JP2015138913A - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015138913A JP2015138913A JP2014010556A JP2014010556A JP2015138913A JP 2015138913 A JP2015138913 A JP 2015138913A JP 2014010556 A JP2014010556 A JP 2014010556A JP 2014010556 A JP2014010556 A JP 2014010556A JP 2015138913 A JP2015138913 A JP 2015138913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- film
- processing chamber
- wafer
- supplying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 415
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 189
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 120
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 953
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 155
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims abstract description 103
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 43
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 101
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 377
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 257
- BGECDVWSWDRFSP-UHFFFAOYSA-N borazine Chemical compound B1NBNBN1 BGECDVWSWDRFSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 68
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 57
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 50
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 50
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 47
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 35
- -1 borazine compound Chemical class 0.000 description 30
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N borane Chemical compound B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 24
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 21
- 230000008859 change Effects 0.000 description 20
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 19
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 19
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 19
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 19
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 17
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 15
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 15
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 13
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 9
- GFBSHDWSMXFWQE-UHFFFAOYSA-N HCDO Natural products CCCCCCCCC(=O)CCCCCCCC=C/CC=C/CCCCC GFBSHDWSMXFWQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 9
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 9
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 8
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 8
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910003697 SiBN Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 6
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 4
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 3
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 239000013110 organic ligand Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 238000006057 reforming reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- MAAKAMQHYNNJEP-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-trimethyl-1,3,5,2$l^{2},4$l^{2},6$l^{2}-triazatriborinane Chemical compound CN1[B]N(C)[B]N(C)[B]1 MAAKAMQHYNNJEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 2
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CFOAUMXQOCBWNJ-UHFFFAOYSA-N [B].[Si] Chemical compound [B].[Si] CFOAUMXQOCBWNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- UORVGPXVDQYIDP-BJUDXGSMSA-N borane Chemical class [10BH3] UORVGPXVDQYIDP-BJUDXGSMSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- RAABOESOVLLHRU-UHFFFAOYSA-N diazene Chemical compound N=N RAABOESOVLLHRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000071 diazene Inorganic materials 0.000 description 2
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 238000006557 surface reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ITWBWJFEJCHKSN-UHFFFAOYSA-N 1,4,7-triazonane Chemical compound C1CNCCNCCN1 ITWBWJFEJCHKSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016455 AlBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017109 AlON Inorganic materials 0.000 description 1
