KR102242435B1 - 테이프 박리 장치 - Google Patents

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Abstract

테이프 박리 장치의 압박부의 냉각에 드는 시간을 단축하여, 테이프 박리 동작을 정체 없이 행한다. 웨이퍼(W)를 유지하는 테이블(30)과, 웨이퍼(W)의 보호 테이프(T2)의 상면에 박리 테이프(T3)를 압박하여 점착하는 수단(4)과, 점착된 박리 테이프(T3)를 협지하는 수단(2)과, 협지 수단(2)과 테이블(30)을 상대적으로 웨이퍼(W)의 외측에서 중심으로 이동시키고 박리 테이프(T3)를 잡아당겨 보호 테이프(T2)를 박리하는 이동 수단(11)과, 제어 수단(9)을 구비하고, 박리 테이프 점착 수단(4)은, 압박부(42)와, 압박부(42)를 승강시키는 수단(43)과, 압박부(42)를 가열하는 수단(44)과, 압박부(42)를 냉각하는 수단(45)과, 압박부(42)의 온도를 검지하는 센서(46)를 구비하고, 제어 수단(9)은, 가열 수단(44)과 냉각 수단(45)을 이용하여 보호 테이프(T2)의 품질에 따라서 설정된 접착 온도와 센서(46)가 검지하는 압박부(42)의 온도를 일치시키는 제어를 행하는 테이프 박리 장치(1)이다.

Description

테이프 박리 장치{TAPE SEPARATION DEVICE}
본 발명은, 웨이퍼에 점착된 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 테이프 박리 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등은, 연삭 장치에 의해서 연삭되어 소정의 두께로 형성된 후에, 절삭 장치 등에 의해 분할 예정 라인을 따라서 분할되어 개개의 디바이스 등으로 되어 각종 전자기기 등에 이용되고 있다. 이러한 연삭에 사용되는 연삭 장치에 있어서는, 한 쪽의 면(복수의 디바이스가 형성되어 있는 면)에 보호 테이프가 점착된 웨이퍼를, 보호 테이프 측이 척 테이블의 유지면에 접촉하도록 척 테이블에 의해서 흡인 유지하고, 연삭 지석을 갖춘 연삭 수단을 척 테이블에 유지된 웨이퍼에 대하여 하강시켜 와, 회전하는 연삭 지석을 웨이퍼의 다른 쪽의 면에 접촉시켜 압박하면서 웨이퍼를 연삭해 간다.
연삭 후의 웨이퍼는, 절삭 장치에 의해 분할되기 전에, 예컨대 연삭 장치에서 테이프 마운터로 반송된다. 테이프 마운터의 접착 테이블 상에서, 프레스 롤러 등에 의해, 웨이퍼의 연삭이 먼저 이루어진 다른 쪽의 면에 점착 테이프(다이싱 테이프)가 압박되어 점착된다. 동시에, 점착 테이프의 점착면의 외주부를 링 프레임에도 점착함으로써, 웨이퍼는 점착 테이프를 통해 링 프레임에 지지된 상태가 된다. 이어서, 테이프 박리 장치(예컨대 특허문헌 1 참조)에 의해서, 링 프레임으로 지지된 웨이퍼의 한 쪽의 면에서 보호 테이프가 박리되어, 웨이퍼는 절삭이 가능한 상태가 된다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 2011-204860호 공보
웨이퍼로부터 보호 테이프를 박리할 때는, 보호 테이프의 외주부에 박리 테이프가 점착되고, 이 박리 테이프를 협지하여 박리 테이프를 잡아당기면서 보호 테이프를 박리해 간다. 사용되는 박리 테이프는, 예컨대 히트 시일 테이프이다. 즉, 박리 테이프의 점착면에는, 열에 의해서 보호 테이프보다도 강력한 점착력을 발현되는 풀이 도포되어 있고, 테이프 중 뜨겁게 한 부분의 풀이 녹음으로써 박리 테이프는 보호 테이프에 점착된다. 따라서, 보호 테이프에 히트 시일 타입의 박리 테이프를 점착할 때는, 박리 테이프에 소정량의 열량을 가할 필요가 있다.
그러나, 웨이퍼에 점착되어 있는 보호 테이프 기재의 재질의 종류, 또는 웨이퍼의 한 쪽의 면에 형성되어 있는 디바이스의 종류에 따라서는, 박리 테이프를 보호 테이프에 점착시킬 때에 열량을 많이 가할 수 없는 경우가 있다. 이 경우에는, 박리 테이프의 보호 테이프에 대한 접착력은 저하하지만, 박리 테이프와 보호 테이프의 접착 부위에 가하는 열량을 적게 하여 테이프 등이 고온으로 되지 않게 제어하면서, 박리 테이프와 보호 테이프의 접착면을 넓게 잡음으로써, 박리 테이프에 의해 보호 테이프의 박리가 가능한 상태로 한다.
테이프 박리 장치에 반송되어 오는 웨이퍼에 점착되어 있는 보호 테이프가 도중에 다른 종류의 보호 테이프로 전환되는 일이 있는 경우에는, 테이프 박리 장치에 있어서도, 전환된 보호 테이프에 맞춰 박리 테이프와 보호 테이프의 접착 부위에 가하는 열량을 바꿔, 테이프의 온도를 제어할 필요가 생긴다. 이 제어해야 하는 접착 부위에 있어서의 테이프의 온도는, 예컨대, 테이프의 종류에 따라 50도 정도의 차이가 있으며, 예컨대, 박리 테이프와 보호 테이프의 접착 부위에 압박력을 가하는 압박부의 온도를 제어함으로써 제어된다. 그리고, 압박부의 온도를 제어할 때는, 압박부를 가열할 때보다도 압박부를 냉각할 때에 보다 많은 시간이 걸려, 보호 테이프의 전환에 의해 필요하게 되는 압박부의 냉각을 행할 때마다, 테이프 박리 장치에 의한 테이프 박리 동작을 한 번 정지해야만 한다고 하는 문제가 있다.
