備え、
前記被着体支持手段は、前記被着体の内方に向けて当該被着体から離間する方向に傾斜し、前記被着体の外縁部のみに接触して当該被着体を支持可能な支持面を備えた支持部材を有することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記被着体支持手段は、前記被着体を吸引可能な吸引手段を有することを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記被着体支持手段は、前記支持部材の位置を調整可能な調整手段を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。
- 被着体に接着シートが貼付された対象物を当該被着体側から支持するに際して、前記被着体の内方に向けて当該被着体から離間する方向に傾斜した支持面に前記被着体の外縁部のみを接触させて当該被着体を支持する工程と、
前記被着体に貼付された接着シートを保持する工程と、
支持された被着体と保持された接着シートとを相対移動させて前記被着体から接着シートを剥離する工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
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