JP2015082642A - 粘着テープ貼着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ(21)及び環状フレーム(33)に粘着テープ(11)を貼着する粘着テープ貼着装置(2)であって、粘着テープをチャックテーブル(22)の保持面と平行に位置付けるとともに、粘着テープの送り方向(D1)に沿った張力(F1)を粘着テープに付加する複数のローラーから構成された第1の張力付加手段と、粘着テープの外縁部(11a,11b)を挟持する一対の粘着テープ挟持部(44a,44b)を含み、第1の張力付加手段によって張力が付加された粘着テープに対して、粘着テープの送り方向に直交するとともにチャックテーブルの保持面に平行な方向に張力(F2)を付加する第2の張力付加手段と、を備える構成とした。
【選択図】図1
Description
4 基台
6 送り出しローラー(テープ送り出し部)
8 剥離ローラー(シート剥離部)
8a ローラー
8b ローラー
10 剥離シート巻き取りローラー(剥離シート巻き取り部)
12 第1のドライブローラー
14 第1の従動ローラー
16 第2のドライブローラー
18 第2の従動ローラー
20 粘着テープ巻き取りローラー(テープ巻き取り部)
22 チャックテーブル
24 チャックテーブル移動機構(チャックテーブル位置付け手段)
26 シリンダケース
28 ピストンロッド
30a 水平移動機構(挟持部位置付け手段)
30b 水平移動機構(挟持部位置付け手段)
32a シリンダケース
32b シリンダケース
34a ピストンロッド
34b ピストンロッド
36a 移動テーブル
36b 移動テーブル
38a 垂直移動機構
38b 垂直移動機構
40a シリンダケース
40b シリンダケース
42a ピストンロッド
42b ピストンロッド
44a 粘着テープ挟持機構(粘着テープ挟持部)
44b 粘着テープ挟持機構(粘着テープ挟持部)
46a 第1の挟持ブロック
46b 第1の挟持ブロック
48a 第2の挟持ブロック
48b 第2の挟持ブロック
50a ガイド部材
50b ガイド部材
52 押圧ローラー
54 カッターアセンブリ
56 回転軸
58 アーム
60 テープカッター
70 マウンター
72 フレームカセット
74 カセット載置機構
76 フレーム搬出機構
80 ウェーハ加工システム
82 カセット
84 カセット載置機構
86 ウェーハ搬出入機構
88 ガイドレール
90 位置合わせテーブル
92 ウェーハ搬送機構
94 ガイドレール
96 研削装置
98 研磨装置
100 洗浄装置
102 剥離装置
11 粘着テープ
13 剥離シート
21 ウェーハ
21a 表面
21b 裏面
23 デバイス領域
25 外周余剰領域
27 ストリート(分割予定ライン)
29 デバイス
31 保護部材
31a 表面
31b 裏面
33 フレーム(環状フレーム)
33a 表面
33b 裏面
D1 送り方向
F1 張力
F2 張力
R1 順方向
R2 逆方向
Claims (5)
- ウェーハと環状フレームとを粘着テープを介して一体とする粘着テープ貼着装置であって、
ウェーハと環状フレームとを該環状フレームがウェーハを囲繞した状態で保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該環状フレームの直径よりも長い幅を有するとともに粘着面に該粘着面を保護する剥離シートが貼着された粘着テープがロール状に巻かれた状態でセットされ、該剥離シート側が下側になる向きで該粘着テープを送り出すテープ送り出し部と、
該テープ送り出し部から送り出された該粘着テープから該剥離シートを剥離するシート剥離部と、
該シート剥離部で剥離された該剥離シートを巻き取る剥離シート巻き取り部と、
複数のローラーから構成され、該剥離シートが剥離された該粘着テープの該粘着面を、該チャックテーブルの保持面と平行に対向させて位置付けるとともに、該粘着テープの送り方向に沿った張力を該粘着テープに付加する第1の張力付加手段と、
該チャックテーブルを挟んで該粘着テープの幅方向両側に配設され該粘着テープの外縁部を挟持する一対の粘着テープ挟持部から構成され、該第1の張力付加手段によって張力が付加された該粘着テープに対して、該粘着テープの送り方向に直交するとともに該チャックテーブルの保持面に平行な方向に張力を付加する第2の張力付加手段と、
該第1の張力付加手段と該第2の張力付加手段とによって直交する2方向に張力が付加された該粘着テープの該粘着面と逆側の面を押圧しながら移動して該粘着テープを該チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着する押圧ローラーと、
ウェーハと該環状フレームとに貼着された該粘着テープを該環状フレームに沿って切断するテープカッターと、
該テープカッターによってウェーハと該環状フレームとに貼着された部分を切断した後の該粘着テープを巻き取るテープ巻き取り部と、を少なくとも有することを特徴とする粘着テープ貼着装置。 - 該チャックテーブルを該保持面に垂直な方向に移動させるチャックテーブル位置付け手段を有し、
該チャックテーブル位置付け手段は、該押圧ローラーが該粘着テープを該チャックテーブルに保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着する前に、該チャックテーブルを該粘着テープ近傍のテープ貼着位置に位置付けるとともに、該粘着テープが該チャックテーブルに保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着され、該テープカッターが該粘着テープを該環状フレームに沿って切断した後に、該チャックテーブルを該テープ貼着位置の下方の待機位置に位置付けることを特徴とする請求項1に記載の粘着テープ貼着装置。 - 該第1の張力付加手段は、該チャックテーブルと該シート剥離部との間に配設された第1のドライブローラーと、該チャックテーブルと該テープ巻き取り部との間に配設された第2のドライブローラーとを有し、該第1のドライブローラーと該第2のドライブローラーとが互いに順方向に回転する事で該テープ送り出し部から該粘着テープが送り出され、次いで該第1のドライブローラーと該第2のドライブローラーとが停止する事によって該粘着テープの送り出しが停止し、該粘着テープの送り出しが停止した後に該第2のドライブローラーが順方向に回転するとともに該第1のドライブローラーが順方向とは逆の方向に回転する事によって該チャックテーブルの上方において該粘着テープに対して粘着テープの送り方向に沿った張力を付加することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の粘着テープ貼着装置。
- 該粘着テープ挟持部は、下面に該粘着テープを挟持する略矩形の挟持面を有する第1の挟持ブロックと、上面に該粘着テープを挟持する略矩形の挟持面を有する第2の挟持ブロックとを有し、
該第1の挟持ブロックの挟持面の長軸と該第2の挟持ブロックの挟持面の長軸とは、該粘着テープの外縁部と平行に配設され、
該長軸の長さは、該チャックテーブルに保持された環状フレームの直径よりも長く、該第1のドライブローラーと該第2のドライブローラーとの間の距離よりも短く形成され、
該第1の挟持ブロックと該第2の挟持ブロックとが相対的に上下に移動することによって該粘着テープを挟持するように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の粘着テープ貼着装置。 - 該第2の張力付加手段は、該チャックテーブルを挟んで該粘着テープの幅方向両側に配設された一対の該粘着テープ挟持部を、該粘着テープの外縁部を挟持する挟持位置と、該挟持位置から該粘着テープの幅方向外側に離間した離間位置とに位置付ける挟持部位置付け手段を有し、
該一対の粘着テープ挟持部が、該粘着テープの幅方向両側において該粘着テープの外縁部をそれぞれ挟持した状態で該挟持部位置付け手段が該粘着テープ挟持部を挟持位置から離間位置に向けて移動させる事によって、該粘着テープに対して、該粘着テープの送り方向に直交するとともに該チャックテーブルの該保持面に平行な方向に張力を付加することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の粘着テープ貼着装置。
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