JP2015130537A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
えた半導体装置に関する。
ischarge、以下、「ESD」と呼ぶ。)による半導体素子、電極などの破壊があ
る。そこで、ESDによる集積回路の破壊防止対策として、端子と集積回路との間に保護
回路を挿入することが行われている。保護回路は、ESD現象時に発生するサージもしく
はスパイクなどと呼ばれる定格を超えた過大な電圧や電流(以下、「サージ」という。)
が集積回路に供給されることを防ぐための回路である。保護回路に用いられる代表的な素
子には、抵抗素子、ダイオード、容量素子がある。
このダイオードを保護回路の素子として用いることが記載されている。特許文献1では、
ポリシリコン膜に横方向にPN接合を形成することにより得られる横方向ダイオードが、
高周波入出力信号線と外部供給電源VDDとの間に挿入されている。特許文献2では、半
導体層でなるPINダイオードが保護素子として用いられている。このPINダイオード
のI層と対向して浮遊電極を設けることで、過大な電流が保護回路素子に流れることでゲ
ート絶縁膜が破壊され、電気的に貫通したときに、PINダイオードのP層(またはN層
)と浮遊電極とが短絡する構造になっている。
配線を有し、保護回路は端子電極と集積回路の間に設けられ、端子電極と、保護回路と、
集積回路を、配線を分岐することなく接続することにより、集積回路に与えるサージの影
響を低減させることを要旨とする。
配線を有し、端子電極と集積回路の間に配線を分岐することなく保護回路を設け、保護回
路を効果的に機能させて集積回路に与えるサージの影響を低減させることを要旨とする。
配線を有し、保護回路は端子電極と集積回路の間に設けられ、端子電極と、保護回路と、
集積回路を、配線を分岐することなく接続し、端子電極に入力された信号に応じて保護回
路が制御される半導体装置である。
きる。
二の配線と、保護回路と、集積回路を有し、第一の端子電極は、第一の配線を介して集積
回路の一部(第一の領域)に電気的に接続し、第二の端子電極は、第二の配線を介して集
積回路の他の一部(第二の領域)に電気的に接続し、第一の端子電極と集積回路の間に位
置する第一の配線の少なくとも一部が、分岐することなく保護回路の一部(第一の領域)
に電気的に接続し、第二の端子電極と集積回路の間に位置する第二の配線の少なくとも一
部が、分岐することなく保護回路の他の一部(第二の領域)に電気的に接続し、第一の配
線と第二の配線の電位差に応じて保護回路が制御される半導体装置である。
できる。
む半導体膜を有する構成とすることができる。
二の配線と、第三の配線と、保護回路と、集積回路を有し、第一の端子電極は、第一の配
線を介して集積回路の一部(第一の領域)に電気的に接続し、第二の端子電極は、第二の
配線を介して集積回路の他の一部(第二の領域)に電気的に接続し、第三の配線は第二の
配線と電気的に接続し、第一の端子電極と第三の配線は絶縁膜を間に挟んで重なり、第一
の端子電極と集積回路の間に位置する第一の配線の少なくとも一部が、分岐することなく
保護回路の一部(第一の領域)に電気的に接続し、第二の端子電極と集積回路の間に位置
する第二の配線の少なくとも一部が、分岐することなく保護回路の他の一部(第二の領域
)に電気的に接続し、第一の配線と第二の配線の電位差に応じて保護回路が制御される半
導体装置である。
低減することができる。
可能であり、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなく、その形態および詳細を
様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は実施形
態および実施例の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、異なる図面間で同
じ参照番号を付した要素は、同じ要素を示している。そのため、以下の説明において、こ
のような要素について、重複する説明を省略している。
次に、本発明の実施の一形態について図1(A)及び図1(B)を用いて説明する。図1
(A)は、複数の半導体素子を含む集積回路301、端子電極302、端子電極303及
び保護回路320の接続関係を示している。端子電極302および端子電極303は、半
導体装置の出力端子および/または入力端子であり、他の半導体装置との接続部である。
例えば、端子電極302、端子電極303は、電源端子、信号出力端子、信号入力端子と
して機能する。
Bの上に設けられると記載した場合、Aは必ずしもBの上に直接接して設けられる必要は
なく、例えば断面視においてAとBと間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。
ここで、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、膜、層、な
ど)であるとする。
て設けられる必要はなく、例えば断面視においてAとBの間に別の対象物が介在する場合
も含むものとする。
01の間に、保護回路320が配線304の一部と接続されている。また、端子電極30
3と集積回路301が配線305で接続され、端子電極303と集積回路301の間に、
保護回路320が配線305の一部と接続されている。つまり、保護回路320が、端子
電極302及び端子電極303と集積回路301の間に、配線304及び配線305を分
岐させることなく設けられているため、端子電極302及び端子電極303に印加された
信号は、集積回路301に到達する前に必ず保護回路320を通過することとなる。
0の上に絶縁膜308を介して保護回路320が形成されている。基板300には、半導
体基板、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、セラミック基板、ステンレス基板、金
属基板、樹脂基板、樹脂フィルム、炭素繊維やガラス繊維の織物に樹脂をしみこませたシ
ート(所謂、プリプレグ)などの基板を用いることができる。ガラス基板には無アルカリ
ガラス基板を用いることが好ましい。無アルカリガラス基板には、例えば、アルミノシリ
ケートガラス基板、アルミノホウケイ酸ガラス基板、バリウムホウケイ酸ガラス基板など
がある。
層、又は積層で形成する。本実施の形態においては、酸化窒化珪素膜を用いる。絶縁膜3
08の膜中にハロゲン元素、例えばフッ素、塩素等を少量添加し、ナトリウム等の可動イ
オンの固定化をさせてもよい。絶縁膜に含ませるハロゲン元素の濃度は、SIMS(二次
イオン質量分析計)を用いた分析により得られる濃度ピークが1×1015cm−3以上
1×1020cm−3以下の範囲内とすることが好ましい。
含む半導体層で構成する横方向ダイオードの例を示している。高抵抗領域322は、例え
ば、真性半導体(I型半導体)で構成することができる。真性半導体は、理想的には、フ
ェルミレベルが禁制帯のほぼ中央に位置する半導体であるが、ここでは、ドナーまたはア
クセプタとなる不純物を意図的に添加して、フェルミレベルが禁制帯の中央に位置するよ
うにした半導体も含む。本実施の形態においては、半導体層にシリコン膜を用いるが、ゲ
ルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化シリコンなど他の半導体で形成することもでき
る。
数の開口307を介して、N型不純物領域323に接続する。配線305は、保護回路3
20を覆う絶縁膜309と絶縁膜310に設けた単数または複数の開口307を介して、
P型不純物領域321に接続する。絶縁膜309と絶縁膜310は、酸化珪素膜、窒化珪
素膜、酸化窒化珪素膜などを用いることができる。
トリウム等の可動イオンの固定化をさせてもよい。絶縁膜に含ませるハロゲン元素の濃度
は、SIMS(二次イオン質量分析計)を用いた分析により得られる濃度ピークが1×1
015cm−3以上1×1020cm−3以下の範囲内とすることが好ましい。
ム、クロム、ニオブ、金、銀、銅、プラチナ等から選択された単体金属を主成分とする金
属膜、合金膜および金属化合物膜などがある。ここでは配線304及び配線305として
、アルミニウム膜の上下をチタン膜で挟む3層構造とする。チタン膜、アルミニウム膜、
チタン膜の積層を用いると低抵抗であり、かつチタン膜で上下を挟まれているため、アル
ミニウム膜に起因するヒロックが発生しにくくなる。
体素子を含む集積回路100、端子電極101、端子電極102及び保護回路120の接