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminium flouride Chemical compound F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003863 HfBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004143 HfON Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015215 MoBN Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019744 NbBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019800 NbF 5 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020055 NbON Inorganic materials 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007991 Si-N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002808 Si–O–Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006294 Si—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004535 TaBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004529 TaF 5 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003071 TaON Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010060 TiBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010282 TiON Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007950 ZrBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007926 ZrCl Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006252 ZrON Inorganic materials 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 150000001638 boron Chemical class 0.000 description 1
- ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N boron tribromide Chemical compound BrB(Br)Br ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- KNMKGOLZNOKQGK-UHFFFAOYSA-N bromoborane Chemical compound BrB KNMKGOLZNOKQGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- UOALEFQKAOQICC-UHFFFAOYSA-N chloroborane Chemical compound ClB UOALEFQKAOQICC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- BVBRZOLXXOIMQG-UHFFFAOYSA-N fluoroborane Chemical compound FB BVBRZOLXXOIMQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J hafnium tetrachloride Chemical compound Cl[Hf](Cl)(Cl)Cl PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- QHEDSQMUHIMDOL-UHFFFAOYSA-J hafnium(4+);tetrafluoride Chemical compound F[Hf](F)(F)F QHEDSQMUHIMDOL-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- GICWIDZXWJGTCI-UHFFFAOYSA-I molybdenum pentachloride Chemical group Cl[Mo](Cl)(Cl)(Cl)Cl GICWIDZXWJGTCI-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- NBJFDNVXVFBQDX-UHFFFAOYSA-I molybdenum pentafluoride Chemical group F[Mo](F)(F)(F)F NBJFDNVXVFBQDX-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- YHBDIEWMOMLKOO-UHFFFAOYSA-I pentachloroniobium Chemical group Cl[Nb](Cl)(Cl)(Cl)Cl YHBDIEWMOMLKOO-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- AOLPZAHRYHXPLR-UHFFFAOYSA-I pentafluoroniobium Chemical group F[Nb](F)(F)(F)F AOLPZAHRYHXPLR-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRGLXIVYESZPLQ-UHFFFAOYSA-I tantalum pentafluoride Chemical compound F[Ta](F)(F)(F)F YRGLXIVYESZPLQ-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- OEIMLTQPLAGXMX-UHFFFAOYSA-I tantalum(v) chloride Chemical compound Cl[Ta](Cl)(Cl)(Cl)Cl OEIMLTQPLAGXMX-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J titanium tetrafluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[F-].[Ti+4] XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000000101 transmission high energy electron diffraction Methods 0.000 description 1
- LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N trichloro(trichlorosilyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABDDAHLAEXNYRC-UHFFFAOYSA-N trichloro(trichlorosilylmethyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C[Si](Cl)(Cl)Cl ABDDAHLAEXNYRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHAHOIWVGZZELU-UHFFFAOYSA-N trichloro(trichlorosilyloxy)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)O[Si](Cl)(Cl)Cl QHAHOIWVGZZELU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- KPGXUAIFQMJJFB-UHFFFAOYSA-H tungsten hexachloride Chemical compound Cl[W](Cl)(Cl)(Cl)(Cl)Cl KPGXUAIFQMJJFB-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H tungsten hexafluoride Chemical compound F[W](F)(F)(F)(F)F NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- DUNKXUFBGCUVQW-UHFFFAOYSA-J zirconium tetrachloride Chemical group Cl[Zr](Cl)(Cl)Cl DUNKXUFBGCUVQW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- OMQSJNWFFJOIMO-UHFFFAOYSA-J zirconium tetrafluoride Chemical group F[Zr](F)(F)F OMQSJNWFFJOIMO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/0228—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition deposition by cyclic CVD, e.g. ALD, ALE, pulsed CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/308—Oxynitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