따라서, 테이프 박리 장치를 이용하여, 박리 테이프에 소정량의 열량을 가하면서 박리 테이프를 압박부에 의해서 보호 테이프에 점착하고, 박리 테이프를 잡아당겨 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 경우에는, 압박부의 냉각에 드는 시간을 단축하여 테이프 박리 동작이 정체되는 일 없이 이루어져 가게 한다고 하는 과제가 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 웨이퍼의 한 쪽의 면에 점착된 보호 테이프에 박리 테이프를 점착하고 이 박리 테이프를 잡아당겨 상기 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 테이프 박리 장치로서, 웨이퍼의 다른 쪽의 면 측을 유지하는 유지 테이블과, 이 유지 테이블에 유지되는 웨이퍼의 상기 보호 테이프의 상면에 압박부로 상기 박리 테이프를 압박하여 점착하는 박리 테이프 점착 수단과, 상기 박리 테이프 점착 수단으로 점착된 상기 박리 테이프의 일단을 협지하는 협지 수단과, 상기 협지 수단과 상기 유지 테이블을 상대적으로 웨이퍼의 외측에서 중심을 향해서 이동시키고 상기 박리 테이프를 잡아당겨 상기 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 이동 수단과, 적어도 상기 압박부의 온도를 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 박리 테이프 점착 수단은, 상기 압박부와, 상기 압박부를 상기 유지 테이블에 접근 또는 이격시키는 승강 수단과, 상기 압박부를 가열하는 가열 수단과, 상기 압박부를 냉각하는 냉각 수단과, 상기 압박부의 온도를 검지하는 온도 센서를 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 가열 수단과 상기 냉각 수단을 이용하여 상기 보호 테이프의 품질에 따라서 미리 설정된 접착 온도와 상기 온도 센서가 검지하는 상기 압박부의 온도를 일치시키는 제어를 행하는 테이프 박리 장치이다.
상기 가열 수단은, 상기 압박부를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 히터부와, 상기 한 쌍의 히터부가 상기 압박부를 사이에 두도록 상기 한 쌍의 히터부를 이동시키는 가열 수단 이동 수단을 구비하고, 상기 냉각 수단은, 상기 압박부를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 냉각 핀과, 상기 한 쌍의 냉각 핀이 상기 압박부를 사이에 두도록 상기 한 쌍의 냉각 핀을 이동시키는 냉각 수단 이동 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 압박부를 가열할 때는, 상기 가열 수단 이동 수단으로 상기 적어도 한 쌍의 히터부를 이동시켜 상기 적어도 한 쌍의 히터부로, 상기 압박부를 사이에 두고서 상기 압박부가 소정의 온도가 될 때까지 가열시키고, 상기 압박부를 냉각할 때는, 상기 냉각 수단 이동 수단으로 상기 적어도 한 쌍의 상기 냉각 핀을 이동시켜 상기 적어도 한 쌍의 냉각 핀으로, 상기 압박부가 소정의 온도가 될 때까지 냉각시키면 바람직하다.
본 발명에 따른 테이프 박리 장치는, 유지 테이블에 유지되는 웨이퍼의 보호 테이프의 상면에 압박부로 박리 테이프를 압박하여 점착하는 박리 테이프 점착 수단과, 적어도 압박부의 온도를 제어하는 제어 수단을 구비하고, 박리 테이프 점착 수단은, 압박부와, 압박부를 유지 테이블에 접근 또는 이격시키는 승강 수단과, 압박부를 가열하는 가열 수단과, 압박부를 냉각하는 냉각 수단과, 압박부의 온도를 검지하는 온도 센서를 구비하고, 제어 수단은, 가열 수단과 냉각 수단을 이용하여 보호 테이프의 품질에 따라서 미리 설정된 접착 온도와 온도 센서가 검지하는 압박부의 온도를 일치시키는 제어를 행함으로써, 압박부의 냉각에 드는 시간을 단축하여, 테이프 박리 동작이 정체 없이 이루어지는 것을 가능하게 한다.
또한, 가열 수단은, 압박부를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 히터부와, 한 쌍의 히터부가 압박부를 사이에 두도록 한 쌍의 히터부를 이동시키는 가열 수단 이동 수단을 구비하고, 냉각 수단은, 압박부를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 냉각 핀과, 한 쌍의 냉각 핀이 압박부를 사이에 두도록 한 쌍의 냉각 핀을 이동시키는 냉각 수단 이동 수단을 구비하고, 제어 수단은, 압박부를 가열할 때는, 가열 수단 이동 수단으로 적어도 한 쌍의 히터부를 이동시켜 적어도 한 쌍의 히터부로, 압박부를 사이에 두고서 압박부가 소정의 온도로 될 때까지 가열시키고, 압박부를 냉각할 때는, 냉각 수단 이동 수단으로 적어도 한 쌍의 냉각 핀을 이동시켜 적어도 한 쌍의 냉각 핀으로, 압박부가 소정의 온도로 될 때까지 냉각시키며, 보호 테이프의 품질에 따라서 미리 설정된 접착 온도와 상기 온도 센서가 검지하는 상기 압박부의 온도를 일치시키는 제어를 행함으로써, 압박부의 냉각에 드는 시간을 단축하여 테이프 박리 동작이 정체 없이 이루어지는 것을 보다 확실하게 한다.
도 1은 테이프 박리 장치의 구조의 일례를 도시하는 단면도.
도 2는 압박부에 의해서 박리 테이프를 보호 테이프에 점착하고 있는 상태를 도시하는 단면도.
도 3은 압박부를 한 쌍의 냉각 노즐에 의해서 냉각하고 있는 상태를 도시하는 단면도.
도 4는 가열 수단 이동 수단 및 냉각 수단 이동 수단을 갖추는 테이프 박리 장치의 구조의 일례를 도시하는 단면도.
도 5는 압박부를 한 쌍의 냉각 핀에 의해서 냉각하고 있는 상태를 도시하는 단면도.
도 1에 도시하는 웨이퍼(W)는, 예컨대 외형이 원 형상인 반도체 웨이퍼이며, 한 쪽의 면(Wa) 상에는 다수의 디바이스가 형성되어 원 형상의 보호 테이프(T2)가 점착되어 있다. 또한, 다른 쪽의 면(Wb)은 이미 연삭되어 있다. 보호 테이프(T2)는 예컨대 웨이퍼(W)와 동등한 외경을 갖는 원형의 필름이며, 기재로 이루어지는 노출면(T2a)과, 접착성이 있는 점착제층으로 이루어지는 점착면(T2b)을 구비한다. 웨이퍼(W)는, 예컨대 도시하지 않는 테이프 마운터에 의해서, 링 프레임(F)의 개구의 다이싱 테이프(T1)에 점착됨으로써, 다이싱 테이프(T1)를 통해 링 프레임(F)에 지지된 상태로 되어 있다.
