JP2015152576A - 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 93
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 55
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 27
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 19
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
- G01B5/016—Constructional details of contacts
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Abstract
【解決手段】形状測定装置における演算部212は、
スケール部19bから被測定物搭載部Sまでの第1の周波数伝達特性に基づいて、スケール部19bにより検出された移動テーブル3の変位を補正した値を第1の補正値として出力する第1のフィルタ2121aと、
第1の補正値を、先端球17aから先端球変位検出部19aまでの第2の周波数伝達特性に基づいて補正した値を第2の補正値として出力する第2のフィルタ2121bと、
第2の補正値と、先端球変位検出部19aで検出された先端球17aの変位と、を加算して測定値を算出する加算器2121cと、を備える。
【選択図】図1
Description
このような構成の三次元測定装置では、不動の定盤の上に被測定物を配置し、常に被測定物が動かない状態で、倣いプローブにより被測定物の測定が行われている。このような測定装置にあっては、倣いプローブが下端に装着されている移動自在なスライダを前提として、演算部で補正を行っている。しかしながら、被測定物を移動テーブル上に搭載した状態で、倣いプローブにより被測定物を測定する場合に、引用文献1に開示された補正方法を適用すると、適切に補正できないことがあった。
被測定物の搭載が予定された被測定物搭載部を有すると共に、座標軸方向に移動可能な移動テーブルと、
先端側に先端球が設けられたスタイラスを有すると共に、前記移動テーブルの前記被測定物搭載部上に配置された前記被測定物に前記先端球が接触して倣い測定を行う倣いプローブと、
前記倣いプローブにおいて、前記スタイラスの基端側に設けられて前記先端球の変位を検出する先端球変位検出部と、
前記移動テーブルの前記座標軸方向の変位を検出するスケール部と、
前記スケール部で検出された前記移動テーブルの変位と、前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位と、から測定値を算出する演算部と、
を備え、
前記演算部は、
前記スケール部から前記被測定物搭載部までの第1の周波数伝達特性に基づいて、前記スケール部により検出された前記移動テーブルの前記座標軸方向の変位を補正処理し、
前記先端球から前記先端球変位検出部までの第2の周波数伝達特性に基づいて、補正された前記移動テーブルの前記座標軸方向の変位を補正処理する。
前記第1の周波数伝達特性は、前記移動テーブルの座標軸毎に実測値として測定され、
前記第1の周波数伝達特性の前記推定値は、それぞれの前記実測値に基づき周波数伝達関数として算出される。
スタイラスに設けられた先端球が被測定物に接触することにより倣い測定を行う倣いプローブの前記先端球の変位を先端球変位検出部により検出する工程と、
前記被測定物の搭載が予定された被測定物搭載部を有する移動自在な移動テーブルの変位をスケール部で検出する工程と、
前記スケール部から前記被測定物搭載部までの第1の周波数伝達特性に基づいて、前記スケール部により検出された前記移動テーブルの変位を補正した値を第1の補正値として出力する工程と、
前記第1の補正値を、前記先端球から前記先端球変位検出部までの第2の周波数伝達特性に基づいて補正した値を第2の補正値として出力する工程と、
前記第2の補正値と、前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位と、を加算して測定値を算出する工程と、を備える。
前記第1の周波数伝達特性は、前記移動テーブルの座標軸毎に実測値として測定され、
前記第1の周波数伝達特性の前記推定値は、それぞれの前記実測値に基づき周波数伝達関数として算出される。
前記第2の周波数伝達特性に基づいて補正した前記第2の補正値に前記設計値を加算し、
この加算された値と前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位とを加算して測定値を算出する。
図1及び図8に示されるように、形状測定装置100は、三次元測定機1とコンピュータ2とを図示しないケーブルを介して接続されたものである。
(Y軸方向の実測に関して)