- C23C16/345—Silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/36—Carbonitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45527—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the ALD cycle, e.g. different flows or temperatures during half-reactions, unusual pulsing sequence, use of precursor mixtures or auxiliary reactants or activations
- C23C16/45531—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the ALD cycle, e.g. different flows or temperatures during half-reactions, unusual pulsing sequence, use of precursor mixtures or auxiliary reactants or activations specially adapted for making ternary or higher compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
- C23C16/45546—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus specially adapted for a substrate stack in the ALD reactor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45557—Pulsed pressure or control pressure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
- C23C16/507—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges using external electrodes, e.g. in tunnel type reactors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/0214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being a silicon oxynitride, e.g. SiON or SiON:H
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02167—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon carbide not containing oxygen, e.g. SiC, SiC:H or silicon carbonitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/0217—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon nitride not containing oxygen, e.g. SixNy or SixByNz
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02211—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound being a silane, e.g. disilane, methylsilane or chlorosilane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
Description
処理室内の基板に対して原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記反応ガスを除去する工程と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
前記反応ガスを除去する工程では、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に繰り返す半導体装置の製造方法が提供される。
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する反応ガス供給系と、
前記処理室内へ不活性ガスを供給する不活性ガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記原料ガスを除去する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記反応ガスを除去する処理と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行い、前記反応ガスを除去する処理では、前記処理室内を減圧排気する処理と、前記処理室内を不活性ガスでパージする処理と、を交互に繰り返すように、前記原料ガス供給系、前記反応ガス供給系、前記不活性ガス供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
処理室内の基板に対して原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記反応ガスを除去する手順と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順をコンピュータに実行させ、
前記反応ガスを除去する手順では、前記処理室内を減圧排気する手順と、前記処理室内を不活性ガスでパージする手順と、を交互に繰り返すプログラムが提供される。
以下、本発明の一実施形態について、図1〜図3を用いて説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、後述するようにガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板上に膜を形成するシーケンス例について、図4を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
処理室201内の基板としてのウエハ200に対して原料ガスとしてHCDSガスを供給する工程と、
処理室201内のHCDSガスを除去する工程と、
処理室201内のウエハ200に対してHCDSガスとは化学構造が異なる反応ガスとしてNH3ガスを供給する工程と、
処理室201内のNH3ガスを除去する工程と、
を非同時に、すなわち、同期させることなく行うサイクルを所定回数(n回)行うことで、ウエハ200上に、SiおよびNを含む膜として、シリコン窒化膜(SiN膜)を形成する。
複数のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)される。その後、図1に示すように、複数のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。
処理室201内の圧力、すなわち、ウエハ200が存在する空間の圧力が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される。なお、図4に示すAPCバルブの「OPEN」「CLOSE」とは、単にAPCバルブ244の開閉状態を示すものであり、その開度を示すものではない。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内のウエハ200が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。また、回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転を開始する。回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転は、少なくとも、ウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
その後、次の2つのステップ、すなわち、ステップ1,2を順次実行する。
(HCDSガス供給)
バルブ243aを開き、ガス供給管232a内にHCDSガスを流す。HCDSガスは、MFC241aにより流量調整され、ガス供給孔250aから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してHCDSガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243gを開き、ガス供給管232g内にN2ガスを流す。N2ガスは、MFC241gにより流量調整され、HCDSガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