도 1에 도시하는 테이프 박리 장치(1)는, 예컨대 도시하지 않는 테이프 마운터 등으로부터 반송되어 온 웨이퍼(W)의 한 쪽의 면(Wa)에 점착된 보호 테이프(T2)에 박리 테이프(T3)를 점착하고, 박리 테이프(T3)를 잡아당겨 보호 테이프(T2)를 웨이퍼(W)로부터 박리할 수 있다. 테이프 박리 장치(1)는, 예컨대, 다른 쪽의 면(Wb)을 연삭하는 연삭 장치, 웨이퍼(W)에 다이싱 테이프(T1)를 점착하는 테이프 마운터 및 웨이퍼(W)를 절삭하는 절삭 장치와 연결하여도 좋으며, 이들 장치의 기능을 전부 구비함으로써 연삭 공정, 테이프 점착 공정 및 절삭 공정을 연속해서 행할 수 있게 하고 있는 클러스터형 장치의 일부를 구성하고 있어도 좋다. 테이프 박리 장치(1)에 구비하는 유지 테이블(30)은, 예컨대 그 외형이 원 형상이며, 웨이퍼(W)를 흡착하는 흡착부(300)와, 흡착부(300)를 지지하는 프레임(301)을 구비한다. 흡착부(300)는 도시하지 않는 흡인원에 연통하여, 흡착부(300)의 노출면이며 프레임(301)의 상면과 동일 면에 형성되어 있는 유지면(300a)에서 웨이퍼(W)를 흡인하여 유지한다. 유지 테이블(30)은, 유지 테이블(30)의 바닥면에 연결된 연결 부재(302)를 통해, 이동 수단(11)에 의해서 지지되어 있다.
이동 수단(11)은, 예컨대 연결 부재(302)가 고정된 가동판(110)이 가이드 레일(111) 위를 미끄럼 접촉하면서 X축 방향으로 왕복 이동함으로써, 유지 테이블(30) 및 후술하는 링 프레임 유지부(31)를 X축 방향으로 일체적으로 왕복 이동시킬 수 있다.
링 프레임 유지부(31)는, 유지 테이블(30)의 주위에, 예컨대 4개(도시하는 예에서는 2개만 도시하고 있다) 균등하게 배치되어 있다. 링 프레임 유지부(31)는, 협지 클램프(310)와, 협지 클램프(310)를 Z축 방향으로 승강시키는 Z축 방향 이동 수단(311)을 구비하고 있다. 협지 클램프(310)는, 서로가 접근 및 이격 가능한 한 쌍의 협지 부재 사이에 링 프레임(F)을 끼울 수 있다.
Z축 방향 이동 수단(311)은 예컨대 에어 실린더이며, 내부에 도시하지 않는 피스톤을 갖추고 기단 측(-Z 방향 측)에 바닥이 있는 원통형의 실린더 튜브(311a)와, 실린더 튜브(311a)에 삽입되어 일단이 피스톤에 부착된 피스톤 로드(311b)를 구비한다. 피스톤 로드(311b)의 또 다른 일단은 협지 클램프(310)에 고정되어 있다. 또한, 실린더 튜브(311a)의 기단 측은 가동판(110)의 상면에 고정되어 있다. 실린더 튜브(311a)에 에어가 공급(또는 배출)되어 실린더 튜브(311a) 내부의 압력이 변화함으로써, 피스톤 로드(311b)가 Z축 방향으로 이동하고, 협지 클램프(310)가 Z축 방향으로 이동한다.
테이프 박리 장치(1)에 구비하는 박리 테이프 점착 수단(4)은, 보호 테이프(T2)에 박리 테이프(T3)를 점착하는 역할을 한다. 박리 테이프 점착 수단(4)은, 예컨대 박리 테이프(T3)를 공급하는 박리 테이프 공급 수단(40)과, 박리 테이프(T3)를 절단하는 커터(41)와, 보호 테이프(T2)의 상면(노출면)(T2a)에 박리 테이프(T3)를 압박하여 점착하는 압박부(42)와, 압박부(42)를 유지 테이블(30)에 접근 또는 이격시키는 승강 수단(43)과, 압박부(42)를 가열하는 가열 수단(44)과, 압박부(42)를 냉각하는 냉각 수단(45)과, 압박부(42)의 온도를 검지하는 온도 센서(46)를 구비하고 있다. 박리 테이프 점착 수단(4)은 유지 테이블(30)의 상측에 있어서 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
박리 테이프(T3)를 공급하는 박리 테이프 공급 수단(40)은, 도시하지 않는 박리 테이프 롤과, 지지 롤러(400)와, Z축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 협지 롤러(401)를 구비하고 있다. 지지 롤러(400) 및 한 쌍의 협지 롤러(401)는, 예컨대 그 외형이 Y축 방향으로 연장되는 원주형으로 형성되어 있고, 도시하지 않는 모터에 의해 Y축 방향의 축심을 축으로 하여 각각 회전한다. 한 쌍의 협지 롤러(401)는, 서로의 사이에 박리 테이프(T3)를 두고서 회전하여, +X 방향 측을 향하여 박리 테이프(T3)를 송출한다. 지지 롤러(400)는, 지지 롤러(400)와 한 쌍의 협지 롤러(401) 사이의 박리 테이프(T3)에 장력을 부여한다.
박리 테이프(T3)는, 히트 시일이라고 불리는 테이프이며, PET 수지 등의 기재로 이루어지는 기재면(T3a)과, 핫멜트라고 불리는 열로 녹는 풀 등으로 구성되어 가열됨으로써 점착력을 발현하는 점착면(T3b)으로 이루어진다. 예컨대, 박리 테이프(T3)의 두께는 보호 테이프(T2)의 두께와 거의 동일하다. 박리 테이프(T3)는, 도시하지 않는 박리 테이프 롤의 외주에 휘감겨져 있다. 또, 가열된 경우에 있어서의 점착면(T3b)의 보호 테이프(T2)에 대한 점착력은, 보호 테이프(T2)의 웨이퍼(W)의 한 쪽의 면(Wa)에 대한 점착력보다도 크다.