続関係を示している。端子電極101および端子電極102は半導体装置の出力端子およ
び/または入力端子であり、他の半導体装置との接続部である。例えば、端子電極101
、端子電極102は、電源端子、信号出力端子、信号入力端子として機能する。
ける静電場の中にある単位電荷が持つ静電エネルギー(電気的な位置エネルギー)のこと
をいうが、電子回路において、ある一点における電位と基準となる電位(例えば接地電位
)との電位差のことを該ある一点における電位として示すことが多いため、本明細書では
、ある一点における電位と基準となる電位(例えば接地電位)との差を該ある一点におけ
る電位として示した場合において、特に指定する場合を除き、該ある一点における電位を
電圧ともいう。
、サージによって集積回路100が破壊されることを防ぐための回路である。図4では保
護回路120として整流素子であるダイオードを用いた場合を示しており、P型不純物領
域121、高抵抗領域122、N型不純物領域123を含む半導体層で構成する横方向ダ
イオードの例を示している。例えば端子電極101を高電位側の電源端子とし、端子電極
102を低電位側の電源端子として用いる場合、ダイオードのカソードを端子電極101
に接続し、ダイオードのアノードを端子電極102に接続する。このようにすることで、
半導体装置の通常動作時には、保護回路120にはほとんど電流が流れないが、端子電極
102に端子電極101に印加される電圧よりも大きい電圧が印加されると、保護回路1
20は端子電極101と端子電極102を導通させる(短絡させる)。また、端子電極1
01に端子電極102に印加される電圧より大きい電圧が印加された場合においても、一
定以上の電圧(例えば、ダイオードの降伏電圧)が印加されると、保護回路120は端子
電極101と端子電極102を導通させる(短絡させる)。このことにより、集積回路1
00をサージによる破壊から防ぐことができる。
01と保護回路120のN型不純物領域123が、絶縁膜(図示せず。)中に設けた開口
107を介して配線105で接続されている。また、端子電極102と集積回路100が
配線104で接続され、端子電極102と保護回路120のP型不純物領域121が、絶
縁膜(図示せず。)中に設けた開口107を介して配線106で接続されている。つまり
、端子電極101と、集積回路100及び保護回路120は、端子電極101から分岐さ
れた2つの配線でそれぞれ接続されており、端子電極102と、集積回路100及び保護
回路120は、端子電極102から分岐された2つの配線でそれぞれ接続されている。
子電極101と保護回路120は、配線103から分岐した配線105で接続されている
。また、端子電極102と集積回路100が配線104で接続されているが、端子電極1
02と保護回路120は配線104から分岐した配線106で接続されている。
することとなるため、端子に加わったサージは集積回路と保護回路にそれぞれ分かれて供
給されてしまうため、保護回路を充分に機能させることができない。
配線304及び配線305を分岐させることなく保護回路320を設けることにより、端
子電極302もしくは端子電極303に加わったサージが保護回路320を必ず通過する
こととなるため、集積回路301に与えるサージの影響を効率よく低減させることが可能
となる。
、端子電極303、配線304、配線305が同じ導電層で形成されている。このため、
配線305は端子電極302の外側を通ってから集積回路301に接続する必要がある。
半導体装置の平面視において充分な空間(余白)がある場合は問題ないが、高集積化の観
点から効率よく配線を引き回す必要がある。
可能とし、半導体装置の平面視において配線の引き回しを効率的に行い、空間を効率的に
活用する例を、図2を用いて説明する。
積回路301を接続する配線305を、配線305aと配線305bに分離し、他の導電
層で形成した配線306を介して、配線305aと配線305bを電気的に接続させる。
の接続部分の断面構造を示している。配線305aと配線305bを、絶縁膜310に設
けた開口311を介して、他の導電層で形成した配線306と電気的に接続させる。ここ
では配線306を配線305よりも下層に示しているが、配線305よりも上層に位置す
る導電層を用いても良い。
せることが可能となるため、空間を効率的に活用することができる。
子電極303と、集積回路301の間に、配線304及び配線305を分岐させることな
く保護回路320を設けることとなるため、端子電極302もしくは端子電極303に加
わったサージが保護回路320を必ず通過することとなり、集積回路301に与えるサー
ジの影響を効率よく低減させることが可能となる。
ついて、図5及び図6を用いて説明する。
の形態に示す半導体装置の等価回路図を示す。
には様々な寄生抵抗、寄生容量等が存在するため、等価回路にはこれらを考慮した。
及び寄生容量213が接続され、端子電極201と寄生抵抗209との間に集積回路20
5が接続されている。また、端子電極203と保護回路207との間に、寄生抵抗211
及び寄生容量215が接続され、端子電極203と寄生抵抗211との間に集積回路20
5が接続されている。
9及び寄生容量213が接続され、寄生抵抗209と保護回路207との間に集積回路2
05が接続されている。また、端子電極203と保護回路207との間に、寄生抵抗21
1及び寄生容量215が接続され、寄生抵抗211と保護回路207との間に集積回路2
05が接続されている。
に示す。なお、計算はSilvaco社のSmart Spice回路シミュレータを用
いて行った。また、ここでは、端子電極203を接地電位とし、1kVのパルスを端子電
極201に100psec入力した際、集積回路205に印加される電圧を計算した。図
6は、横軸に時間、縦軸に集積回路205に印加される電圧を示す。
電圧が集積回路205に印加されている。端子電極201、端子電極203は集積回路2
05と直接接続しており、端子電極201に加わったサージは集積回路205と保護回路
207にそれぞれ分かれて供給されてしまうため、保護回路207を充分に機能させるこ
とができない。
積回路205に印加される電圧が緩和されていることが分かる。これは、端子電極201
、端子電極203は集積回路205と直接接続せず、寄生抵抗209、寄生抵抗211、
寄生容量213、寄生容量215を介して設けられているため、端子電極201に印加さ
れた電圧は、集積回路205に伝達する前に、寄生抵抗209、寄生容量213を伝達す
るため、これらの寄生抵抗や寄生容量によって時間的な遅延が発生する。このため、集積
回路205に印加される電圧の上昇が緩和される。
率よく低減させることが可能である。
保護回路は、サージが集積回路に供給されることを防ぐための回路であるが、あまりに過
大なサージが瞬間的に加わると、保護回路そのものが破壊される恐れがある。本実施の形
態では、実施の形態1で示した構成に、サージ緩和用の容量を積極的に付加することで、
保護回路320が破壊されることなく、効果的に機能させるための構成を説明する。
3、保護回路320、集積回路301を接続する配線305を、配線305aと配線30
5bに分離し、他の導電層で形成した配線306を介して、配線305aと配線305b
を電気的に接続させている。
容量312の容量値は、配線306と端子電極302の重畳面積と、配線306と端子電
極302の間に位置する絶縁膜の誘電率及び膜厚を調整することで任意の容量値とするこ
とができる。
と配線305bを、絶縁膜310に設けた開口311を介して、他の導電層で形成した配
線306と電気的に接続させる。また、配線306と端子電極302の重畳部分が容量3
12として機能する。
、端子電極に加わったサージを緩和させ、保護回路320を破壊することなく効果的に機
能させることができる。
極303の部分にも必要に応じて容量を形成してもよい。
圧を計算した結果について、図7及び図8を用いて説明する。
215の間に、容量217が保護回路207に並列に接続されている。容量217は、図
3(A)に示す容量312に相当する。
算はSilvaco社のSmart Spice回路シミュレータを用いて行い、端子電
極203を接地電位とし、1kVのパルスを端子電極201に100psec入力した際
の、集積回路205に印加される電圧を計算した。図8は、横軸に時間、縦軸に集積回路
205に印加される電圧を示す。
態1に示す半導体装置と比較して、さらに緩和されていることが分かる。これは、端子電
極201に印加された電圧は、集積回路205に伝達する前に、寄生抵抗209、寄生容