第1の層が形成された後、バルブ243aを閉じ、HCDSガスの供給を停止する。そして、処理室201内を減圧排気する工程(以下、バキュームステップともいう)と、処理室201内を不活性ガスとしてのN2ガスでパージする工程(以下、パージステップともいう)と、を交互に所定回数行うことで、処理室201内に残留する未反応もしくは第1の層の形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する。なお、ステップ1における残留ガス除去では、バキュームステップとパージステップとを交互に1回行うようにしてもよいし、複数回行うようにしてもよいし、さらには、パージステップを行うことなくバキュームステップだけを行うようにしてもよいし、バキュームステップを行うことなくパージステップだけを行うようにしてもよい。ここではバキュームステップとパージステップとを交互に1回行う例について説明する。バキュームステップ、パージステップの処理手順や処理条件については、後述するステップ2において詳しく説明する。
(NH3ガス供給)
ステップ1が終了した後、処理室201内のウエハ200に対し、熱で活性化させたNH3ガス、または、プラズマで活性化させたNH3ガスを供給する。
第2の層が形成された後、バルブ243bを閉じ、NH3ガスの供給を停止する。また、NH3ガスをプラズマで活性化させて供給していた場合、棒状電極269,270間への高周波電力の印加を停止する。そして、処理室201内を減圧排気する工程(バキュームステップ)と、処理室201内を不活性ガスとしてのN2ガスでパージする工程(パージステップ)と、を交互に繰り返すことで、処理室201内に残留する未反応もしくは第2の層の形成に寄与した後のNH3ガス等を処理室201内から排除する。バキュームステップとパージステップとを交互に繰り返すこと、つまり、複数回行うことを、本明細書では、サイクルパージ、或いは、サイクリックパージとも称する。
なお、処理室201内へのN2ガスの供給を停止した状態とは、処理室201内へのN2ガスの供給を完全に停止した状態の他、処理室201内へN2ガスを僅かな供給流量で供給する状態をも含む。すなわち、バルブ243g〜243jを閉じた状態とは、これら全てのバルブを完全に閉じた状態の他、これらのバルブのうち少なくともいずれかを完全に閉じることなく僅かに開く状態をも含む。
上述したステップ1,2を非同時に行うサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、すなわち、ステップ1,2を交互に1回以上行うことにより、ウエハ200上に、所定組成および所定膜厚のSiN膜を形成することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成されるSiN層の厚さを所望の膜厚よりも小さくし、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
バルブ243g〜243jを開き、ガス供給管232g〜232jのそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、反応管203の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態で、反応管203の下端から反応管203の外部に搬出される(ボートアンロード)。処理済のウエハ200は、ボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
本実施形態における成膜シーケンスは、図4に示す態様に限定されず、以下に示す変形例のように変更することができる。
O2ガスを供給するステップを、図5(a)に示すタイミングで行うようにしてもよい。すなわち、HCDSガス、NH3ガスを用いて形成したSiN層に対し、熱で活性化させたO2ガス、または、プラズマで活性化させたO2ガスを供給するステップ3を行うようにしてもよい。
O2ガスを供給するステップを、図5(b)に示すタイミングで行ってもよい。すなわち、NH3ガスの供給とO2ガスの供給とを同期させてもよい。つまり、NH3ガスとO2ガスとを同時に供給してもよい。また、NH3ガスの除去とO2ガスの除去とを同期させてもよい。本変形例におけるO2ガスを供給するステップは、変形例1におけるO2ガスを供給するステップと同様の処理手順、処理条件により行うことができる。
C3H6ガスを供給するステップを、図6に示すタイミングで行ってもよい。すなわち、C3H6ガスを供給するステップを、HCDSガスを供給するステップ1よりも後であって、NH3ガスを供給するステップ2よりも先に行うようにしてもよい。
HCDSガスを供給するステップ、C3H6ガスを供給するステップ、NH3ガスを供給するステップ、O2ガスを供給するステップを、図7に示すタイミングで行ってもよい。すなわち、これら4つのステップを非同時に行うサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、ウエハ200上に、Si、O、CおよびNを含む膜として、所定組成および所定膜厚のシリコン酸炭窒化膜(SiOCN膜)を形成するようにしてもよい(変形例4)。
HCDSガスを供給するステップ、C3H6ガスを供給するステップ、BCl3ガスを供給するステップ、NH3ガスを供給するステップを非同時に行うサイクルを所定回数(n回)行うようにしてもよい。すなわち、図8に示す変形例5において、O2ガスの代わりに、BCl3ガスなどのボラジン環骨格非含有の硼素含有ガスを供給するようにしてもよい。本変形例のHCDSガスを供給するステップ、C3H6ガスを供給するステップ、NH3ガスを供給するステップにおける処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスや上述の変形例3と同様とする。
HCDSガスを供給するステップ、BCl3ガスを供給するステップ、NH3ガスを供給するステップを非同時に行うサイクルを所定回数(n回)行うことで、ウエハ200上に、Si、BおよびNを含む膜として、所定組成および所定膜厚のシリコン硼窒化膜(SiBN膜)を形成するようにしてもよい。本変形例の各ステップにおける処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスや上述の変形例6と同様とする。この変形例によれば、図4に示す成膜シーケンスや上述の変形例6と同様の効果を奏する。
HCDSガスを供給するステップ、TMBガスを供給するステップ、NH3ガスを供給するステップを非同時に行うサイクルを所定回数(n回)行うようにしてもよい。すなわち、変形例7において、BCl3ガスの代わりに、TMBガスなどのボラジン環骨格を含むガスを供給するようにしてもよい。本変形例のHCDSガスを供給するステップ、NH3ガスを供給するステップにおける処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスと同様とする。
図4に示す成膜シーケンスや上述の各変形例では、原料ガスとして、HCDSガスの代わりに、例えば、ヘキサクロロジシロキサン(Si2Cl6O、略称:HCDO)ガスなどのシロキサン系原料ガス、すなわち、Si、OおよびClを含み、Si−O結合を有するガスを用いてもよい。すなわち、原料ガスとして、Oソースとしても作用するガスを用いてもよい。ここで、シロキサン(Siloxane)とは、SiとOとを骨格とする化合物で、Si−O−Si結合(シロキサン結合)を持つものの総称である。HCDOガスを供給する際の処理手順や処理条件は、上述のステップ1の処理手順、処理条件と同様とする。図4に示す成膜シーケンスにおいて、原料ガスとしてHCDOガスを用いた場合、ウエハ200上にSiON膜を形成することができる(変形例9)。また、図6に示す変形例3において、原料ガスとしてHCDOガスを用いた場合、ウエハ200上にSiOCN膜を形成することができる(変形例10)。また、変形例6,7,8において、原料ガスとしてHCDOガスを用いた場合、ウエハ200上に、SiBCNO膜や、SiBNO膜を形成することができる(変形例11)。すなわち、原料ガスとして、HCDOガスのようなOソースとしても作用するガスを用いることで、O2ガスのような酸素含有ガスを供給するステップを別途設けることなく、SiON膜やSiOCN膜やSiBCNO膜やSiBNO膜等のOを含む膜を形成することが可能となる。
図4に示す成膜シーケンスや上述の各変形例では、原料ガスとして、HCDSガスの代わりに、例えば、ビス(トリクロロシリル)メタン((SiCl3)2CH2、略称:BTCSM)ガスなどの、Si、CおよびClを含み、Si−C結合を有するガスを用いてもよい。すなわち、原料ガスとして、Cソースとしても作用するガスを用いてもよい。BTCSMガスを供給する際の処理手順や処理条件は、上述のステップ1の処理手順、処理条件と同様とする。図4に示す成膜シーケンスにおいて、原料ガスとしてBTCSMガスを用いた場合、ウエハ200上に、SiCN膜を形成することができる(変形例12)。また、図5(a)に示す変形例1において、原料ガスとしてBTCSMガスを用いた場合、ウエハ200上にSiOCN膜を形成することができる(変形例13)。また、変形例7において、原料ガスとしてBTCSMガスを用いた場合、ウエハ200上にSiBCN膜を形成することができる(変形例14)。すなわち、原料ガスとしてBTCSMガスのようなCソースとしても作用するガスを用いることで、C3H6ガスなどの炭素含有ガスを供給するステップを設けることなく、SiCN膜やSiOCN膜やSiBCN膜等のCを含む膜を形成することが可能となる。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