1.リニアスケール(不図示)の検出ヘッドを、三次元測定機1のスライダ8の下端に倣いプローブ17に代えて取り付け、このリニアスケールのスケール本体を移動テーブル3の被測定物搭載部Sに据え付ける。このとき、スケール本体は、Y軸方向に延在させる。
2.移動テーブル3をY軸方向に例えば正弦波状に駆動させ、このときの変位を三次元測定機1のY軸スケール部19byとリニアスケールとの両方で実測する。
3. Y軸スケール部19byとリニアスケールとの実測値から求められる周波数伝達特性の実測値を例えば式1で近似することによりY軸方向の推定値Ge1(s)を求める。
同様に、リニアスケール(不図示)の検出ヘッドが三次元測定機1のスライダ8の下端に取り付けられた状態で、リニアスケールのスケール本体を移動テーブル3の被測定物搭載部Sに据え付ける。このとき、スケール本体は、X軸方向に延在させる。次に、コラム2をビーム7に沿ってX軸方向に例えば正弦波状に駆動させ、このときの変位を三次元測定機1のX軸スケール部19bxとリニアスケールとの両方で実測する。そして、X軸スケール部19bxとリニアスケールとの実測値から求められる周波数伝達特性の実測値を例えば式1で近似することによりX軸方向の推定値Ge1(s)を求める。
同様に、リニアスケール(不図示)の検出ヘッドが三次元測定機1のスライダ8の下端に取り付けられた状態で、リニアスケールのスケール本体を移動テーブル3の被測定物搭載部Sに据え付ける。このとき、スケール本体は、Z軸方向に延在させる。次に、スライダ8をZ軸方向に例えば正弦波状に駆動させ、このときの変位を三次元測定機1のZ軸スケール部19bzとリニアスケールとの両方で実測する。そして、Z軸スケール部19bzとリニアスケールとの実測値から求められる周波数伝達特性の実測値を例えば式1で近似することによりZ軸方向の推定値Ge1(s)を求める。
1.図4に示されるように、倣いプローブ17の先端球17aを変位発生機構30の変位面30aに接触させて、所定量だけ押し込んだ状態にしておく。また、変位面30aの変位は変位センサ31で測定する。
2.変位発生機構30により、例えば変位面30aに正弦波状の変位を発生させて、変位センサ31で実測し、このとき、変位面30aに垂直な方向(X軸、Y軸、Z軸方向)の変位を先端球変位検出部19aで実測する。
3. 先端球変位検出部19aと変位センサ31との両方の実測値から求められる周波数伝達特性の実測値を例えば式2で近似することにより推定値Ge2(s)を求める。
次に、実施形態2に係る形状測定装置200について説明する。形状測定装置200の全体構成は、図1に示されたように実施形態1に係る形状測定装置100と同等である。しかしながら、形状測定装置200は、実施形態1に係る演算部212(図2参照)を、演算部222(図5参照)に置換した構成になっている。以下では演算部222について説明する。
S 被測定物搭載部
1 三次元測定機
2 コラム
3 移動テーブル
8 スライダ
17 倣いプローブ
17a 先端球
17b スタイラス
17c スタイラス取付け部
18 XYZ軸駆動制御部
19a 先端球変位検出部
19b スケール部
19bx X軸スケール部
19by Y軸スケール部
19bz Z軸スケール部
100、200 形状測定装置
211 記憶部
212、222 演算部
2121 補正用フィルタ
2121a 第1のフィルタ
2121b 第2のフィルタ
2121c、2121e 加算器
2121d 減算器
Claims (8)
- 被測定物が搭載される被測定物搭載部を有すると共に、座標軸方向に移動可能な移動テーブルと、
先端側に先端球が設けられたスタイラスを有すると共に、前記移動テーブルの前記被測定物搭載部上に配置された前記被測定物に前記先端球が接触して倣い測定を行う倣いプローブと、
前記倣いプローブにおいて、前記スタイラスの基端側に設けられて前記先端球の変位を検出する先端球変位検出部と、
前記移動テーブルの前記座標軸方向の変位を検出するスケール部と、
前記スケール部で検出された前記移動テーブルの変位と、前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位と、から測定値を算出する演算部と、
を備え、
前記演算部は、
前記スケール部から前記被測定物搭載部までの第1の周波数伝達特性に基づいて、前記スケール部により検出された前記移動テーブルの前記座標軸方向の変位を補正処理し、
前記先端球から前記先端球変位検出部までの第2の周波数伝達特性に基づいて、補正された前記移動テーブルの前記座標軸方向の変位を補正処理する、
形状測定装置。 - 前記第1及び第2の周波数伝達特性は、それぞれ推定値である、
請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記移動テーブルは、複数の前記座標軸方向に移動可能であり、
前記第1の周波数伝達特性は、前記移動テーブルの座標軸毎に実測値として測定され、
前記第1の周波数伝達特性の前記推定値は、それぞれの前記実測値に基づき周波数伝達関数として算出される、