量213と共に、保護回路207に並列に接続された容量217へ伝達するため、これら
の寄生抵抗や寄生容量によって時間的な遅延が発生する。このため、集積回路205に印
加される電圧の上昇が緩和され、保護回路320が破壊されることなく効果的に機能する
ことができる。また、図示していないが、端子電極303にも容量を形成することで、サ
ージを緩和する効果をさらに高めることが期待できる。
であり、過大なサージが瞬間的に加わっても、保護回路の破壊を防ぐことができる。すな
わち、より効果的に集積回路に与えるサージの影響を低減させ、集積回路の破壊を防ぐこ
とができる。
本実施形態では、保護回路を含む半導体装置の具体例として光検出装置について説明する
。まず、図9〜図11を用いて、光検出装置の構成を説明する。図9は、本実施形態の光
検出装置の回路図である。図10は光検出装置のレイアウトを説明する平面図である。図
11は、光検出装置の積層構造を説明する断面図である。
幅回路1302、高電源電位VDDが供給される電源端子1311、低電源電位VSSが
供給される電源端子1312、保護回路1320を有する。光検出装置1300では、電
源端子1312の電位を接地電位GNDとすることもできる。
変換素子として、フォトダイオード1301の代わりに、フォトトランジスタを設けても
よい。増幅回路1302は、フォトダイオード1301の出力を増幅するための回路であ
り、ここでは、カレントミラー回路で構成されている。このカレントミラー回路は、1つ
のトランジスタ1305と、並列に接続された複数のトランジスタ1306とを有する。
トランジスタ1306の数でトランジスタ1305を流れる電流の増幅率を調節すること
ができる。例えば、フォトダイオード1301の出力を100倍にするには、例えば、1
つのトランジスタ1305に対して、99個のトランジスタ1306を並列に接続する。
は、共にNチャネル型トランジスタとする。トランジスタ1305および複数のトランジ
スタ1306の各ソースは、電源端子1312に電気的に接続されている。トランジスタ
1305のドレインは、トランジスタ1305のゲートと、フォトダイオード1301の
アノードに電気的に接続されている。複数のトランジスタ1306の各ドレインは電源端
子1311に電気的に接続されている。複数のトランジスタ1306の各ゲートは、トラ
ンジスタ1305のゲートに電気的に接続されている。なお、トランジスタ1305、1
306を共にPチャネル型トランジスタとすることもできる。
路を設けてもよい。この減衰回路はカレントミラー回路で構成することができる。このよ
うなカレントミラー回路は、トランジスタ1305の数をトランジスタ1306よりも多
くすればよい。例えば、フォトダイオード1301の出力を1/100に減衰するには、
100個の並列接続されたトランジスタ1305に対して、1つのトランジスタ1306
を設ければよい。なお、減衰回路として機能させる場合は、端子1322を設け、ここか
ら出力を取り出せばよい。
11と電源端子1312の間に挿入され、ダイオード1321のカソードが電源端子13
11に電気的に接続され、そのアノードが電源端子1312に電気的に接続されている。
ESDなどにより、電源端子1311および/または電源端子1312に過剰な電圧(サ
ージ)が加わった場合、ダイオード1321により電源端子1311と電源端子1312
が短絡され、増幅回路1302、およびフォトダイオード1301に過剰な電圧が印加さ
れることを防ぐ。
0には、図9に示した増幅回路1302のトランジスタ1305、1306を構成する半
導体膜、フォトダイオード1301を構成する半導体膜(光電変換層)、ダイオード13
21を構成する半導体膜、および光検出装置1300の第1層目乃至第3層目の導電膜が
図示されている。光検出装置1300は、電源端子1311および電源端子1312を構
成する第4層目の導電膜をさらに有する。
ランジスタ1305およびトランジスタ1306のゲート配線(ゲート電極)を構成する
。導電膜1410の下方には、絶縁膜を介して、トランジスタ1305およびトランジス
タ1306を構成する1つの半導体膜が形成されている。この半導体膜と同じ層にダイオ
ード1321を構成する半導体膜が形成されている。
第2層目の導電膜として、4つの導電膜1411乃至導電膜1415が形成されている。
導電膜1411は、トランジスタ1306のドレイン配線、およびダイオード1321の
カソードを構成する。導電膜1412は、トランジスタ1305およびトランジスタ13
06それぞれのソース配線を構成する。導電膜1413はトランジスタ1305のドレイ
ン電極を構成し、導電膜1413によって、トランジスタ1305のゲート電極はドレイ
ン電極に電気的に接続される。導電膜1414は、フォトダイオード1301と増幅回路
1302を電気的に接続するための電極を構成する。なお、図示していないが、導電膜1
412と導電膜1415は、第1層目の導電膜で形成された配線電極を介して電気的に接
続されている。
に電気的に接続されており、このことによりトランジスタ1305、1306の各ゲート
電極(ゲート配線)がフォトダイオード1301のアノードに電気的に接続される。
1450はフォトダイオード1301を構成する。
形成され、この絶縁膜上に第3層目の導電膜として、導電膜1421乃至導電膜1423
が形成されている。導電膜1421は、この絶縁膜に形成された単数または複数の開口1
445において光電変換層1450に電気的に接続される。導電膜1422は、この絶縁
膜に形成された開口1444及び開口1442において、導電膜1415に電気的に接続
される。導電膜1423は、この絶縁膜に形成された開口1441及び開口1443にお
いて、導電膜1411に電気的に接続される。
の導電膜は、電源端子1311および電源端子1312を構成する。本実施形態では、電
源端子1311および電源端子1312は4層構造の導電膜で形成されている。電源端子
1311は、導電膜1423に電気的に接続され、電源端子1312は導電膜1422に
電気的に接続されている。
た各導電膜の電気的な接続を説明するための断面図であり、図10の平面図を特定の切断
線で切断した断面図ではないことを断っておく。図11において、a−b間には、第2層
目、第3層目の導電膜と電源端子1312との電気的な接続構造を主として図示している
。b−c間には、増幅回路1302の断面として、代表的にトランジスタ1306を図示
している。c−d間には、第2層目、第3層目の導電膜と電源端子1311との電気的な
接続構造、ならびに、フォトダイオード1301およびダイオード1321の断面構造を
主として図示している。
基板1500を通過した光1303がフォトダイオード1301に入射すると、フォトダ
イオード1301は光を電気信号に変換する。この電気信号は増幅回路1302で増幅さ
れて、電源端子1311と電源端子1312間を流れる電流として、光検出装置1300
から出力される。本実施形態では、ガラス基板1500の光1303が入射する側に、所
定の波長域の光を選択的に透過させるための着色層(カラーフィルター層)を形成するこ
とができる。着色層としては、例えば、顔料を分散させた樹脂などを用いることができる
。
よび図13の断面図、図18、図19および図20の平面図を用いて、トランジスタ13
05、1306およびダイオード1321の作製方法を説明する。
ましい。無アルカリガラス基板には、例えば、アルミノシリケートガラス基板、アルミノ
ホウケイ酸ガラス基板、バリウムホウケイ酸ガラス基板などがある。ガラス基板1500
の代わりに、石英基板を用いることができる。
では、図12(A)に示すように、下地絶縁膜として窒化酸化シリコン膜1501および
酸化窒化シリコン膜1502でなる2層構造の絶縁膜を形成する。次に、ダイオード13
21、トランジスタ1305、1306の半導体膜を形成するために、厚さ20〜100
nmの半導体膜を下地絶縁膜上に形成する。
リ土類金属が拡散して、トランジスタなどの半導体素子の電気的特性に悪影響を及ぼすの
を防ぐために設ける。下地絶縁膜は、単層構造でも積層構造でもよいが、少なくとも1層
アルカリ金属およびアルカリ土類金属の拡散を防止するためのバリア膜を設けることが望
ましい。本実施形態では、バリア膜として窒化酸化シリコン膜1501を設けている。バ
リア膜としては、窒化酸化シリコン膜などの窒化酸化物膜、および、窒化シリコン膜、窒
化アルミニウム膜などの窒化物膜が好適である。トランジスタ1305、1306を構成
する半導体膜と下地絶縁膜との界面準位密度を低減するために、酸化窒化シリコン膜15
02が形成されている。
窒化シリコン膜1502および厚さ50nmの非晶質シリコン膜1520を、1台のPE
CVD装置で連続して形成する。窒化酸化シリコン膜1501のソースガスはSiH4、
N2O、NH3およびH2である。酸化窒化シリコン膜1502のソースガスはSiH4
およびN2Oである。非晶質シリコン膜1520のソースガスはSiH4およびH2であ
る。ソースガスを変えることで、1つのチャンバー内で3つの膜を連続して形成すること
ができる。
導体膜で形成する。そのため、非晶質半導体膜を結晶化し、結晶性半導体膜を形成する。
半導体膜の結晶化方法には、ランプアニール装置や炉を用いた固相成長方法、レーザ光を
照射して半導体膜を溶融させて結晶化させるレーザ結晶化方法などを用いることができる
。
520を固相成長させて結晶化して、結晶性シリコン膜1521を形成する(図12(A
)、図12(B)参照)。ここでは、600℃以下の加熱温度で、短時間で非晶質シリコ
ン膜1520を固相成長させるため、非晶質シリコン膜1520に金属元素を添加してい
る。以下に、非晶質シリコン膜1520の結晶化方法について具体的に説明する。
酸化膜を形成し、非晶質シリコン膜1520表面の濡れ性を向上させる。次で、重量換算
で10ppmのニッケルを含む酢酸ニッケル溶液を、スピナーで非晶質シリコン膜152
0の表面に塗布する。
形成する。例えば、この非晶質シリコン膜1520を結晶化させるには、例えば、500
℃、1時間の加熱を行い、引き続き550℃、4時間の加熱処理を行えばよい。ニッケル
の触媒的な作用により、短時間、かつ低温で結晶性シリコン膜1521を形成することが
できる。また、ニッケルの触媒的な作用により、結晶粒界に不対結合がすくない結晶性シ
リコン膜1521を形成することができる。シリコンの結晶化を助長する金族元素として
は、Niの他、Fe、Co、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Ptなどがある。
溶液を塗布する方法の他に、金属元素を主成分とする膜を非晶質シリコン膜1520表面
に形成する方法、プラズマドーピング法などにより金属元素を非晶質シリコン膜1520
に添加する方法などがある。
ーザ光を照射する。ここでは、エキシマレーザ光(XeCl:波長308nm)を照射す
る。レーザ光は波長400nm以下のビームが好ましい。このようなレーザ光には、例え
ば、XeClエキシマレーザ光などのエキシマレーザ光、YAGレーザの第2高調波又は
第3高調波などがある。レーザ光を照射する前に、結晶性シリコン膜1521の表面に形
成されている酸化膜を希フッ酸などで除去することが好ましい。
タリングするための処理を行う。ニッケルは非晶質シリコン膜1520の結晶化には有用
であるが、ニッケルが結晶性シリコン膜1521に高濃度に存在していると、トランジス
タ1305、1306のリーク電流を増加させるなど、トランジスタ1305、1306
の電気的特性を低下させる要因になるからである。以下、ゲッタリング処理の一例を説明
する。
コン膜1521表面に厚さ1−10nm程度の酸化膜を形成する。オゾン水の処理の代わ
りに、UV光を照射してもよい。次に、酸化膜を介して、結晶性シリコン膜1521表面
にArを含む非晶質シリコン膜を厚さ10〜400nm程度形成する。この非晶質シリコ
ン膜中のArの濃度は、1×1018atoms/cm3以上1×1022atoms/
cm3以下が好ましい。また、Arの代わりに、他の第18族元素を非晶質シリコン膜に
添加してもよい。
非晶質シリコン膜中にゲッタリングサイトを形成することである。第18族元素の添加に
より歪みが生じる原因は2種類ある。1つは、第18族元素の添加により結晶にダングリ
ングボンドが形成されることによるものであり、もう1つは、結晶格子間に第18族元素
が添加されることによるものである。
呼ぶ。)を形成するには、SiH4、H2およびArをソースガスに用いればよい。Ar
に対するSiH4の流量比(SiH4/Ar)が1/999以上1/9以下とすることが
好ましい。また、プロセス温度は500℃以上1300℃以下が好ましい。ソースガスを
励起させるためのRFパワー密度は、0.0017W/cm2以上0.48W/cm2以
下とすることが好ましい。プロセス圧力は、1.333Pa以上66.65Pa以下が好
ましい。
リコンを用い、スパッタ用ガスにArを用いればよい。Arガスをグロー放電させ、Ar
イオンで単結晶シリコンターゲットをスパッタリングすることで、Arを含んだ非晶質シ
リコン膜を形成することができる。非晶質シリコン膜中のArの濃度は、グロー放電させ
るためのパワー、圧力、温度などにより調節することができる。プロセス圧力は、0.1
Pa以上5Pa以下とすればよい。圧力は低いほど、非晶質シリコン膜中のArの濃度を
高くすることができ、1.5Pa以下が好ましい。プロセス中にガラス基板1500を特
段加熱する必要はなく、プロセス温度を1300℃以下とすることが好ましい。
加熱処理を行う。この加熱処理により、結晶性シリコン膜1521に含まれているNiは
Ar:a−Si膜に析出し、捕獲される。この結果、結晶性シリコン膜1521のNiの
濃度を低下させることができる。加熱処理の完了後、エッチング処理によりAr:a−S
i膜を除去する。このエッチング処理では、酸化膜がエッチングストッパとして機能する
。Ar:a−Si膜を除去した後、結晶性シリコン膜1521の表面の酸化膜を希フッ酸
などで除去する。以上により、Niが低減された結晶性シリコン膜1521が形成される
。
305、1306のしきい値電圧を制御するためである。例えば、アクセプタ元素として
ボロンを用い、結晶性シリコン膜1521に、1×1016〜5×1017atoms/
cm3の濃度でボロンが含まれるよう添加する。
て、結晶性シリコン膜1521をエッチングして、図12(C)に示すように、ダイオー
ド1321を構成する半導体膜1400、ならびに増幅回路1302を構成する半導体膜
1405を島状に形成する。図18に、半導体膜1400および半導体膜1405の平面
配置を示す。
ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化シリコンなど他の半導体膜で形成することが
できる。また、GaAs、InP、SiC、ZnSe、GaN、SiGeなどの化合物半
導体膜、酸化亜鉛(ZnO)、ガリウムを添加した酸化亜鉛(GZO)、酸化スズ(Sn
O)、などの酸化物半導体膜で形成することもできる。
絶縁膜を形成する。ここでは、ゲート絶縁膜として、厚さ30nmの酸化窒化シリコン膜
1503を形成する。この酸化窒化シリコン膜1503は、PECVD法で、ソースガス
にSiH4およびN2Oを用いて形成される。
タンタル膜1525と、厚さ170nmのタングステン膜1526でなる2層構造の導電
膜を形成する。窒化タンタル膜1525とタングステン膜1526はスパッタ法で形成さ
れる。窒化タンタル膜1525とタングステン膜1526の積層膜の代わりに、例えば、
窒化タングステン膜とタングステン膜の積層膜、または窒化モリブデン膜とモリブデン膜
の積層膜を形成することができる。本実施形態では、導電膜1410を不純物添加用のマ
スクに用い、半導体膜1405に自己整合的にソース領域、ドレイン領域、および低濃度
不純物領域を形成するため、上面から見た大きさが上層の導電膜の方が下層の導電膜より
も小さくなるようにする。このような導電膜1410の形成を容易にするため、上層の導
電膜に対して下層の導電膜のエッチング速度が小さいことが望ましい。この点で、窒化タ
ンタル膜1525とタングステン膜1526の積層膜は好ましい。
マスク1527を用いて、2回のエッチング処理を行う。まず、図12(D)に示すよう
に、レジストマスク1527を用いて窒化タンタル膜1525およびタングステン膜15
26をエッチングする。この1回目のエッチングで、窒化タンタル膜1525およびタン
グステン膜1526でなる積層膜の断面の形状は、テーパー状に加工される。このエッチ
ング処理は、例えば、エッチング用ガスにCF4、Cl2およびO2の混合ガスを用い、
ICP(誘導結合型プラズマ)エッチング装置で行うことができる。
ン膜1526を選択的にエッチングする。このエッチング処理は異方性エッチング処理で
あり、例えば、エッチング用ガスにCl2、SF6およびO2の混合ガスを用い、ICP
エッチング装置で行うことができる。この2回のエッチング処理により、第1層目の導電