커터(41)는, 예리한 날끝(41a)을 갖고 있음과 더불어, 날끝(41a)을 하단으로 하여 Y축 방향으로 직선적으로 연장되어 있으며, Z축 방향으로 승강 가능하게 되어 있다. 압박부(42)는, 예컨대 소정의 금속 등으로 이루어지며 외형이 직방체형으로 형성되어 있고, 그 Y축 방향 긴 변이 박리 테이프(T3)의 Y축 방향 폭보다도 길게 형성되어 있다. 압박부(42)는 하강함으로써, 그 바닥면(42b)에 의해, 박리 테이프(T3)를 보호 테이프(T2)에 대하여 누를 수 있으며, 예컨대 압박부(42) 내부의 하측 부분에는, 측온 저항체 등으로 구성되는 온도 센서(46)가 내장되어 있다. 온도 센서(46)에는, CPU 및 메모리 등의 기억 소자를 갖추는 제어 수단(9)이 접속되어 있다.
압박부(42)를 Z축 방향에 있어서 승강시키는 승강 수단(43)은, 예컨대 압박부(42)를 공기압에 의해 승강시키는 에어 실린더나, 모터에 의해 볼나사를 회동시킴으로써 압박부(42)를 승강시키는 볼나사 기구이며, 제어 수단(9)이 접속되어 있다.
압박부(42)를 가열하는 가열 수단(44)은, 예컨대 압박부(42)의 하부를 X축 방향 양측에서 사이에 두도록 배치되는 적어도 한 쌍의 히터부(440)를 갖추고 있다. 한 쌍의 히터부(440)는, 압박부(42)의 X축 방향 측면 하부에 각각이 Y축 방향으로 평행하게 따르도록 연장되고, 또한 본 실시형태에 있어서는 Z축 방향에 있어서의 소정의 높이 위치에 고정되어 배치되어 있다. 예컨대, 한 쌍의 히터부(440)는, 도시하지 않는 전원으로부터 소정의 전압이 인가되어 발열체에 전류가 흐름으로써 적외선을 방사하여 발열하는 적외선 히터로, 세라믹 히터 또는 할로겐 히터 등이라도 좋으며, 압박부(42)의 하부, 즉 박리 테이프(T3)와의 접촉부를 단시간에 균등하게 가열할 수 있다.
압박부(42)를 냉각하는 냉각 수단(45)은, 본 실시형태에서는, 예컨대 압박부(42)의 하부를 X축 방향 양측에서 사이에 두도록 배치되는 적어도 한 쌍의 냉각 노즐(450)을 갖추고 있다. 한 쌍의 냉각 노즐(450)은, 예컨대 본 실시형태와 같이, 2 라인의 냉각 노즐(450)의 분사구(450a)가, 압박부(42)를 사이에 두고서 X축 방향에 있어서 마주 보도록 배치되어 있다. 또는 한 쌍의 냉각 노즐(450)은, 2 라인의 냉각 노즐이, 압박부(42)의 X축 방향 측면 하부에 각각이 Y축 방향으로 평행하게 따르도록 연장되고, 압박부(42)의 X축 방향 측면에 대하여, 각 파이프 노즐의 분사구가 복수로 정렬되어 마주 보도록 구성되어 있어도 좋다. 본 실시형태에 있어서, 한 쌍의 냉각 노즐(450)은, 가열 수단(44)의 한 쌍의 히터부(440)의 설치 높이보다도, Z축 방향에 있어서 아래쪽의 높이 위치에 고정된 상태로 되어 있다. 각 냉각 노즐(450)은, 콤프레셔 등으로 이루어지며 냉각된 에어 또는 상온의 에어를 공급할 수 있는 도시하지 않는 에어 공급원에 연통되어 있다. 2 라인의 냉각 노즐(450)의 분사구(450a)로부터 분사되는 냉각 에어는, 압박부(42)의 하부, 즉 박리 테이프(T3)와의 접촉부를 단시간에 균등하게 냉각할 수 있다.
도 1에 도시하는 협지 수단(2)은, 서로가 Z축 방향으로 접근 및 이격 가능한 한 쌍의 협지판(20)을 갖추고, 예컨대 수평면 위를 평행 이동 가능하며 또한 Z축 방향으로 상하 이동 가능하게 되어 있다. 협지 수단(2)은, 한 쌍의 협지 롤러(401)에 의해서 송출된 박리 테이프(T3)의 선단(T3d)을 협지하여, 박리 테이프(T3)를 +X 방향으로 향해서 더욱 인출할 수 있다.
제어 수단(9)에는, 예컨대 웨이퍼(W)에 점착되어 있는 보호 테이프(T2)를 포함하는 보호 테이프의 품질마다에 따라서 미리 설정된 보호 테이프에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도를 나타내는 대응 데이터가 기억되어 있다. 또한, 제어 수단(9)에는, 예컨대 도시하지 않는 테이프 마운터 또는 연삭 장치로부터 테이프 박리 장치(1)에 반송된 웨이퍼(W) 및 웨이퍼(W)에 점착되어 있는 보호 테이프(T2)에 관한 정보가 수시로 송신되어 온다.
이하에, 도 1~도 3을 이용하여, 본 발명에 따른 테이프 박리 장치(1)에 의해 웨이퍼(W)의 한 쪽의 면(Wa)으로부터 보호 테이프(T2)를 박리하는 경우의, 테이프 박리 장치(1)의 동작에 관해서 설명한다.
다이싱 테이프(T1)를 통해 링 프레임(F)에 지지된 웨이퍼(W)가, 도시하지 않는 반송 수단에 의해서 테이프 박리 장치(1)에 반송되어, 웨이퍼(W)의 중심이 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 중심에 대략 위치하도록 위치 부여된다. 이어서, 웨이퍼(W)의 다른 쪽의 면(Wb) 측을, 다이싱 테이프(T1)를 통해 유지 테이블(30)의 유지면(300a)에 접촉시키고, 또한 개방한 상태로 되어 있는 협지 클램프(310)의 한 쪽의 협지 부재 상에 링 프레임(F)을 접촉시킨다. 도시하지 않는 흡인원을 구동시켜, 흡인원이 만들어 내는 흡인력을 유지면(300a)에 전달하게 함으로써, 유지 테이블(30)의 유지면(300a) 상에서 다이싱 테이프(T1)를 통해 웨이퍼(W)의 다른 쪽의 면(Wb) 측을 흡인 유지한다. 또한, 협지 클램프(310)의 또 한 쪽의 협지 부재가 회동하여, 한 쌍의 협지 부재 사이에 링 프레임(F)을 끼운다. 또한, 승강 수단(311)이, 링 프레임(F)을 사이에 끼운 협지 클램프(310)를 -Z 방향으로 하강시킴으로써, 도 1에 도시한 것과 같이 링 프레임(F)이 링 프레임 유지부(31)로 유지되어, 링 프레임(F)의 상면보다도 보호 테이프(T2)의 상면(T2a)이 상대적으로 높은 위치에 위치 부여된 상태가 된다.