まず、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、ウエハの表面積と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1a,2aを作成した。処理室内からHCDSガス、NH3ガスを除去する際は、サイクルパージを行わず、バキュームステップとパージステップとを交互に1回行った。成膜時のウエハの温度は、600〜650℃の範囲内の所定の温度とした。サンプル2aのウエハとしては、その表面に微細な凹凸構造が形成され、サンプル1aのウエハの表面積の23倍の表面積を有するウエハを用いた。その他の処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理手順、処理条件と同様とした。そして、サンプル1a,2aのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
次に、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、HCDSガスの供給流量と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1b〜3bを作成した。処理室内からHCDSガス、NH3ガスを除去する際は、サイクルパージを行わず、バキュームステップとパージステップとを交互に1回行った。サンプル1b〜3bを作成する際は、HCDSガスの供給流量を、それぞれ、60sccm、120sccm、180sccmとした。その他の処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理条件と同様とした。そして、サンプル1b〜3bのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
次に、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、NH3ガスの供給流量と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1c〜3cを作成した。処理室内からHCDSガス、NH3ガスを除去する際は、サイクルパージを行わず、バキュームステップとパージステップとを交互に1回行った。サンプル1c〜3cを作成する際は、NH3ガスの供給流量を、それぞれ、800sccm、1600sccm、2000sccmとした。その他の処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理条件と同様とした。そして、サンプル1c〜3cのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
次に、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、処理室内からの残留ガスの除去方法と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1d〜3dを作成した。サンプル1dを作成する際は、バキュームステップを1回行うことで、すなわち、パージステップを行うことなく、処理室内からHCDSガス、NH3ガスをそれぞれ除去した。サンプル2dを作成する際は、パージステップを1回行うことで、すなわち、バキュームステップを行うことなく、処理室内からHCDSガス、NH3ガスをそれぞれ除去した。サンプル3dを形成する際は、サイクルパージを行うことで、処理室内からHCDSガス、NH3ガスをそれぞれ除去した。その他の処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理手順、処理条件と同様とした。そして、サンプル1d〜3dのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
次に、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、残留ガスを除去する際のパージステップでのN2ガスの供給流量と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1e〜3eを作成した。サンプル1e〜3eを作成する際は、サイクルパージを行うことで処理室内からHCDSガス、NH3ガスをそれぞれ除去し、また、HCDSガス、NH3ガスを除去する際のパージステップにおけるN2ガスの供給流量を、それぞれ、1.5slm、6slm、12slmとした。その他の処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理手順、処理条件と同様とした。そして、サンプル1e〜3eのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
次に、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、残留ガスを除去する際のバキュームステップとパージステップとを交互に繰り返す回数(サイクルパージの繰り返し回数)と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1f〜6fを作成した。サンプル1fを作成する際は、サイクルパージを行わず、バキュームステップとパージステップとを交互に1回行うことで処理室内からHCDSガス、NH3ガスをそれぞれ除去した。サンプル2f〜6fを作成する際は、サイクルパージを行うことで処理室内からHCDSガス、NH3ガスをそれぞれ除去し、バキュームステップとパージステップとを交互に繰り返す回数を、それぞれ、2回、3回、4回、8回、16回とした。その他の処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理手順、処理条件と同様とした。そして、サンプル1f〜6fのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
次に、SiN膜のウエハ面内膜厚均一性と、NH3ガスを除去する際のサイクルパージの繰り返し回数に対するHCDSガスを除去する際のサイクルパージの繰り返し回数の比率と、の関係について評価した。ここでは、上述の基板処理装置を用い、ウエハに対してHCDSガスを供給するステップと、ウエハに対してNH3ガスを供給するステップと、を交互に所定回数行う成膜シーケンスにより、サンプル1g,2gを作成した。サンプル1gを作成する際は、バキュームステップとパージステップとを交互に2回繰り返すことで処理室内からHCDSガスを除去し、バキュームステップとパージステップとを交互に16回繰り返すことで処理室内からNH3ガスを除去した。つまり、NH3ガスを除去する際のサイクルパージの繰り返し回数に対するHCDSガスを除去する際のサイクルパージの繰り返し回数の比率を2/16=1/8とした。サンプル2gを作成する際は、バキュームステップとパージステップとを交互に16回繰り返すことで処理室内からHCDSガスを除去し、バキュームステップとパージステップとを交互に16回繰り返すことで処理室内からNH3ガスを除去した。つまり、NH3ガスを除去する際のサイクルパージの繰り返し回数に対するHCDSガスを除去する際のサイクルパージの繰り返し回数の比率を16/16=1とした。その他の処理手順、処理条件は、図4に示す成膜シーケンスの処理手順、処理条件と同様とした。そして、サンプル1g,2gのSiN膜のウエハ面内膜厚均一性を測定した。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
処理室内の基板に対して原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記反応ガスを除去する工程と、
を非同時に(同期させることなく)行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
前記反応ガスを除去する工程では、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に繰り返す半導体装置の製造方法、および、基板処理方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスを除去する工程では、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に所定回数行う(もしくは繰り返す)。
付記2に記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガスを除去する工程において前記処理室内を不活性ガスでパージする際の不活性ガスの供給流量を、前記原料ガスを除去する工程において前記処理室内を不活性ガスでパージする際の不活性ガスの供給流量よりも大きくする。
付記2または3に記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガスを除去する工程において、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に繰り返す回数を、前記原料ガスを除去する工程において、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に行う回数よりも多くする。
付記1乃至4のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガスを除去する工程における前記処理室内の単位時間当たりの圧力変化量を、前記原料ガスを除去する工程における前記処理室内の単位時間当たりの圧力変化量よりも大きくする。
付記1乃至5のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記サイクルは、さらに、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスおよび前記反応ガス(第1の反応ガス)とは化学構造が異なる第2の反応ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記第2の反応ガスを除去する工程と、