膜1410が形成される。導電膜1410において、タングステン膜1526の端部は、
窒化タンタル膜1525上面にあり、上面から見た場合、タングステン膜1526の形状
は、窒化タンタル膜1525よりも小さい。図19(B)に、半導体膜1405および導
電膜1410の平面配置図を示す。
高抵抗領域およびP型不純物領域となる領域を覆って、レジストマスク1528を形成す
る。次いで、半導体膜1400および半導体膜1405にドナー元素を添加し、N型の不
純物領域を形成する。ここでは、ドナー元素としてリンを添加する。まず、半導体膜14
05にN型の低濃度不純物領域を形成するため、低ドーズ量、高加速電圧の条件下で、半
導体膜1400および半導体膜1405にリンを添加する。リンのソースガスにはPH3
を用いることができる。この条件下では、導電膜1410の窒化タンタル膜1525およ
びタングステン膜1526が積層している部分のみがマスクとして機能し、導電膜141
0の窒化タンタル膜1525のみで構成されている部分はリンが通過し、半導体膜140
5に低濃度不純物領域1530が形成される。さらに、半導体膜1400にも低濃度不純
物領域1531が形成される。
ド1321のN型不純物領域を形成するため、高ドーズ量、低加速電圧の条件下でリンを
添加する。この条件下では、導電膜1410全体がマスクとして機能し、図13(B)に
示すように、半導体膜1405に、N型高濃度不純物領域1406、低濃度不純物領域1
407およびチャネル形成領域1408が自己整合的に形成される。N型高濃度不純物領
域1406は、ソース領域またはドレイン領域として機能する。また、半導体膜1400
には、PIN接合を構成するN型不純物領域1401が形成される。
体、ならびに半導体膜1400の高抵抗領域およびN型不純物領域となる領域を覆って、
レジストマスク1529を形成する。次いで、半導体膜1400にアクセプタ元素を添加
し、P型の不純物領域を形成する。ここでは、アクセプタ元素としてボロンを添加する。
ボロンのソースガスにはB2H6を用いることができる。高ドーズ量、低加速電圧の条件
下でボロンを添加することで、半導体膜1400にP型不純物領域1402が形成される
。また、図13(A)乃至図13(C)の不純物元素の添加工程でドナー元素およびアク
セプタ元素を添加しなかった領域は、高抵抗領域1403となる。図19(A)は、ダイ
オード1321の平面図である。
界線が平面図において櫛歯状(凹凸状)となるようにしている。このようにすることで、
半導体膜1400の長辺の長さよりも、ダイオード1321の接合長を長くすることがで
きる。
1431、P型不純物領域1402と導電膜1411との接続部を構成する開口1432
も図示されている。
ってガラス基板1500上に第1層目の層間絶縁膜を形成する。本実施形態では、この層
間絶縁膜を3層構造としている。1層目は、厚さ30nmの酸化窒化シリコン膜1504
であり、2層目は厚さ165nmの窒化酸化シリコン膜1505であり、3層目は厚さ6
00nmの酸化窒化シリコン膜1506である。これらの膜は、PECVD装置で形成さ
れる。
する。そして、加熱処理を行い、半導体膜1400および半導体膜1405に添加したリ
ンおよびボロンを活性化する。ここでは、480℃、1時間の加熱処理を行う。この加熱
処理の完了後、PECVD装置で窒化酸化シリコン膜1505、および酸化窒化シリコン
膜1506を形成する。窒化酸化シリコン膜1505のソースガスには、SiH4、N2
O、NH3およびH2を用い、窒化酸化シリコン膜1505中の水素濃度が高くなるよう
にする。酸化窒化シリコン膜1506のソースガスにはSiH4およびN2Oが用いられ
る。酸化窒化シリコン膜1506の形成後、加熱処理を行い、窒化酸化シリコン膜150
5の水素を拡散させ、半導体膜1400および半導体膜1405に含まれる不対結合手を
水素により終端させる。この加熱処理は、500〜1300℃の温度で行うことができる
。
説明する。なお、図14乃至図17の図示の方法は、図11と同様である。
、窒化酸化シリコン膜1505および酸化窒化シリコン膜1506でなる積層膜をエッチ
ングして、コンタクトホールとなる開口を形成する。開口を形成する部分は、導電膜14
11と半導体膜1400のN型不純物領域1401との接続部、導電膜1415と半導体
膜1400のP型不純物領域1402との接続部、導電膜1411と半導体膜1405の
N型高濃度不純物領域1406との接続部、導電膜1412と半導体膜1405のN型高
濃度不純物領域1406との接続部、導電膜1413と導電膜1410の接続部、導電膜
1414と導電膜1410との接続部である。
型不純物領域1401に複数形成され、P型不純物領域1402を導電膜1412に電気
的に接続するために、開口1432がP型不純物領域1402に複数形成されている(図
19(A)参照)。このように、多数の開口1431、1432を形成することにより、
N型不純物領域1401と導電膜1411とのコンタクト抵抗、およびP型不純物領域1
402と導電膜1412とのコンタクト抵抗を小さくすることができる。
を構成する導電膜を形成する。ここでは、スパッタ法で厚さ400nmのチタン膜を形成
する。このチタン膜上にレジストのマスクを形成し、このマスクを用いてチタン膜をエッ
チングして、導電膜1411乃至導電膜1415を形成する(図14(A)参照)。図2
0に、第2層目の導電膜1411乃至導電膜1415の平面図を示す。
導電膜1423は、チタン、チタン合金、チタン化合物、モリブデン、モリブデン合金、
またはモリブデン化合物でなる膜が好ましい。これらの導電性材料でなる膜は耐熱性が高
いこと、シリコン膜との接触によって電蝕されにくいこと、マイグレーションが起こりに
くいことなどの長所があるからである。
1301を構成する光電変換層1450を形成する。ここでは、光電変換層1450とし
て、PECVD装置を用いて非晶質シリコン膜を形成する。また、光電変換層1450に
PIN接合を設けるため、光電変換層1450をP型の導電性を示す層、I型の導電性を
示す層、およびN型の導電性を示す層でなる3層構造とする。なお、光電変換層1450
は、非晶質シリコン膜に限定されるものではなく、例えば、微結晶シリコン膜でもよいし
、単結晶シリコン膜でもよい。
のP型非晶質シリコン膜1451、厚さ400nmのI型非晶質シリコン膜1452、お
よび厚さ80nmのN型非晶質シリコン膜1453を連続して形成する。P型非晶質シリ
コン膜1451のソースガスにSiH4、H2およびB2H6を用いて、ボロンを添加す
る。また、I型非晶質シリコン膜1452のソースガスにSiH4およびH2を用い、ド
ナーおよびアクセプタとなる不純物元素を意図的に添加しない非晶質リコン膜を形成する
。N型非晶質シリコン膜1453のソースガスにSiH4、H2およびPH3を用いて、
リンを添加する。次いで、レジストのマスクを用いて、非晶質シリコン膜1451乃至非
晶質シリコン膜1453でなる積層膜をエッチングして、光電変換層1450を形成する
(図14(A)参照)。
。光検出装置1300が完成した後は、光検出装置1300のサイズに合わせてガラス基
板1500を切断し、1つずつの装置に分割する。ここでは、分割した後の光検出装置1
300の側面を良好にパッシベーションするため、図14(B)に示すように、光検出装
置1300の周囲1541(点線で示す部分)の酸化窒化シリコン膜1506を除去する
。この工程は、エッチング処理で行うことができる。
導電膜1415および光電変換層1450を覆って、第2層目の層間絶縁膜を形成する。
ここでは、図14(C)に示すように、厚さ100nmの窒化酸化シリコン膜1507お
よび厚さ800nmの酸化シリコン膜1508でなる2層の絶縁膜を形成する。
3およびH2を用いて形成する。窒化酸化シリコン膜1507はパッシベーション膜とし
て機能する。窒化酸化シリコン膜1507の代わりに窒化シリコン膜を形成してもよい。
窒化シリコン膜はPECVD装置でソースガスにSiH4、NH3およびH2を用いて形
成することができる。また、酸化シリコン膜1508は、ソースガスに、O2、およびテ
トラエトキシシラン(略称TEOS、化学式Si(OC2H5)4)を用いて、PECV
D装置で形成する。酸化シリコン膜1508の代わりに、PECVD装置で酸化窒化シリ
コン膜を形成してもよい。
508でなる積層膜をエッチングして、開口1441乃至開口1445を形成する(図1
0参照)。それぞれの開口は、一箇所に限らず、複数箇所に分けて設けてもよい。