박리 테이프 공급 수단(40)으로부터 박리 테이프(T3)가 소정의 길이만큼 공급되어, 박리 테이프(T3)의 선단(T3d)이 협지 수단(2)에 의해서 협지된다. 또한, 박리 테이프(T3)를 협지한 협지 수단(2)이, +X 방향 측의 링 프레임 유지부(31)의 상측으로 이동함과 더불어, 박리 테이프(T3)가 도시하지 않는 박리 테이프 롤로부터 더욱 인출된다. 또한, 커터(41) 및 압박부(42)가, 예컨대 보호 테이프(T2)의 +X 방향 측의 바깥 둘레의 위쪽에 박리 테이프(T3)를 사이에 두고서 위치 부여된다. 이어서, 승강 수단(43)이 압박부(42)를 Z축 방향으로 이동시켜, 압박부(42)가 높이 위치(Z1)에 위치 부여된다. 높이 위치(Z1)는, 압박부(42)의 하부, 즉 박리 테이프(T3)와의 접촉 부위가, 한 쌍의 히터부(440)에 의해 X축 방향 양측에서 사이에 끼워진 상태가 되는 위치이다.
이어서, 한 쌍의 히터부(440)에 소정의 전압이 인가되어 한 쌍의 히터부(440)가 발열하고, 높이 위치(Z1)에 위치 부여된 압박부(42)가 한 쌍의 히터부(440)에 의해서 가열된다. 한 쌍의 히터부(440)는, 도 1에서는 압박부(42)에 접촉하지 않았지만, 압박부(42)에 접촉하고 있어도 좋다. 한 쌍의 히터부(440)에 의한 압박부(42)의 가열 중에는, 압박부(42)에 내장되어 있는 온도 센서(46)가 압박부(42)의 온도를 수시로 계측한다. 온도 센서(46)가 계측한 압박부(42)의 온도에 관한 정보는, 온도 센서(46)에서 제어 수단(9)으로 보내진다. 압박부(42)의 온도가 미리 설정된 보호 테이프(T2)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q1)에 달하면, 제어 수단(9)으로부터 승강 수단(43)에 대하여 압박부(42)를 하강시킨다는 취지의 지령이 나온다. 또한, 한 쌍의 히터부(440)에 대한 통전이 정지되어, 한 쌍의 히터부(440)의 발열이 멈춘다.
도 2에 도시한 것과 같이, 승강 수단(43)이 압박부(42)를 하강시켜, 압박부(42)가 박리 테이프(T3)를 아래쪽으로 밀어 움직이게 하여, 박리 테이프(T3)의 점착면(T3b)을 보호 테이프(T2)의 상면(T2a)에 접촉시켜 압박해 간다. 미리 소정의 온도(Q1)까지 가열되어 있는 압박부(42)에 의해, 박리 테이프(T3)의 점착층(T3b)의 점착성을 최적의 상태로 발현시켜, 박리 테이프(T3)의 일단(T3c) 측의 점착층(T3b)을, 유지 테이블(30)에 유지된 웨이퍼(W)의 보호 테이프(T2)의 상면(T2a)에 점착한다.
이어서, 도 2에 도시하는 커터(41)가 하강하여, 커터(41)의 날끝(41a)이 박리 테이프(T3)로 베어 들어가, 박리 테이프(T3)를 절단하여 띠 형상으로 함으로써, 웨이퍼(W)에 점착된 보호 테이프(T2)의 바깥 둘레에 띠 형상의 박리 테이프(T3)의 일단(T3c) 측이 점착된 상태로 한다. 커터(41)가 박리 테이프(T3)를 절단한 후, 커터(41) 및 압박부(42)는, +Z 방향으로 상승하여 박리 테이프(T3)에서부터 높이 위치(Z1)까지 후퇴한다.
이어서, 이동 수단(11)이 유지 테이블(30)을 +X 방향으로 이동시켜 간다. 본 실시형태에서는, X축 방향에 있어서의 위치가 고정된 상태의 협지 수단(2)에 대하여, 유지 테이블(30)이 +X 방향으로 이동해 나가기 때문에, 협지 수단(2)은 유지 테이블(30)에 대하여 상대적으로 보호 테이프(T2)의 면 방향(본 실시형태에서는 -X 방향)으로 이동한다. 따라서, 이동 수단(11)에 의한 유지 테이블(30)의 이동에 의해서, 박리 테이프(T3) 및 보호 테이프(T2)에 부여되는 장력과, 가열된 박리 테이프(T3)의 점착층(T3b)의 보호 테이프(T2)에 대한 점착력에 의해, 웨이퍼(W)의 한 쪽의 면(Wa)에서 보호 테이프(T2)를 웨이퍼(W)의 -X 방향 측의 외측에서 중심으로 향하여 박리해 간다. 또, 유지 테이블(30)을 고정하여, 협지 수단(2)을 -X 방향으로 이동시킴으로써, 웨이퍼(W)로부터 보호 테이프(T2)가 박리되어 가도록 하여도 좋다.
이와 같이 하여, 웨이퍼(W)의 한 쪽의 면(Wa)에서 보호 테이프(T2)를 박리시킨다. 그리고, 도시하지 않는 반송 수단이 보호 테이프(T2)가 박리된 웨이퍼(W)를 유지 테이블(30) 상에서 반출함과 더불어, 보호 테이프(T2)가 한 쪽의 면(Wa)에 점착된 새로운 웨이퍼(W)를 유지 테이블(30) 상에 배치하고, 상기와 같은 공정을 반복하여, 웨이퍼(W)의 한 쪽의 면(Wa)에서 보호 테이프(T2)를 박리해 감으로써, 테이프 박리 동작이 정체 없이 진행되어가, 복수 매의 웨이퍼(W)의 각 보호 테이프(T2)를 잇달아 박리해 나갈 수 있다.
예컨대, 도시하지 않는 테이프 마운터로부터 테이프 박리 장치(1)의 유지 테이블(30) 상에 반송되는 웨이퍼가, 보호 테이프(T2)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)에서, 도 3에 도시하는 보호 테이프(T20)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)로 전환되는 경우가 있다. 예컨대, 보호 테이프(T20)는, 보호 테이프(T2)에 비해서, 박리 테이프(T3)를 점착시킬 때에 열량을 많이 가할 수 없는 종류의 테이프이며, 보호 테이프(T20)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q2)는, 보호 테이프(T2)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q1)보다도 50도 정도 낮은 온도이다.
테이프 박리 장치(1)의 유지 테이블(30) 상에 새롭게 반송된 웨이퍼(W)에 점착되어 있는 보호 테이프가 보호 테이프(T2)에서 보호 테이프(T20)로 전환되는 것에 관한 정보가, 도시하지 않는 테이프 마운터로부터 테이프 박리 장치(1)의 제어 수단(9)에 대하여 보내진다. 여기서, 도 2에 도시하는 압박부(42)는, 먼저 박리 처리가 실시된 웨이퍼(W)의 보호 테이프(T2)의 상면(T2a)에 박리 테이프(T3)의 점착면(T3b)을 접촉시켜 압박한 후, +Z 방향으로 상승하여 박리 테이프(T3)에서부터 높이 위치(Z1)까지 후퇴하고 있다. 또한, 압박부(42)의 온도는, 보호 테이프(T2)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q1)에 가까운 온도로 된다. 또, 보호 테이프(T20)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q2)에 관해서도 제어 수단(9)에 미리 설정되어 있다.
제어 수단(9)으로부터 승강 수단(43)에 대하여, 압박부(42)를 Z축 방향의 높이 위치(Z2)에 위치 부여하게 한다는 취지의 지령이 나와, 승강 수단(43)이 압박부(42)를 Z축 방향으로 하강시켜, 압박부(42)가 높이 위치(Z2)에 위치 부여된다. 높이 위치(Z2)는, 압박부(42)의 하부, 즉 박리 테이프(T3)와의 접촉 부위가 한 쌍의 냉각 노즐(450)에 의해 X축 방향 양측에서 끼워진 상태로 되는 위치이다.
도시하지 않는 에어 공급원으로부터, 한 쌍의 냉각 노즐(450)에 대하여 냉각된 에어가 공급되어, 각 냉각 노즐(450)의 분사구(450a)로부터 냉각 에어가 압박부(42)에 대하여 분사된다. 압박부(42)는, 한 쌍의 냉각 노즐(450)로부터 뿜어지는 냉각 에어에 의해서 급속히 균일하게 냉각되어 간다. 한 쌍의 냉각 노즐(450)에 의한 압박부(42)의 냉각 중에는, 압박부(42)에 내장되어 있는 온도 센서(46)가 압박부(42)의 온도를 수시로 계측한다. 온도 센서(46)가 계측한 압박부(42)의 온도에 관한 정보는, 온도 센서(46)로부터 제어 수단(9)에 보내진다. 압박부(42)의 온도가, 미리 설정된 보호 테이프(T20)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q2)까지 내려가면, 제어 수단(9)으로부터 승강 수단(43)에 대하여 압박부(42)를 하강시킨다는 취지의 지령이 나온다. 또한, 한 쌍의 냉각 노즐(450)에 대한 냉각 에어의 공급이 정지된다.
승강 수단(43)이 높이 위치(Z2)에 위치하는 압박부(42)를 하강시켜, 압박부(42)가 박리 테이프(T3)를 아래쪽으로 눌러 움직이게 하여, 박리 테이프(T3)의 점착면(T3b)을 보호 테이프(T20)의 상면(T20a)에 접촉시켜 압박해 간다. 미리 소정의 온도(Q2)까지 가열되어 있는 압박부(42)에 의해, 박리 테이프(T3)의 점착층(T3b)의 점착성을 최적의 상태로 발현시켜, 박리 테이프(T3)의 점착층(T3b)을, 유지 테이블(30)에 유지된 웨이퍼(W)의 보호 테이프(T20)의 상면(T20a)에 점착한다. 그 후, 박리 테이프(T3)의 절단 및 박리 테이프(T3)에 의한 보호 테이프(T20)의 박리가 이루어진다.
예컨대, 종래의 테이프 박리 장치에서는, 테이프 박리 장치(1)에 반송되는 웨이퍼가, 보호 테이프(T2)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)에서 보호 테이프(T20)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)로 전환된 경우에 있어서, 압박부(42)의 온도가, 보호 테이프(T2)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q1)에서 보호 테이프(T20)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q2)까지 내려가는 것을, 압박부(42)의 자연스러운 방열에 맡기고 있다. 그 때문에, 압박부(42)의 냉각에 많은 시간이 필요하기 때문에, 테이프의 박리 동작이 정체되는 경우가 있다. 이에 대하여, 본 발명에 따른 테이프 박리 장치(1)는, 테이프 박리 장치(1)에 반송되는 웨이퍼가, 보호 테이프(T2)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)에서 보호 테이프(T20)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)로 전환된 경우에 있어서도, 상기한 것과 같이 압박부(42)의 냉각에 드는 시간을 단축할 수 있어, 일련의 테이프 박리 동작이 정체 없이 이루어지는 것을 가능하게 한다.
여기서, 본 발명에 따른 테이프 박리 장치는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 또한 첨부 도면에 도시되어 있는 테이프 박리 장치(1)의 각 구성의 크기나 형상 등에 관해서도 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절하게 변경 가능하다.
예컨대, 도 4에 도시하는 테이프 박리 장치(1A)는, 도 1에 도시하는 테이프 박리 장치(1)의 박리 테이프 점착 수단(4)의 구성의 일부를 변경한 박리 테이프 점착 수단(4A)을 갖추는 장치이다. 박리 테이프 점착 수단(4)과 박리 테이프 점착 수단(4A)의 구성의 차이 이외에 것에 관해서는 테이프 박리 장치(1)와 테이프 박리 장치(1A)는 같은 식으로 구성되어 있다.
도 4에 도시하는 박리 테이프 점착 수단(4A)은, 보호 테이프(T2)에 띠 형상의 박리 테이프(T3)를 점착하는 역할을 한다. 박리 테이프 점착 수단(4A)에 있어서, 압박부(42)를 가열하는 가열 수단(44A)은, 압박부(42)를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 히터부(440)와, 한 쌍의 히터부(440)가 압박부(42)를 사이에 두도록 한 쌍의 히터부(440)를 이동시키는 가열 수단 이동 수단(441)을 구비하고, 냉각 수단(45A)은, 압박부(42)를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 냉각 핀(451)과, 한 쌍의 냉각 핀(451)이 압박부(42)를 사이에 두도록 한 쌍의 냉각 핀(451)을 이동시키는 냉각 수단 이동 수단(452)을 구비하고 있다. 이 때, 도 4 및 도 5에 있어서, 가열 수단 이동 수단(441) 및 냉각 수단 이동 수단(452)에 관해서는 모식적으로 나타내고 있다.
가열 수단 이동 수단(441)은, 도시하는 예에서는, 공기압에 의해 피스톤 로드(441a)를 X축 방향으로 이동시킴으로써 각 히터부(440)를 X축 방향으로 압박부(42)를 사이에 두도록 이동시키는 에어 실린더이지만, 모터에 의해 볼나사를 회동시킴으로써 압박부(42)를 X축 방향으로 이동시키는 볼나사 기구 등이라도 좋다. 마찬가지로, 냉각 수단 이동 수단(452)은, 도시하는 예에서는, 공기압에 의해 피스톤 로드(452a)를 X축 방향으로 이동시킴으로써 각 냉각 핀(451)을 X축 방향으로 압박부(42)를 사이에 두도록 이동시키는 에어 실린더이지만, 모터에 의해 볼나사를 회동시킴으로써 압박부(42)를 X축 방향으로 이동시키는 볼나사 기구 등이라도 좋다. 가열 수단 이동 수단(441) 및 냉각 수단 이동 수단(452)에는 제어 수단(9)이 접속되어 있다.
각 냉각 핀(451)은, 평판이 평행하게 단책형으로 고정된 핀 표면(451a)이, 압박부(42)를 사이에 두고서 X축 방향에 있어서 마주 보도록 배치되어 있다. 각 냉각 핀(451)의 내부에는 전동 팬(451b)이 설치되어 있으며, 전동 팬(451b)의 회전에 의해 만들어진 공기(바람)가 핀 표면(451a)으로 향하여 효율적으로 흐르게 되어 있어, 2개의 냉각 핀(451)의 핀 표면(451a)으로부터 배출되는 공기는, 압박부(42)의 하부, 즉, 박리 테이프(T3)와의 접촉부를 단시간에 균등하게 냉각할 수 있다.
본 발명에 따른 테이프 박리 장치(1A)를 이용하여 웨이퍼(W)로부터 보호 테이프(T2)를 박리하는 경우에는, 도 1에 도시하는 박리 장치(1)를 이용한 경우와 마찬가지로, 다이싱 테이프(T1)를 통해 링 프레임(F)에 지지된 웨이퍼(W)가 유지 테이블(30) 상에서 유지되고, 박리 테이프 공급 수단(40)으로부터 공급된 박리 테이프(T3)가 협지 수단(2)에 의해 협지되어, 압박부(42)가 높이 위치(Z1)에 위치 부여된다. 제어 수단(9)이 가열 수단 이동 수단(441)에 지령을 내어, 가열 수단 이동 수단(441)이, 한 쌍의 히터부(440)를, 압박부(42)를 사이에 두도록 X축 방향으로 이동시켜, 각 히터부(440)를 압박부(42)에 접촉시킨다. 이어서, 한 쌍의 히터부(440)에 소정의 전압이 인가되어 한 쌍의 히터부(440)가 발열하고, 높이 위치(Z1)에 위치 부여된 압박부(42)가 한 쌍의 히터부(440)에 의해서 가열된다. 온도 센서(46)가 압박부(42)의 온도를 계측하여, 압박부(42)의 온도가 미리 설정된 보호 테이프(T2)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q1)에 달하면, 가열 수단 이동 수단(441)이 한 쌍의 히터부(440)를 압박부(42)로부터 이격시키고, 제어 수단(9)으로부터 승강 수단(43)에 대하여 압박부(42)를 하강시킨다는 취지의 지령이 나온다. 또한, 한 쌍의 히터부(440)에 대한 통전이 정지되어, 한 쌍의 히터부(440)의 발열이 멈춘다.
도 1에 도시하는 박리 장치(1)를 이용한 경우와 마찬가지로, 도 4에 도시하는 압박부(42)가 박리 테이프(T3)를 아래쪽으로 밀려 움직이게 하여, 박리 테이프(T3)를 보호 테이프(T2)의 상면(T2a)에 접촉시켜 압박해 간다. 미리 소정의 온도(Q1)까지 가열되어 있는 압박부(42)에 의해, 박리 테이프(T3)의 점착층(T3b)이 최적의 상태로 보호 테이프(T2)의 상면(T2a)에 점착된다. 이어서, 커터(41)가 하강하여 박리 테이프(T3)를 절단한 후, 커터(41) 및 압박부(42)는 +Z 방향으로 상승하여 박리 테이프(T3)에서 높이 위치(Z1)로 후퇴한다.
이동 수단(11)이 유지 테이블(30)을 +X 방향으로 이동시켜, 박리 테이프(T3)에 의해서 웨이퍼(W)로부터 보호 테이프(T2)를 -X 방향 측으로 향해 박리해 간다.
예컨대, 테이프 박리 장치(1A)의 유지 테이블(30) 상에 반송되는 웨이퍼가, 보호 테이프(T2)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)에서, 도 5에 도시하는 보호 테이프(T20)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)로 전환되는 경우는, 다음과 같이 하여 압박부(42)의 온도를 조정한다.
제어 수단(9)으로부터 승강 수단(43)에 대하여, 높이 위치(Z1)로 후퇴한 상태의 압박부(42)를 Z축 방향의 높이 위치(Z2)까지 하강시킨다는 취지의 지령이 나와, 승강 수단(43)이 압박부(42)를 Z축 방향으로 하강시켜, 압박부(42)가 높이 위치(Z2)에 위치 부여된다. 제어 수단(9)이 냉각 수단 이동 수단(452)에 지령을 내어, 냉각 수단 이동 수단(452)이, 한 쌍의 냉각 핀(451)을, 압박부(42)를 사이에 두도록 X축 방향으로 이동시켜, 도 5에 도시한 것과 같이 각 냉각 핀(451)을 압박부(42)에 접촉시킨다.
전동 팬(451b)이 회전하여 바람이 만들어지고, 각 냉각 핀(451)으로부터 압박부(42)에 대하여 바람이 뿜어짐으로써, 압박부(42)는 급속히 균일하게 냉각되어 간다. 한 쌍의 냉각 핀(451)에 의한 압박부(42)의 냉각 중에는, 압박부(42)에 내장되어 있는 온도 센서(46)가 압박부(42)의 온도를 수시로 계측한다. 압박부(42)의 온도가 미리 설정된 보호 테이프(T20)에 대한 박리 테이프(T3)의 적합한 열접착 온도(Q2)까지 내려가면, 냉각 수단 이동 수단(452)이 한 쌍의 냉각 핀(451)을 압박부(42)로부터 이격시켜, 제어 수단(9)으로부터 승강 수단(43)에 대하여 압박부(42)를 하강시킨다는 취지의 지령이 나온다. 또한, 냉각 핀(451)으로부터의 송풍이 정지된다.