を行うことを含む。
本発明の他の態様によれば、
処理室内の基板に対して原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる第1の反応ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記第1の反応ガスを除去する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスおよび前記第1の反応ガスとは化学構造が異なる第2の反応ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記第2の反応ガスを除去する工程と、
を少なくとも前記原料ガスを供給する工程、前記原料ガスを除去する工程、前記第1の反応ガスを供給する工程および前記第1の反応ガスを除去する工程を同期させることなく行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
前記第1の反応ガスを除去する工程では、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に繰り返す半導体装置の製造方法、および、基板処理方法が提供される。
付記7に記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスを除去する工程および前記第2の反応ガスを除去する工程では、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に所定回数行う(もしくは繰り返す)。
付記8に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の反応ガスを除去する工程において前記処理室内を不活性ガスでパージする際の不活性ガスの流量を、前記原料ガスを除去する工程および前記第2の反応ガスを除去する工程において前記処理室内を不活性ガスでパージする際の不活性ガスの流量よりも大きくする。
付記8または9に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の反応ガスを除去する工程において、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に繰り返す回数を、前記原料ガスを除去する工程および前記第2の反応ガスを除去する工程において、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に行う回数よりも多くする。
付記7乃至10のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の反応ガスを除去する工程における前記処理室内の単位時間当たりの圧力変化量を、前記原料ガスを除去する工程および前記第2の反応ガスを除去する工程における前記処理室内の単位時間当たりの圧力変化量よりも大きくする。
付記7乃至11のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記原料ガスを供給する工程、前記原料ガスを除去する工程、前記第1の反応ガスを供給する工程、前記第1の反応ガスを除去する工程、前記第2の反応ガスを供給する工程および前記第2の反応ガスを除去する工程を非同期とする。
付記7乃至11のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の反応ガスを供給する工程と前記第2の反応ガスを供給する工程とを同期させ、前記第1の反応ガスを除去する工程と前記第2の反応ガスを除去する工程とを同期させる。
付記1乃至13のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガス(前記第1の反応ガス)を除去する工程は、前記反応ガス(前記第1の反応ガス)を供給する工程の後であって前記原料ガスを供給する工程の前に行われる。
付記1乃至14のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガス(前記第1の反応ガス)は窒素含有ガス(窒化ガス)を含む。
付記1乃至15のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガス(前記第1の反応ガス)は窒化水素系ガスを含む。
付記1乃至16のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記反応ガス(前記第1の反応ガス)はアンモニアガス、ヒドラジンガスおよびジアゼンガスからなる群より選択される少なくとも1つを含む。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する反応ガス供給系と、
前記処理室内へ不活性ガスを供給する不活性ガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記原料ガスを除去する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記反応ガスを除去する処理と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行い、前記反応ガスを除去する処理では、前記処理室内を減圧排気する処理と、前記処理室内を不活性ガスでパージする処理と、を交互に繰り返すように、前記原料ガス供給系、前記反応ガス供給系、前記不活性ガス供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ前記原料ガスとは化学構造が異なる第1の反応ガスを供給する第1反応ガス供給系と、
前記処理室内へ前記原料ガスおよび前記第1の反応ガスとは化学構造が異なる第2の反応ガスを供給する第2反応ガス供給系と、
前記処理室内へ不活性ガスを供給する不活性ガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記原料ガスを除去する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記第1の反応ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記第1の反応ガスを除去する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記第2の反応ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記第2の反応ガスを除去する処理と、を少なくとも前記原料ガスを供給する処理、前記原料ガスを除去する処理、前記第1の反応ガスを供給する処理および前記第1の反応ガスを除去する処理を同期させることなく行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行い、前記第1の反応ガスを除去する処理では、前記処理室内を減圧排気する処理と、前記処理室内を不活性ガスでパージする処理と、を交互に繰り返すように、前記原料ガス供給系、前記第1反応ガス供給系、前記第2反応ガス供給系、前記不活性ガス供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記反応ガスを除去する手順と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順をコンピュータに実行させ、
前記反応ガスを除去する手順では、前記処理室内を減圧排気する手順と、前記処理室内を不活性ガスでパージする手順と、を交互に繰り返すプログラム、および、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる第1の反応ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記第1の反応ガスを除去する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスおよび前記第1の反応ガスとは化学構造が異なる第2の反応ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記第2の反応ガスを除去する手順と、
を少なくとも前記原料ガスを供給する手順、前記原料ガスを除去する手順、前記第1の反応ガスを供給する手順および前記第1の反応ガスを除去する手順を同期させることなく行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順をコンピュータに実行させ、
前記第1の反応ガスを除去する手順では、前記処理室内を減圧排気する手順と、前記処理室内を不活性ガスでパージする手順と、を交互に繰り返すプログラム、および、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
200 ウエハ
201 処理室
202 処理炉
203 反応管
207 ヒータ
231 排気管
232a〜232j ガス供給管
Claims (5)
- 処理室内の基板に対して原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記反応ガスを除去する工程と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有し、
前記反応ガスを除去する工程では、前記処理室内を減圧排気する工程と、前記処理室内を不活性ガスでパージする工程と、を交互に繰り返す半導体装置の製造方法。 - 前記反応ガスを除去する工程は、前記反応ガスを供給する工程の後であって前記原料ガスを供給する工程の前に行われる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記反応ガスは窒素含有ガスを含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する反応ガス供給系と、