イオード1321のN型不純物領域1401に対して、分散して形成されている(図10
、図15(A)参照)。開口1442は、導電膜1415と導電膜1422との接続部を
形成する開口であり、ダイオード1321のP型不純物領域1402に対して、分散して
形成されている。開口1443、および開口1444は、増幅回路1302の内部配線(
導電膜1411、および導電膜1415)と、導電膜1422、導電膜1423との電気
的な接続部を形成する。開口1445は、光電変換層1450と導電膜1421との電気
的な接続部を構成する。
成する導電膜を形成する。ここでは、スパッタ法で厚さ200nmのチタン膜を形成する
。このチタン膜上にレジストのマスクを形成し、このマスクを用いてチタン膜をエッチン
グして、導電膜1421乃至導電膜1423を形成する(図15(A)参照)。
300の周囲1542(点線で示す部分)から、絶縁膜(1502乃至1508)を除去
する。この工程は、エッチング処理で行うことができる。このように、集積回路の周囲か
ら絶縁膜を除去するのは、図14(B)の工程で酸化窒化シリコン膜1506を除去した
のと同様に、ガラス基板1500を分割した後の光検出装置1300の側面を良好にパッ
シベーションするためである。
する。窒化酸化シリコン膜1509は、PECVD装置でソースガスにSiH4、N2O
、NH3およびH2を用いて形成する。窒化酸化シリコン膜1509はパッシベーション
膜として機能する。窒化酸化シリコン膜1509によって、3層目の導電膜1421乃至
導電膜1423、および全ての絶縁膜(1501乃至1508)の露出している面が覆わ
れる。したがって、増幅回路1302、フォトダイオード1301および保護回路132
0を含む光検出装置1300は、ガラス基板1500側はバリア層である窒化酸化シリコ
ン膜1501でパッシベーションされ、かつ、電源端子1311および電源端子1312
が形成される側は窒化酸化シリコン膜1509でパッシベーションされている。このよう
な構造により、光検出装置1300に水分または有機物などの不純物の侵入を防ぐことが
できる。
422の電源端子1312との接続部、および導電膜1423の電源端子1311との接
続部に、開口1473および開口1474(図16(B)及び図21参照)を形成する。
集積回路の上面および側面が封止される。封止膜1510の厚さは1μm以上、好ましく
は、1〜30μm程度とする。このように厚く形成するため、封止膜1510は樹脂膜で
形成することが好ましい。ここでは、印刷法により、感光性のエポキシ−フェノール系樹
脂膜を形成することで、電源端子1311および電源端子1312との接続部である開口
1473および開口1474と重なる位置に、開口1471および開口1472(図16
(B)及び図21参照)を有する封止膜1510を形成する。
1は、電源端子1311および電源端子1312の平面配置図を示す。図21には、第3
層目の導電膜1421乃至導電膜1423、封止膜1510に形成された開口1471、
1472、ならびに、窒化酸化シリコン膜1509に形成された開口1473および開口
1474も図示している。
る。まず、1層目の導電膜1461をスクリーン印刷法などの印刷法で形成する(図17
参照)。本実施形態では、ニッケル粒子を含む導電性ペーストを用いて、スクリーン印刷
法により導電膜1461を厚さ15μm程度に形成する。
材料である。このような導電性ペーストを固化することで、導電性樹脂膜が形成される。
よって、導電膜1461は導電性樹脂膜で構成されているため、ハンダとの密着性に乏し
い。そこで、電源端子1311および電源端子1312のハンダとの密着性を高めるため
、導電膜1461の上面にそれぞれ、メタルマスクを用いたスパッタ法で、所定の形状の
導電膜を形成する。ここでは、導電膜1461上に、それぞれ、3層構造の導電膜を形成
する。1層目の導電膜1462は厚さ150nmのチタン膜であり、2層目の導電膜14
63は厚さ750nmのニッケル膜であり、3層目の導電膜1464は厚さ50nmのA
u膜である。以上の工程で、4層構造の電源端子1311および電源端子1312が完成
する。(図11参照。)
板1500を切断し、1つずつの光検出装置1300に分割する。ガラス基板1500の
切断は、ダイシング法、レーザカット法などを用いることができる。ガラス基板1500
を分断する前に、ガラス基板1500の裏面を研磨または研削して、ガラス基板1500
を薄くすることもできる。この工程は、スパッタ法で導電膜1462乃至導電膜1464
を形成する前に行うことが好ましい。ガラス基板1500を薄くしておくことで、ガラス
基板1500を切断するために用いる切削工具の消耗を低減することができる。また、ガ
ラス基板1500を薄くすることで、光検出装置1300を薄くすることができる。例え
ば、0.5mm程度の厚さのガラス基板1500を0.25mm程度に薄くすることがで
きる。ガラス基板1500を薄くする場合、ガラス基板1500の裏面および側面を樹脂
膜で覆い、ガラス基板1500を保護することが好ましい。
することを説明した。本実施形態のように、トランジスタの半導体膜と同じ工程で形成さ
れる半導体膜で保護回路のダイオードを形成することは、工程が複雑にならず好ましい。
本実施形態のように、保護回路のダイオードを機能回路のトランジスタと同時に作製し、
電源端子と集積回路の間に、保護回路を配線を分岐させることなく設けることで、半導体
装置のサージに対する耐性を向上することができる。
実施の形態3では、非晶質半導体膜を結晶化して形成した結晶性半導体膜を用いて、各機
能回路を作製する方法を説明した。本発明の一形態である半導体装置は、絶縁表面上の単
結晶半導体膜を用いて形成することもできる。本実施の形態では、絶縁表面上に単結晶半
導体膜を形成する方法を説明する。
半導体基板から分割された単結晶半導体層を支持する支持基板である。ガラス基板800
には、熱膨張係数が25×10−7/℃以上50×10−7/℃以下(好ましくは、30
×10−7/℃以上40×10−7/℃以下)であり、歪み点が580℃以上680℃以
下(好ましくは、600℃以上680℃以下)である基板を用いることが好ましい。また
、機能回路の汚染を抑えるため、ガラス基板は無アルカリガラス基板が好ましい。無アル
カリガラス基板には、例えば、アルミノシリケートガラス基板、アルミノホウケイ酸ガラ
ス基板、バリウムホウケイ酸ガラス基板などがある。
絶縁体でなる絶縁性基板、金属やステンレスなどの導電体でなる導電性基板、シリコンや
ガリウムヒ素など半導体でなる半導体基板などを用いることができる。
1から分離された単結晶半導体膜をガラス基板800に貼り合わせることで、SOI基板
が作製される。単結晶半導体基板801には、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマ
ニウム、炭化シリコンなどの第14族元素でなる単結晶半導体基板を用いることができる
。また、本実施の形態では、ガラス基板800には、単結晶半導体基板801よりも大き
いサイズの基板が用いられている。
縁膜802は単層構造、積層構造とすることができる。その厚さは5nm以上400nm
以下とすることができる。絶縁膜802を構成する膜には、酸化シリコン、窒化シリコン
、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化ゲルマニウム、窒化ゲルマニウム、酸化窒
化ゲルマニウム、窒化酸化ゲルマニウムなどのシリコンまたはゲルマニウムを組成に含む
絶縁材料でなる膜を用いることができる。また、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化
ハフニウムなどの金属酸化物でなる絶縁膜、窒化アルミニウムなどの金属窒化物でなる絶
縁膜、酸化窒化アルミニウムなどの金属の酸化窒化物でなる絶縁膜、窒化酸化アルミニウ
ムなどの金属の窒化酸化物でなる絶縁膜を用いることもできる。絶縁膜802を構成する
絶縁膜は、CVD法、スパッタ法、単結晶半導体基板801を酸化するまたは窒化するな
どの方法により形成することができる。
とを防止できるような膜を少なくとも1層設けることが好ましい。このような膜には、窒
化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、および窒化酸化アルミニウム
膜などがある。このような膜を含ませることで、絶縁膜802をバリア層として機能させ
ることができる。
nm以下の窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、または窒化酸化
アルミニウム膜で、絶縁膜802を形成することができる。
能の高い絶縁膜で構成する。このような膜は、厚さ5nm乃至200nmの窒化シリコン
膜、窒化酸化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、または窒化酸化アルミニウム膜などで形
成することができる。これらの膜は、不純物の拡散を防止するブロッキング効果が高いが
、内部応力が高い。そのため、単結晶半導体基板801と接する下層の絶縁膜には、上層
の絶縁膜の応力を緩和する効果のある膜を選択することが好ましい。このような絶縁膜に
は、酸化シリコン膜および酸化窒化シリコン膜、および単結晶半導体基板801を熱酸化
して形成した熱酸化膜などがある。これらの絶縁膜の厚さは5nm以上300nm以下と
することができる。
る。絶縁膜802aとして、ソースガスにSiH4およびN2Oを用いてPECVD法に
より厚さ100nmの酸化窒化シリコン膜を形成し、絶縁膜802bとして、ソースガス
にSiH4、N2OおよびNH3を用いてPECVD法により厚さ50nmの窒化酸化シ
リコン膜を形成する。
るイオンビーム805を単結晶半導体基板801に照射して、単結晶半導体基板801の
表面から所定の深さの領域に脆化層803を形成する。このイオン照射工程は、加速され
たイオン種でなるイオンビーム805を単結晶半導体基板801に照射することで、イオ
ン種を構成する元素を単結晶半導体基板801に添加する工程である。イオンビーム80
5を単結晶半導体基板801に照射すると、加速されたイオン種の衝撃により、単結晶半
導体基板801の所定の深さに結晶構造が脆くなっている層が形成され、この層が脆化層
803である。脆化層803が形成される領域の深さは、イオンビーム805の加速エネ
ルギーとイオンビーム805の侵入角度によって調節することができる。加速エネルギー
は加速電圧、ドーズ量などにより調節できる。イオンの平均侵入深さとほぼ同じ深さの領
域に脆化層803が形成される。つまり、イオンが侵入する深さで、単結晶半導体基板8
01から分離される単結晶半導体膜の厚さが決定される。脆化層803が形成される深さ
は50nm以上500nm以下であり、50nm以上200nm以下が好ましい。
入法だけでなく、質量分離を伴わないイオンドーピング法で行うことができる。
成することができる。ソースガスから生成されるイオン種およびその割合は、プラズマの
励起方法、プラズマを発生させる雰囲気の圧力、ソースガスの供給量などを調節すること
で、変化させることができる。イオンドーピング法で脆化層803の形成を行う場合、H
+、H2 +、H3 +の総量に対してH3 +が、70%以上イオンビーム805に含まれる
ようにすることが好ましく、H3 +の割合は80%以上がより好ましい。それは脆化層8
03を浅い領域に形成するためには、イオンの加速電圧を低くする必要があるが、また、
水素ガスを励起することで生成されたプラズマ中のH3 +イオンの割合を高くすることで
、原子状水素を効率よく単結晶半導体基板801に添加することができるからである。
200kV以下、ドーズ量1×1016ions/cm2以上6×1016ions/c
m2以下とすることができる。この条件で水素イオンを照射することで、イオンビーム8
05に含まれるイオン種、およびその割合にもよるが、脆化層803を単結晶半導体基板
801の深さ50nm以上500nm以下の領域に形成することができる。
0nmの酸化窒化シリコン膜であり、絶縁膜802bが厚さ50nmの窒化酸化シリコン
膜の場合、ソースガスが水素であり、加速電圧40kV、ドーズ量2×1016ions
/cm2の条件下では、単結晶半導体基板801から厚さ120nm程度の単結晶シリコ
ン膜を分離することができる。また、絶縁膜802aを厚さ100nmの酸化窒化シリコ
ン膜とし、他は同じ条件で水素イオンを照射することで、単結晶半導体基板801から厚
さ70nm程度の単結晶シリコン膜を分離することができる。
ガス)およびフッ素ガス(F2ガス)などのハロゲンガスを用いることもできる。
804を形成する。絶縁膜804を形成する工程では、単結晶半導体基板801の加熱温
度は、脆化層803に添加した元素または分子が析出しない温度とし、その加熱温度は3
50℃以下が好ましい。言い換えると、この加熱処理は脆化層803からガスが抜けない
温度で行う。なお、絶縁膜804は、イオン照射工程を行う前に形成することもできる。
この場合は、絶縁膜804を形成するときのプロセス温度を350℃以上にすることがで
きる。
膜である。絶縁膜804の厚さ5nm以上500nm以下が好ましく、10nm以上20
0nm以下がより好ましい。絶縁膜804として、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜
を形成することができる。ここでは、ソースガスにTEOSおよびO2を用いて、PEC
VD法で厚さ50nmの酸化シリコン膜を形成する。
800に単層構造または積層構造の絶縁膜を形成してもよい。この絶縁膜は絶縁膜802
と同様に形成することができ、積層構造とする場合は、バリア層となる絶縁膜は、ガラス
基板800に接して形成することが好ましい。また、ガラス基板800に絶縁膜を形成し
た場合、絶縁膜802、および絶縁膜804は形成しなくてもよい。
801とを貼り合わせた状態を示している。接合工程を行うには、まず、ガラス基板80
0、ならびに、絶縁膜802、804が形成された単結晶半導体基板801を超音波洗浄
する。超音波洗浄はメガヘルツ超音波洗浄(メガソニック洗浄)が好ましい。メガヘルツ
超音波洗浄の後、ガラス基板800および単結晶半導体基板801の双方、または一方を
オゾン水で洗浄することもできる。オゾン水で洗浄することで、有機物の除去が促進され
、表面の親水性を向上させることができる。
り合わせる。ガラス基板800の表面と絶縁膜804の表面とを密着させると、ガラス基
板800と絶縁膜804との界面に化学結合が形成され、ガラス基板800と絶縁膜80
4が接合する。接合工程は加熱処理を伴わずに常温で行うことができるため、単結晶半導
体基板801を貼り付ける基板にガラス基板800のような耐熱性の低い基板を用いるこ
とが可能である。
晶半導体基板801を密着させた後、加熱処理を行うことが好ましい。この処理温度は、
脆化層803に亀裂を生じさせない温度であり、例えば、70℃以上300℃以下とする
ことができる。
を分割し、単結晶半導体基板801から単結晶半導体膜806を分離する。図22(G)
は、単結晶半導体基板801から単結晶半導体膜806を分離する分離工程を説明する図
である。図22(G)に示すように、分離工程により、ガラス基板800上に単結晶半導
体膜806が形成される。801Aを付した要素は、単結晶半導体膜806が分離された
後の単結晶半導体基板801を示している。
形成された水素結合は、水素結合から共有結合に変化するため、結合力が増加する。また
、温度上昇によって、脆化層803に形成されている微小な孔には、イオン照射工程で添
加した元素が析出し、内部の圧力が上昇する。圧力の上昇により、脆化層803の微小な
孔に体積変化が起こり、脆化層803に亀裂が生じるので、脆化層803に沿って単結晶
半導体基板801が分割される。絶縁膜804はガラス基板800に接合しているので、
ガラス基板800上には単結晶半導体基板801から分離された単結晶半導体膜806が
固定されることになる。単結晶半導体膜806を単結晶半導体基板801から分離するた
めの加熱処理の温度は、ガラス基板800の歪み点を越えない温度とし、400℃以上7
00℃以下で行うことができる。
6が貼り合わされたSOI基板810が作製される。SOI基板810は、ガラス基板8
00上に、絶縁膜804、絶縁膜802、単結晶半導体膜806の順に層が積層された多
層構造を有し、絶縁膜802と絶縁膜804が接合している基板である。絶縁膜802を
形成しない場合は、SOI基板810は絶縁膜804単結晶半導体膜806が接合されて
いる基板となる。
結合力を強化するための加熱処理と同じ装置で連続して行うことができる。また、2つの
加熱処理を異なる装置で行うこともできる。例えば、同じ炉で行う場合は、まず、処理温
度200℃、処理時間2時間の加熱処理を行い。次いで、加熱温度を600℃に上昇させ
、600℃、2時間の加熱処理を行う。そして、400℃以下から室温程度の温度に冷却