請求項2に記載の形状測定装置。 - スタイラスに設けられた先端球が被測定物に接触することにより倣い測定を行う倣いプローブの前記先端球の変位を先端球変位検出部により検出する工程と、
前記被測定物の搭載が予定された被測定物搭載部を有し、座標軸方向に移動自在な移動テーブルの変位をスケール部で検出する工程と、
前記スケール部から前記被測定物搭載部までの第1の周波数伝達特性に基づいて、前記スケール部により検出された前記移動テーブルの変位を補正した値を第1の補正値として出力する工程と、
前記第1の補正値を、前記先端球から前記先端球変位検出部までの第2の周波数伝達特性に基づいて補正した値を第2の補正値として出力する工程と、
前記第2の補正値と、前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位と、を加算して測定値を算出する工程と、を備える、
形状測定誤差の補正方法。 - 前記第1及び第2の周波数伝達特性は、それぞれ推定値である、
請求項4に記載の形状測定誤差の補正方法。 - 前記移動テーブルは、複数の前記座標軸方向に移動可能であり、
前記第1の周波数伝達特性は、前記移動テーブルの座標軸毎に実測値として測定され、
前記第1の周波数伝達特性の前記推定値は、それぞれの前記実測値に基づき周波数伝達関数として算出される、
請求項5に記載の形状測定誤差の補正方法。 - 前記スケール部により検出された前記移動テーブルの変位から、前記被測定物の形状を示す設計値を減算した値を、前記第1の周波数伝達特性に基づいて補正し、
前記第2の周波数伝達特性に基づいて補正した前記第2の補正値に前記設計値を加算し、
この加算された値と前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位とを加算して測定値を算出する、
請求項4〜6のいずれか一項に記載の形状測定誤差の補正方法。 - 前記第2の補正値は、前記先端球からスタイラス取付け部までの第3の周波数伝達特性に基づいて補正した後、その補正値を前記スタイラス取付け部から前記先端球変位検出部までの第4の周波数伝達特性に基づいて補正した値である、
請求項4〜7のいずれか一項に記載の形状測定誤差の補正方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014029802A JP6254451B2 (ja) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
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EP15155229.6A EP2910894B1 (en) | 2014-02-19 | 2015-02-16 | Shape measuring apparatus and shape measurement error correction method |
CN201510087881.XA CN104848826B (zh) | 2014-02-19 | 2015-02-25 | 形状测量设备和形状测量误差校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014029802A JP6254451B2 (ja) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015152576A true JP2015152576A (ja) | 2015-08-24 |
JP6254451B2 JP6254451B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=52595068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014029802A Active JP6254451B2 (ja) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9464877B2 (ja) |
EP (1) | EP2910894B1 (ja) |
JP (1) | JP6254451B2 (ja) |
CN (1) | CN104848826B (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150233692A1 (en) | 2015-08-20 |
CN104848826B (zh) | 2019-02-05 |
JP6254451B2 (ja) | 2017-12-27 |
EP2910894B1 (en) | 2016-04-20 |
EP2910894A1 (en) | 2015-08-26 |
US9464877B2 (en) | 2016-10-11 |
CN104848826A (zh) | 2015-08-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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