승강 수단(43)이 높이 위치(Z2)에 위치하는 압박부(42)를 하강시켜, 압박부(42)가 박리 테이프(T3)를 아래쪽으로 밀어 움직이게 하여, 미리 소정의 온도(Q2)까지 가열되어 있는 압박부(42)에 의해, 박리 테이프(T3)의 점착층(T3b)의 점착성을 최적의 상태로 발현시켜, 박리 테이프(T3)를 웨이퍼(W)의 보호 테이프(T20)의 상면(T20a)에 점착한다. 그 후, 박리 테이프(T3)의 절단 및 박리 테이프(T3)에 의한 보호 테이프(T20)의 박리가 이루어진다.
본 발명에 따른 테이프 박리 장치(1A)는, 테이프 박리 장치(1A)로 반송되는 웨이퍼가, 보호 테이프(T2)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)에서, 보호 테이프(T20)가 점착되어 있는 웨이퍼(W)로 전환된 경우에 있어서도, 상기한 것과 같이 압박부(42)의 냉각에 드는 시간을 단축할 수 있어, 일련의 테이프 박리 동작이 정체 없이 이루어지는 것을 가능하게 한다.
또, 상기한 실시예에서는, 가열 수단으로서 한 쌍의 히터, 냉각 수단으로서 한 쌍의 냉각 노즐 또는 한 쌍의 냉각 핀을 이용한 경우에 관해서 설명했지만, 히터는 한 쌍이 아니라 하나만으로 구성하여도 좋고, 또한 냉각 노즐 그리고 냉각 핀도 한 쌍이 아니라 하나만으로 구성하여도 좋다.
1: 테이프 박리 장치 11: 이동 수단
110: 가동판 111: 가이드 레일
30: 유지 테이블 300: 흡착부
300a: 유지면 301: 프레임
302: 연결 부재 31: 링 프레임 유지부
310: 협지 클램프 311: 승강 수단
311a: 실린더 튜브 311b: 피스톤 로드
2: 협지 수단 20: 한 쌍의 협지판
4: 박리 테이프 점착 수단 40: 박리 테이프 공급 수단
400: 지지 롤러 401: 한 쌍의 구동 롤러
401c: 한 쌍의 구동 롤러의 외주면 41: 커터
41a: 날끝 42: 압박부
42b: 압박부의 바닥면 43: 승강 수단
44: 가열 수단 440: 한 쌍의 히터부
45: 냉각 수단 450: 한 쌍의 냉각 노즐
450a: 분사구 46: 온도 센서
9: 제어 수단 W: 웨이퍼
Wa: 웨이퍼의 한 쪽의 면 Wb: 웨이퍼의 다른 쪽의 면
T1 :다이싱 테이프 T2: 보호 테이프
T2a: 보호 테이프의 노출면 T2b: 보호 테이프의 점착면
T3: 박리 테이프 T3a: 박리 테이프의 기재면
T3b: 박리 테이프의 점착면 T3c: 박리 테이프의 일단
T3d: 박리 테이프의 타단 1A: 테이프 박리 장치
4A: 박리 테이프 점착 수단 44A: 가열 수단
440: 한 쌍의 히터부 441: 가열 수단 이동 수단
45A: 냉각 수단 451: 한 쌍의 냉각 핀
451a: 핀 표면 451b: 전동 팬
452: 냉각 수단 이동 수단 T20: 보호 테이프

Claims (2)

  1. 웨이퍼의 한 쪽의 면에 점착된 보호 테이프에 박리 테이프를 점착하고 이 박리 테이프를 잡아당겨 상기 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 테이프 박리 장치로서,
    웨이퍼의 다른 쪽의 면 측을 유지하는 유지 테이블과,
    상기 유지 테이블에 유지되는 웨이퍼의 상기 보호 테이프의 상면에 압박부로 상기 박리 테이프를 압박하여 점착하는 박리 테이프 점착 수단과, 상기 박리 테이프 점착 수단으로 점착된 상기 박리 테이프의 일단을 협지하는 협지 수단과, 상기 협지 수단과 상기 유지 테이블을 상대적으로 웨이퍼의 외측에서 중심을 향해서 이동시키고 상기 박리 테이프를 잡아당겨 상기 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 이동 수단과, 적어도 상기 압박부의 온도를 제어하는 제어 수단을 구비하고,
    상기 박리 테이프 점착 수단은,
    상기 압박부와, 상기 압박부를 상기 유지 테이블에 접근 또는 이격시키는 승강 수단과, 상기 압박부를 가열하는 가열 수단과, 상기 압박부를 냉각하는 냉각 수단과, 상기 압박부의 온도를 검지하는 온도 센서를 구비하고,
    상기 제어 수단은,
    상기 가열 수단과 상기 냉각 수단을 이용하여 상기 보호 테이프의 품질에 따라서 미리 설정된 접착 온도와 상기 온도 센서가 검지하는 상기 압박부의 온도를 일치시키는 제어를 행하며,
    상기 가열 수단은, 상기 압박부를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 히터부와, 이 한 쌍의 히터부가 상기 압박부를 사이에 두도록 상기 한 쌍의 히터부를 이동시키는 가열 수단 이동 수단을 구비하고,
    상기 냉각 수단은, 상기 압박부를 사이에 두고서 배치되는 적어도 한 쌍의 냉각 핀과, 상기 한 쌍의 냉각 핀이 상기 압박부를 사이에 두도록 상기 한 쌍의 냉각 핀을 이동시키는 냉각 수단 이동 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단은,
    상기 압박부를 가열할 때는, 상기 가열 수단 이동 수단으로 상기 적어도 한 쌍의 히터부를 이동시켜 상기 적어도 한 쌍의 히터부로, 상기 압박부를 사이에 두고서 상기 압박부가 미리 정해진 온도가 될 때까지 가열시키고,
    상기 압박부를 냉각할 때는, 상기 냉각 수단 이동 수단으로 상기 적어도 한 쌍의 상기 냉각 핀을 이동시켜 상기 적어도 한 쌍의 냉각 핀으로, 상기 압박부가 미리 정해진 온도가 될 때까지 냉각시키는 것인 테이프 박리 장치.
  2. 삭제
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