して、炉から、単結晶半導体基板801AおよびSOI基板810を取り出す。
2時間の加熱処理を行った後、貼り合わされたガラス基板800と単結晶半導体基板80
1を炉から搬出する。次いで、ランプアニール装置で処理温度600℃以上700℃以下
、処理時間1分以上30分以下の加熱処理を行い、単結晶半導体基板801を脆化層80
3で分割する。
て、結晶欠陥が形成され、また、その表面は平坦性が損なわれている。そこで、結晶欠陥
の低減、平坦化のために、単結晶半導体膜806にレーザ光を照射して、溶融させること
で再結晶化させることが好ましい。あるいは、単結晶半導体膜806の表面の損傷を除去
し、その表面を平坦にするため、CMP(Chemical Mechanical P
olishing)装置などで、単結晶半導体膜806の表面を研磨する工程を行うこと
が好ましい。
装置を作製することができる。
実施形態3の光検出装置を電子機器に取り付けることで、光検出装置のデジタル信号に基
づいて電子機器の動作を制御することができる。例えば、表示パネルを備えた電子機器に
光検出装置を内蔵することで、光検出装置により使用環境の照度を測定することができ、
光検出装置でえられたデジタル信号を用いて、表示パネルの輝度調節を行うことが可能に
なる。本実施形態では、図23(A)〜図23(E)を用いて、このような電子機器のい
くつかの例を説明する。
示パネル1102、操作キー1103、音声出力部1104および音声入力部1105を
有する。さらに、本体1101には光検出装置1106が設けられている。図23(A)
の携帯電話は、光検出装置1106からの出力信号をもとに表示パネル1102の輝度を
調節する機能を有する。さらに、表示パネル1102のバックライトの輝度を検出する光
検出装置1107が本体1101に内蔵されている。
ル1112、キーボード1113、外部接続ポート1114、ポインティングデバイス1
115などを有する。さらに、表示パネル1112のバックライトの輝度を検出する光検
出装置1116が本体1111に内蔵されている。
示装置に該当する。本表示装置は、筐体1121、支持台1122、表示パネル1123
などによって構成されている。筐体1121には、表示パネル1123のバックライトの
輝度を検出する光検出装置1124が内蔵されている。
方向から見たデジタルカメラの外観図である。デジタルカメラは、リリースボタン113
1、メインスイッチ1132、ファインダ窓1133、フラッシュライト1134、レン
ズ1135、鏡胴1136、筺体1137、ファインダ接眼窓1138、表示パネル11
39、撮影モード切替スイッチ1140および操作ボタン1141などを有する。光検出
装置1142をデジタルカメラに組み込むことにより、光検出装置によって撮影環境の照
度を感知することができる。光検出装置で検出された電気信号をもとに、露出調整、シャ
ッタースピード調節などを行うことができる。
101 端子電極
102 端子電極
103 配線
104 配線
105 配線
106 配線
107 開口
120 保護回路
121 P型不純物領域
122 高抵抗領域
123 N型不純物領域
200 処理温度
201 端子電極
203 端子電極
205 集積回路
207 保護回路
209 寄生抵抗
211 寄生抵抗
213 寄生容量
215 寄生容量
217 容量
219 容量
300 基板
301 集積回路
302 端子電極
303 端子電極
304 配線
305 配線
306 配線
307 開口
308 絶縁膜
309 絶縁膜
310 絶縁膜
311 開口
312 容量
320 保護回路
321 P型不純物領域
322 高抵抗領域
323 N型不純物領域
453 N型非晶質シリコン膜
800 ガラス基板
801 単結晶半導体基板
802 絶縁膜
803 脆化層
804 絶縁膜
805 イオンビーム
806 単結晶半導体膜
810 SOI基板
1101 本体
1102 表示パネル
1103 操作キー
1104 音声出力部
1105 音声入力部
1106 光検出装置
1107 光検出装置
1111 本体
1112 表示パネル
1113 キーボード
1114 外部接続ポート
1115 ポインティングデバイス
1116 光検出装置
1121 筐体
1122 支持台
1123 表示パネル
1124 光検出装置
1131 リリースボタン
1132 メインスイッチ
1133 ファインダ窓
1134 フラッシュライト
1135 レンズ
1136 鏡胴
1137 筺体
1138 ファインダ接眼窓
1139 表示パネル
1140 撮影モード切替スイッチ
1141 操作ボタン
1142 光検出装置
1300 光検出装置
1301 フォトダイオード
1302 増幅回路
1303 光
1305 トランジスタ
1306 トランジスタ
1311 電源端子
1312 電源端子
1320 保護回路
1321 ダイオード
1322 端子
1400 半導体膜
1401 N型不純物領域
1402 P型不純物領域
1403 高抵抗領域
1405 半導体膜
1406 N型高濃度不純物領域
1407 低濃度不純物領域
1408 チャネル形成領域
1410 導電膜
1411 導電膜
1412 導電膜
1413 導電膜
1414 導電膜
1415 導電膜
1421 導電膜
1422 導電膜
1423 導電膜
1431 開口
1432 開口
1441 開口
1442 開口
1443 開口
1444 開口
1445 開口
1450 光電変換層
1451 P型非晶質シリコン膜
1452 I型非晶質シリコン膜
1453 N型非晶質シリコン膜
1461 導電膜
1462 チタン膜
1463 ニッケル膜
1464 Au膜
1471 開口
1472 開口
1473 開口
1474 開口
1500 ガラス基板
1501 窒化酸化シリコン膜
1502 酸化窒化シリコン膜
1503 酸化窒化シリコン膜
1504 酸化窒化シリコン膜
1505 窒化酸化シリコン膜
1506 酸化窒化シリコン膜
1507 窒化酸化シリコン膜
1508 酸化シリコン膜
1509 窒化酸化シリコン膜
1510 封止膜
1520 非晶質シリコン膜
1521 結晶性シリコン膜
1525 窒化タンタル膜
1526 タングステン膜
1527 レジストマスク
1528 レジストマスク
1529 レジストマスク
1530 低濃度不純物領域
1531 低濃度不純物領域
1541 周囲
1542 周囲
1593 導電膜
305a 配線
305b 配線
801A 単結晶半導体基板
802a 絶縁膜
802b 絶縁膜
Claims (5)
- 第一の端子電極と、
第二の端子電極と、
第一の配線と、
第二の配線と、
保護回路と、
容量素子と、
トランジスタを含む集積回路と、
フォトダイオードと、を有し、
前記フォトダイオードは、前記集積回路と、前記第一の端子電極または前記第二の端子電極の一方と電気的に接続され、
前記第一の端子電極は、前記第一の配線を介して前記集積回路の一部に電気的に接続され、
前記第二の端子電極は、前記第二の配線を介して前記集積回路の他の一部に電気的に接続され、
前記第一の端子電極と前記集積回路の間に位置する前記第一の配線の一部が、分岐することなく前記保護回路の一部に電気的に接続され、
前記第二の端子電極と前記集積回路の間に位置する前記第二の配線の一部が、分岐することなく前記保護回路の他の一部に電気的に接続され、
前記保護回路と前記集積回路の間に位置する前記第二の配線の他の一部が、分岐することなく前記容量素子の一方の電極を構成し、
前記第一の端子電極が、前記容量素子の他方の電極を構成することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記第一の端子電極には、前記第二の端子電極に与えられる電位に対し高い電位が与えられることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記保護回路にダイオードを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3において、
前記保護回路に半導体膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4において、
前記フォトダイオードは、前記トランジスタのゲートに電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
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