前記処理室内へ不活性ガスを供給する不活性ガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記原料ガスを除去する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記反応ガスを除去する処理と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行い、前記反応ガスを除去する処理では、前記処理室内を減圧排気する処理と、前記処理室内を不活性ガスでパージする処理と、を交互に繰り返すように、前記原料ガス供給系、前記反応ガス供給系、前記不活性ガス供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 処理室内の基板に対して原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記原料ガスを除去する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスとは化学構造が異なる反応ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記反応ガスを除去する手順と、
を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順をコンピュータに実行させ、
前記反応ガスを除去する手順では、前記処理室内を減圧排気する手順と、前記処理室内を不活性ガスでパージする手順と、を交互に繰り返すプログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014010556A JP5852147B2 (ja) | 2014-01-23 | 2014-01-23 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
KR1020150006648A KR101661104B1 (ko) | 2014-01-23 | 2015-01-14 | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 기록 매체 |
CN201510018491.7A CN104805414B (zh) | 2014-01-23 | 2015-01-14 | 半导体器件的制造方法及衬底处理装置 |
US14/601,634 US9601326B2 (en) | 2014-01-23 | 2015-01-21 | Method of manufacturing semiconductor device, including film having uniform thickness |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014010556A JP5852147B2 (ja) | 2014-01-23 | 2014-01-23 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015138913A true JP2015138913A (ja) | 2015-07-30 |
JP2015138913A5 JP2015138913A5 (ja) | 2015-09-10 |
JP5852147B2 JP5852147B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=53545425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014010556A Active JP5852147B2 (ja) | 2014-01-23 | 2014-01-23 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9601326B2 (ja) |
JP (1) | JP5852147B2 (ja) |
KR (1) | KR101661104B1 (ja) |
CN (1) | CN104805414B (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017212546A1 (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、炉口部および半導体装置の製造方法並びにプログラム |
JP2018046129A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP2018081956A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | ガスインジェクタ、及び縦型熱処理装置 |
JP2019195106A (ja) * | 2019-08-02 | 2019-11-07 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP2020025131A (ja) * | 2019-11-08 | 2020-02-13 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置および半導体装置の製造方法並びにプログラム |
CN114250447A (zh) * | 2020-09-23 | 2022-03-29 | 株式会社国际电气 | 半导体装置的制造方法、基板处理装置和记录介质 |
JP7405572B2 (ja) | 2018-11-26 | 2023-12-26 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 酸窒化膜を形成する方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102454894B1 (ko) * | 2015-11-06 | 2022-10-14 | 삼성전자주식회사 | 물질막, 이를 포함하는 반도체 소자, 및 이들의 제조 방법 |
CN105506581B (zh) * | 2015-12-15 | 2019-03-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种应用原子层沉积技术制备薄膜的实现方法 |
JP6602699B2 (ja) * | 2016-03-14 | 2019-11-06 | 株式会社Kokusai Electric | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
US10312137B2 (en) * | 2016-06-07 | 2019-06-04 | Applied Materials, Inc. | Hardmask layer for 3D NAND staircase structure in semiconductor applications |
JP6814057B2 (ja) * | 2017-01-27 | 2021-01-13 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP6602332B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2019-11-06 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
US10515796B2 (en) * | 2017-11-21 | 2019-12-24 | Applied Materials, Inc. | Dry etch rate reduction of silicon nitride films |
JP6789257B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2020-11-25 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP7113670B2 (ja) * | 2018-06-08 | 2022-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | Ald成膜方法およびald成膜装置 |
KR102414102B1 (ko) * | 2018-11-08 | 2022-06-30 | 주식회사 원익아이피에스 | 박막 증착 방법 |
JP6966499B2 (ja) * | 2019-03-06 | 2021-11-17 | Ckd株式会社 | ガス供給ユニット及びガス供給方法 |
CN111900075A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-11-06 | 中国科学院微电子研究所 | 一种氮化硅膜及其沉积方法、半导体器件 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3872952B2 (ja) | 2000-10-27 | 2007-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び熱処理方法 |
US20060182885A1 (en) * | 2005-02-14 | 2006-08-17 | Xinjian Lei | Preparation of metal silicon nitride films via cyclic deposition |
KR100956210B1 (ko) | 2007-06-19 | 2010-05-04 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | 금속 실리콘 질화물 박막의 플라즈마 강화 사이클릭증착방법 |
JP2009059889A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Elpida Memory Inc | キャパシタ及びその製造方法 |
JP2010539730A (ja) | 2007-09-18 | 2010-12-16 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | シリコン含有膜を形成する方法 |
US9297072B2 (en) * | 2008-12-01 | 2016-03-29 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
US8703625B2 (en) * | 2010-02-04 | 2014-04-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Methods to prepare silicon-containing films |
JP2012023221A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法 |
JP5722595B2 (ja) * | 2010-11-11 | 2015-05-20 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
JP2013077805A (ja) | 2011-09-16 | 2013-04-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
US8993072B2 (en) * | 2011-09-27 | 2015-03-31 | Air Products And Chemicals, Inc. | Halogenated organoaminosilane precursors and methods for depositing films comprising same |
-
2014
- 2014-01-23 JP JP2014010556A patent/JP5852147B2/ja active Active
-
2015
- 2015-01-14 KR KR1020150006648A patent/KR101661104B1/ko active IP Right Grant
- 2015-01-14 CN CN201510018491.7A patent/CN104805414B/zh active Active
- 2015-01-21 US US14/601,634 patent/US9601326B2/en active Active
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017212546A1 (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、炉口部および半導体装置の製造方法並びにプログラム |
JPWO2017212546A1 (ja) * | 2016-06-07 | 2019-02-28 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、炉口部および半導体装置の製造方法並びにプログラム |
US10640872B2 (en) | 2016-06-07 | 2020-05-05 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
US11365482B2 (en) | 2016-06-07 | 2022-06-21 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
JP2018046129A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP2018081956A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | ガスインジェクタ、及び縦型熱処理装置 |
JP7405572B2 (ja) | 2018-11-26 | 2023-12-26 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 酸窒化膜を形成する方法 |
JP2019195106A (ja) * | 2019-08-02 | 2019-11-07 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP2020025131A (ja) * | 2019-11-08 | 2020-02-13 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置および半導体装置の製造方法並びにプログラム |
CN114250447A (zh) * | 2020-09-23 | 2022-03-29 | 株式会社国际电气 | 半导体装置的制造方法、基板处理装置和记录介质 |
JP2022052053A (ja) * | 2020-09-23 | 2022-04-04 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、プログラム、基板処理装置および基板処理方法 |
JP7307038B2 (ja) | 2020-09-23 | 2023-07-11 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、プログラム、基板処理装置および基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150088185A (ko) | 2015-07-31 |
KR101661104B1 (ko) | 2016-09-29 |
US9601326B2 (en) | 2017-03-21 |
US20150206736A1 (en) | 2015-07-23 |
CN104805414B (zh) | 2017-06-30 |
CN104805414A (zh) | 2015-07-29 |
JP5852147B2 (ja) | 2016-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5852147B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 | |
JP6247095B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
US9691606B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium | |
JP5852151B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 | |
JP5775947B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP5847566B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6230809B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP5886381B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 | |
JP6086934B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
KR101676558B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 프로그램 | |
JP6192147B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6490374B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP5886366B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 | |
JP2014038923A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2016072587A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6254848B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2015103729A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6339236B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6654232B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
WO2016038744A1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5852147 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |