JP3250160B2 - テープ貼り機及びその使用方法 - Google Patents
テープ貼り機及びその使用方法Info
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- JP3250160B2 JP3250160B2 JP34363392A JP34363392A JP3250160B2 JP 3250160 B2 JP3250160 B2 JP 3250160B2 JP 34363392 A JP34363392 A JP 34363392A JP 34363392 A JP34363392 A JP 34363392A JP 3250160 B2 JP3250160 B2 JP 3250160B2
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- Japan
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- tape
- frame
- wafer
- adhesive tape
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- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハと、そ
れを搬送及び取り扱うリング状のフレームとを粘着テー
プによって一体にするテープ貼り機及びその使用方法に
関する。
れを搬送及び取り扱うリング状のフレームとを粘着テー
プによって一体にするテープ貼り機及びその使用方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハと、フレームとを粘着テ
ープによって一体にする装置は、例えば特公平２−１６
５８３号公報、及び実公昭６３−１４４６１号公報等に
開示されているごとく既に存在し実用に供されている。
特公平２−１６５８３号公報に開示されている装置は、
フレーム補給部と、ウェーハカセット部とを有し、フレ
ームとウェーハとを自動的に摺動テーブル上に搬送載置
して、摺動テーブルが上昇して自動的にテープが貼着
し、カッターにより切断された後にウェーハマウントフ
レーム収納部に収納されるように構成されている。実公
昭６３−１４４６１号公報に開示されている装置は、所
謂手動のテープ貼り機であり、フレームとウェーハとを
載置台に載置する作業、テープをローラーで押圧し、フ
レームとウェーハとにテープを貼着する作業、フレーム
に沿ってテープを切断する作業、使用済みのテープをフ
レームから剥離して巻き取り、未使用の新たなテープを
送り出す作業等、全て作業者によってなされるものであ
る。
ープによって一体にする装置は、例えば特公平２−１６
５８３号公報、及び実公昭６３−１４４６１号公報等に
開示されているごとく既に存在し実用に供されている。
特公平２−１６５８３号公報に開示されている装置は、
フレーム補給部と、ウェーハカセット部とを有し、フレ
ームとウェーハとを自動的に摺動テーブル上に搬送載置
して、摺動テーブルが上昇して自動的にテープが貼着
し、カッターにより切断された後にウェーハマウントフ
レーム収納部に収納されるように構成されている。実公
昭６３−１４４６１号公報に開示されている装置は、所
謂手動のテープ貼り機であり、フレームとウェーハとを
載置台に載置する作業、テープをローラーで押圧し、フ
レームとウェーハとにテープを貼着する作業、フレーム
に沿ってテープを切断する作業、使用済みのテープをフ
レームから剥離して巻き取り、未使用の新たなテープを
送り出す作業等、全て作業者によってなされるものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のテープ貼り
機は何れも次に示すような欠点を有している。即ち、特
公平２−１６５８３号公報に示す装置は、全自動でテー
プを貼る装置であり、人件費の節約ができる反面、装置
自体が大型となり設置されるクリーンルームの有効利用
が図れず且つ高額であるため生産コストの低減を図れな
いという欠点がある。他方、実公昭６３−１４４６１号
公報に示す装置は、作業者による手作業でテープが貼ら
れるため貼り方に個人差が生じ、良、不良のばらつきが
出ると共に、作業速度にも差が生じて流れ作業には不適
当であるという欠点を有している。従って、装置自体が
小型で安価であり、且つ作業性に優れたテープ貼り機の
提供に解決しなければならない課題を有している。
機は何れも次に示すような欠点を有している。即ち、特
公平２−１６５８３号公報に示す装置は、全自動でテー
プを貼る装置であり、人件費の節約ができる反面、装置
自体が大型となり設置されるクリーンルームの有効利用
が図れず且つ高額であるため生産コストの低減を図れな
いという欠点がある。他方、実公昭６３−１４４６１号
公報に示す装置は、作業者による手作業でテープが貼ら
れるため貼り方に個人差が生じ、良、不良のばらつきが
出ると共に、作業速度にも差が生じて流れ作業には不適
当であるという欠点を有している。従って、装置自体が
小型で安価であり、且つ作業性に優れたテープ貼り機の
提供に解決しなければならない課題を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は前記課
題を解決するために、ロール状の粘着テープが装着され
るテープ送り出し部と、使用済みの粘着テープを巻き取
るテープ巻き取り部と、フレームとウェーハとに粘着テ
ープを貼着するテープ貼着可動ローラーと、前記フレー
ムに沿って粘着テープを切断するテープカッターと、を
具備するフレームとウェーハとを粘着テープによって一
体にするテープ貼り機であって、前記フレームとウェー
ハとを載置固定するテーブルが粘着テープの送り方向に
対して直角方向に進退し、作業領域とテープ貼着領域と
に位置付けられるテープ貼り機を要旨とするものであ
る。又、テーブルにはフレーム載置領域と、ウェーハ載
置領域とが形成されており、該テーブルが作業領域にあ
る時にそれぞれの載置領域にフレームと、ウェーハとを
載置し固定する工程と、該テーブルが、テープ貼着領域
に進出する工程と、該テープ貼着領域において、テープ
貼着可動ローラーが粘着テープを押圧しながら移動し、
フレームとウェーハとに粘着テープを貼着する工程と、
テープカッターの切り刃がフレームに作用し回転するこ
とで、フレームに沿って粘着テープを切断する工程と、
切断された使用済みの粘着テープをテープ剥離可動ロー
ラーによってフレームから剥離する工程と、剥離された
使用済みの粘着テープをテープ巻き取り部に巻き取ると
共に、新たな未使用の粘着テープをテープ貼着領域に送
り出す工程と、テーブルが作業領域に退出する工程と、
該作業領域において、ウェーハとフレームとの固定を解
いて粘着テープによって一体になったフレームとウェー
ハとを該テーブルから取り出す工程と、からなる上記テ
ープ貼り機の使用方法を要旨とする。更に、このテープ
貼り機の使用方法において、テーブルが作業領域にある
時、フレーム載置領域とウェーハ載置領域とに、フレー
ムとウェーハとを載置する工程と、粘着テープによって
一体なったフレームとウェーハとを該テーブルから取り
出す工程と、が作業者によって遂行されることを要旨と
するものである。
題を解決するために、ロール状の粘着テープが装着され
るテープ送り出し部と、使用済みの粘着テープを巻き取
るテープ巻き取り部と、フレームとウェーハとに粘着テ
ープを貼着するテープ貼着可動ローラーと、前記フレー
ムに沿って粘着テープを切断するテープカッターと、を
具備するフレームとウェーハとを粘着テープによって一
体にするテープ貼り機であって、前記フレームとウェー
ハとを載置固定するテーブルが粘着テープの送り方向に
対して直角方向に進退し、作業領域とテープ貼着領域と
に位置付けられるテープ貼り機を要旨とするものであ
る。又、テーブルにはフレーム載置領域と、ウェーハ載
置領域とが形成されており、該テーブルが作業領域にあ
る時にそれぞれの載置領域にフレームと、ウェーハとを
載置し固定する工程と、該テーブルが、テープ貼着領域
に進出する工程と、該テープ貼着領域において、テープ
貼着可動ローラーが粘着テープを押圧しながら移動し、
フレームとウェーハとに粘着テープを貼着する工程と、
テープカッターの切り刃がフレームに作用し回転するこ
とで、フレームに沿って粘着テープを切断する工程と、
切断された使用済みの粘着テープをテープ剥離可動ロー
ラーによってフレームから剥離する工程と、剥離された
使用済みの粘着テープをテープ巻き取り部に巻き取ると
共に、新たな未使用の粘着テープをテープ貼着領域に送
り出す工程と、テーブルが作業領域に退出する工程と、
該作業領域において、ウェーハとフレームとの固定を解
いて粘着テープによって一体になったフレームとウェー
ハとを該テーブルから取り出す工程と、からなる上記テ
ープ貼り機の使用方法を要旨とする。更に、このテープ
貼り機の使用方法において、テーブルが作業領域にある
時、フレーム載置領域とウェーハ載置領域とに、フレー
ムとウェーハとを載置する工程と、粘着テープによって
一体なったフレームとウェーハとを該テーブルから取り
出す工程と、が作業者によって遂行されることを要旨と
するものである。
【０００５】
【作 用】ウェーハとフレームとを載置固定するテーブ
ルが、作業領域とテープ貼着領域とを進退する構成にす
ることで作業性が良いと共に、ウェーハカセット部及び
フレーム補給部、更にマウントフレーム収納部を有さ
ず、作業者によって肩代わりされるので装置自体が小型
で且つ安価になる。又、テーブルがテープ貼着領域にあ
る時は、自動的に作業が遂行されるため個人差による
良、不良のばらつきが生ぜず、作業速度もほぼ一定に保
つことができ流れ作業にも適している。
ルが、作業領域とテープ貼着領域とを進退する構成にす
ることで作業性が良いと共に、ウェーハカセット部及び
フレーム補給部、更にマウントフレーム収納部を有さ
ず、作業者によって肩代わりされるので装置自体が小型
で且つ安価になる。又、テーブルがテープ貼着領域にあ
る時は、自動的に作業が遂行されるため個人差による
良、不良のばらつきが生ぜず、作業速度もほぼ一定に保
つことができ流れ作業にも適している。
【０００６】
【実施例】以下、本発明に係る実施例を添付図面に基づ
いて詳説する。図１に斜視図で示すテープ貼り機１は、
未使用のロール状の粘着テープ２がテープ送り出し部２
０に回転可能に装着されており、送り出される粘着テー
プの一端部は固定ローラー２１、テープ貼着可動ローラ
ー２２、テープ剥離可動ローラー２３、２４の間を通っ
てテープ巻き取り部３０の巻き取り軸２５に巻き付けら
れている。
いて詳説する。図１に斜視図で示すテープ貼り機１は、
未使用のロール状の粘着テープ２がテープ送り出し部２
０に回転可能に装着されており、送り出される粘着テー
プの一端部は固定ローラー２１、テープ貼着可動ローラ
ー２２、テープ剥離可動ローラー２３、２４の間を通っ
てテープ巻き取り部３０の巻き取り軸２５に巻き付けら
れている。
【０００７】３１は粘着テープをフレームに沿って切断
するテープカッターであり、待機位置と作用位置とに昇
降動するように構成されている。
するテープカッターであり、待機位置と作用位置とに昇
降動するように構成されている。
【０００８】４０はフレームとウェーハとを載置し吸着
固定するテーブルであって、フレームを載置固定するフ
レーム載置領域４１と、ウェーハを載置固定するウェー
ハ載置領域４２とを有している。又、粘着テープの送り
出し方向に対して直角方向に進退し、作業領域５０とテ
ープ貼着領域６０とに位置付けられるようになってい
る。
固定するテーブルであって、フレームを載置固定するフ
レーム載置領域４１と、ウェーハを載置固定するウェー
ハ載置領域４２とを有している。又、粘着テープの送り
出し方向に対して直角方向に進退し、作業領域５０とテ
ープ貼着領域６０とに位置付けられるようになってい
る。
【０００９】前記ウェーハ載置領域４２はこれに限定さ
れるものではないが、図２に示す構成からなっている。
即ち、ウェーハ７０のオリフラ７１を突き当ててウェー
ハ７０を所定の位置に位置付けるための位置付けピン４
３が設けられている。この位置付けピン４３は、メーカ
ーによって又はＩＣの種類によって異なるオリフラの位
置に対応させるために調整つまみ４４によって矢印４５
の方向に進退するように構成されている。更に、ウェー
ハの径に対応して取り替えられると共に、９０°間隔で
オリフラの方向が換えられるようになっている。又、ウ
ェーハが誤って前記位置付けピン４３上に乗ったまま押
圧されても割れないようにばねの付勢力によって出没自
在になっている。フレーム載置領域４１も同様に構成す
ることが好ましい。
れるものではないが、図２に示す構成からなっている。
即ち、ウェーハ７０のオリフラ７１を突き当ててウェー
ハ７０を所定の位置に位置付けるための位置付けピン４
３が設けられている。この位置付けピン４３は、メーカ
ーによって又はＩＣの種類によって異なるオリフラの位
置に対応させるために調整つまみ４４によって矢印４５
の方向に進退するように構成されている。更に、ウェー
ハの径に対応して取り替えられると共に、９０°間隔で
オリフラの方向が換えられるようになっている。又、ウ
ェーハが誤って前記位置付けピン４３上に乗ったまま押
圧されても割れないようにばねの付勢力によって出没自
在になっている。フレーム載置領域４１も同様に構成す
ることが好ましい。
【００１０】次に、図３に基づいてウェーハとフレーム
に粘着テープを貼る手順について説明する。 (1) の工程において、テーブル４０が作業領域５０に位
置付けられており、作業者によってフレーム８０がフレ
ーム載置領域４１の位置付けピン４６に突き当て載置さ
れると共に、ウェーハ７０がウェーハ載置領域４２の位
置付けピン４３に突き当て載置される。Ａのボタンを押
すと、フレームとウェーハとがテーブル４０に吸着固定
され、矢印９０の方向即ちテープ貼着領域に進出する。
に粘着テープを貼る手順について説明する。 (1) の工程において、テーブル４０が作業領域５０に位
置付けられており、作業者によってフレーム８０がフレ
ーム載置領域４１の位置付けピン４６に突き当て載置さ
れると共に、ウェーハ７０がウェーハ載置領域４２の位
置付けピン４３に突き当て載置される。Ａのボタンを押
すと、フレームとウェーハとがテーブル４０に吸着固定
され、矢印９０の方向即ちテープ貼着領域に進出する。
【００１１】(2) の工程において、テープ貼着領域に位
置付けられたフレームとウェーハとに二点鎖線で示す粘
着テープ２′を貼着すべくテープ貼着可動ローラー２２
が粘着テープの送り出し方向と同じ方向矢印９１に往動
し、二点鎖線で示す２２′で折り返し復動する。これに
より、フレームとウェーハとに粘着テープが貼着する。
この状態をＡ−Ａ矢視の図４（Ａ）に示すと、実線で示
す粘着テープ２′がテープ貼着可動ローラー２２によっ
て、二点鎖線で示す粘着テープ２′のごとくフレーム８
０とウェーハ７０に一体貼着する。この時、テープカッ
ター３１は待機領域にある。
置付けられたフレームとウェーハとに二点鎖線で示す粘
着テープ２′を貼着すべくテープ貼着可動ローラー２２
が粘着テープの送り出し方向と同じ方向矢印９１に往動
し、二点鎖線で示す２２′で折り返し復動する。これに
より、フレームとウェーハとに粘着テープが貼着する。
この状態をＡ−Ａ矢視の図４（Ａ）に示すと、実線で示
す粘着テープ２′がテープ貼着可動ローラー２２によっ
て、二点鎖線で示す粘着テープ２′のごとくフレーム８
０とウェーハ７０に一体貼着する。この時、テープカッ
ター３１は待機領域にある。
【００１２】(3) の工程において、テープカッター３１
がフレーム８０に沿って粘着テープを切断すべく下降
し、ディスクカッター刃３２がフレーム上の粘着テープ
を押圧して回転軸３３を中心として３６０°回転し、粘
着テープを円形に切断する。切断が完了した後、テープ
カッター３１は待機位置に戻る。この状態をＢ−Ｂ矢視
の図４（Ｂ）に示す。
がフレーム８０に沿って粘着テープを切断すべく下降
し、ディスクカッター刃３２がフレーム上の粘着テープ
を押圧して回転軸３３を中心として３６０°回転し、粘
着テープを円形に切断する。切断が完了した後、テープ
カッター３１は待機位置に戻る。この状態をＢ−Ｂ矢視
の図４（Ｂ）に示す。
【００１３】 （４）の工程において、テープカッター
によって切断された外側の使用済みの粘着テープがテー
プ剥離可動ローラー２４、２３の移動によってフレーム
から剥離される。即ち、粘着テープの送り出し方向と同
じ方向矢印９２に二点鎖線で示す２４′、２３′まで往
動する。その後、使用済みの粘着テープを巻き取る巻き
取り軸２５の回転と共に二点鎖線で示す位置にあるテー
プ剥離可動ローラー２４′、２３′が復動して２４、２
３の位置に戻り、使用済みの粘着テープを巻き取ると同
時に未使用の粘着テープ２′をテープ送り出し部２０か
らテープ粘着領域６０まで引き出す。
によって切断された外側の使用済みの粘着テープがテー
プ剥離可動ローラー２４、２３の移動によってフレーム
から剥離される。即ち、粘着テープの送り出し方向と同
じ方向矢印９２に二点鎖線で示す２４′、２３′まで往
動する。その後、使用済みの粘着テープを巻き取る巻き
取り軸２５の回転と共に二点鎖線で示す位置にあるテー
プ剥離可動ローラー２４′、２３′が復動して２４、２
３の位置に戻り、使用済みの粘着テープを巻き取ると同
時に未使用の粘着テープ２′をテープ送り出し部２０か
らテープ粘着領域６０まで引き出す。
【００１４】(5) の工程において、粘着テープの貼着が
完了したフレーム及びウェーハがテーブル４０に載置固
定されて作業領域５０まで退出すべく矢印９３方向に移
動する。この作業領域５０において、作業者が粘着テー
プによって一体になったフレームとウェーハを取り出
し、カセットに収納したり又は次の工程に搬送したりす
る。作業者は(1) の工程に戻り、新たなフレームとウェ
ーハとをテーブル４０の上に載置し、前記の工程が繰り
返される。
完了したフレーム及びウェーハがテーブル４０に載置固
定されて作業領域５０まで退出すべく矢印９３方向に移
動する。この作業領域５０において、作業者が粘着テー
プによって一体になったフレームとウェーハを取り出
し、カセットに収納したり又は次の工程に搬送したりす
る。作業者は(1) の工程に戻り、新たなフレームとウェ
ーハとをテーブル４０の上に載置し、前記の工程が繰り
返される。
【００１５】図５はロール状の粘着テープ２の粘着面に
剥離紙３が貼着している場合の本発明に係るテープ貼り
機であり、剥離紙３の巻き取り部４が設けられている関
係で多少複雑になっているが、実質的には前記実施例と
変わるところはない。この実施例について図５に基づき
説明すると、ロール状の粘着テープ２から送り出された
粘着テープは、固定ローラー２１−１、２１−２を通り
粘着テープ２′と剥離紙３とに分離される。剥離紙３は
固定ローラー２１−４を通り剥離紙の巻き取り部４にお
いて巻き取られる。一方、粘着テープ２′は固定ローラ
ー２１−３、２１−５を通りテープ貼着領域６０に送り
出され、テープ貼着可動ローラー２２とテープ剥離可動
ローラー２３、２４の間を通り、更に固定ローラー２１
−６を通って巻き取り軸２５に巻き付けられる。
剥離紙３が貼着している場合の本発明に係るテープ貼り
機であり、剥離紙３の巻き取り部４が設けられている関
係で多少複雑になっているが、実質的には前記実施例と
変わるところはない。この実施例について図５に基づき
説明すると、ロール状の粘着テープ２から送り出された
粘着テープは、固定ローラー２１−１、２１−２を通り
粘着テープ２′と剥離紙３とに分離される。剥離紙３は
固定ローラー２１−４を通り剥離紙の巻き取り部４にお
いて巻き取られる。一方、粘着テープ２′は固定ローラ
ー２１−３、２１−５を通りテープ貼着領域６０に送り
出され、テープ貼着可動ローラー２２とテープ剥離可動
ローラー２３、２４の間を通り、更に固定ローラー２１
−６を通って巻き取り軸２５に巻き付けられる。
【００１６】本実施例においては、テープ貼着可動ロー
ラー２２と、テープ剥離ローラー２３、２４とが同じ側
に配設されている関係で、可動ローラーの動きが前記実
施例と多少異なるのでその点について説明する。テープ
貼着可動ローラー２２は、紙面において右側から左側に
移動してウェーハ７０、フレーム８０上に粘着テープ
２′を押圧貼着する。その後、テープ貼着可動ローラー
２２は、そのまま左側に待機した状態でテープカッター
が下降してフレームに沿って粘着テープを切断すべく作
用する。切断が完了した後、テープカッターは上昇して
待機位置に戻る。テープ剥離可動ローラー２３、２４が
右側から左側に移動して使用済みの粘着テープをフレー
ムから剥離する。
ラー２２と、テープ剥離ローラー２３、２４とが同じ側
に配設されている関係で、可動ローラーの動きが前記実
施例と多少異なるのでその点について説明する。テープ
貼着可動ローラー２２は、紙面において右側から左側に
移動してウェーハ７０、フレーム８０上に粘着テープ
２′を押圧貼着する。その後、テープ貼着可動ローラー
２２は、そのまま左側に待機した状態でテープカッター
が下降してフレームに沿って粘着テープを切断すべく作
用する。切断が完了した後、テープカッターは上昇して
待機位置に戻る。テープ剥離可動ローラー２３、２４が
右側から左側に移動して使用済みの粘着テープをフレー
ムから剥離する。
【００１７】 テープ粘着可動ローラー２２及びテープ
剥離可動ローラー２３、２４が左側に位置付けられた状
態となっており、この状態から未使用の新たな粘着テー
プ２′をテープ粘着領域に送り出すと共に、使用済みの
粘着テープを巻き取る動作に移る。即ち、テープ粘着可
動ローラー２２、テープ剥離可動ローラー２３、２４が
同時に右側に移動し、使用済みの粘着テープを巻き取り
軸２５の回転により巻き取ると共に、新たな粘着テープ
２′をテープ粘着領域に送り出す。その他の動作及び工
程は前記実施例と同じであり、説明を省略する。
剥離可動ローラー２３、２４が左側に位置付けられた状
態となっており、この状態から未使用の新たな粘着テー
プ２′をテープ粘着領域に送り出すと共に、使用済みの
粘着テープを巻き取る動作に移る。即ち、テープ粘着可
動ローラー２２、テープ剥離可動ローラー２３、２４が
同時に右側に移動し、使用済みの粘着テープを巻き取り
軸２５の回転により巻き取ると共に、新たな粘着テープ
２′をテープ粘着領域に送り出す。その他の動作及び工
程は前記実施例と同じであり、説明を省略する。
【００１８】本発明に係るテープ貼り機について実施例
に基づき説明したが、発明の趣旨を逸脱しない限り上記
実施例に限定されるものではない。例えば実施例におい
て作業者と表現しているものは人間に限らずロボット等
でも良い。又、ボタンＡを押すことでテーブル４０は作
業領域５０からテープ貼着領域６０まで自動的に進出
し、テープ貼着領域での作業を自動的に遂行してテープ
貼りの完了したフレームとウェーハとを自動的に作業領
域まで退出するが、ボタンＢはフレーム、ウェーハの吸
着用、ボタンＣはテーブルの進退用、ボタンＤは粘着テ
ープの送り、ボタンＥはテープ貼着可動ローラーの駆動
のごとくすることも自由であり、作業者の都合に合わせ
ることもできる。
に基づき説明したが、発明の趣旨を逸脱しない限り上記
実施例に限定されるものではない。例えば実施例におい
て作業者と表現しているものは人間に限らずロボット等
でも良い。又、ボタンＡを押すことでテーブル４０は作
業領域５０からテープ貼着領域６０まで自動的に進出
し、テープ貼着領域での作業を自動的に遂行してテープ
貼りの完了したフレームとウェーハとを自動的に作業領
域まで退出するが、ボタンＢはフレーム、ウェーハの吸
着用、ボタンＣはテーブルの進退用、ボタンＤは粘着テ
ープの送り、ボタンＥはテープ貼着可動ローラーの駆動
のごとくすることも自由であり、作業者の都合に合わせ
ることもできる。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係るテープ貼り機は、前記のよ
うに構成されるので装置全体を小型にでき、クリーンル
ームの省スペース化が図れると共に安価に提供できる。
又、本発明に係るテープ貼り機の使用方法によれば、テ
ープ貼り作業等が自動でなされるために作業者の個人差
による良、不良のばらつきがなく、流れ作業に適した装
置となる。更に、テーブルが粘着テープの送り方向に対
して直角方向に進退し、作業領域とテープ粘着領域とに
位置付けられるので作業者による作業が円滑に遂行され
る。
うに構成されるので装置全体を小型にでき、クリーンル
ームの省スペース化が図れると共に安価に提供できる。
又、本発明に係るテープ貼り機の使用方法によれば、テ
ープ貼り作業等が自動でなされるために作業者の個人差
による良、不良のばらつきがなく、流れ作業に適した装
置となる。更に、テーブルが粘着テープの送り方向に対
して直角方向に進退し、作業領域とテープ粘着領域とに
位置付けられるので作業者による作業が円滑に遂行され
る。
【図１】 本発明に係るテープ貼り機の斜視図である。
【図２】 そのウェーハ載置領域の平面図である。
【図３】 (1) から(5) はウェーハとフレームに粘着テ
ープを貼る手順を工程順に示すそれぞれ説明図である。
ープを貼る手順を工程順に示すそれぞれ説明図である。
【図４】 （Ａ）は図３(2) のＡ−Ａ矢視図、（Ｂ）は
図３(3) のＢ−Ｂ矢視図である。
図３(3) のＢ−Ｂ矢視図である。
【図５】 粘着テープに剥離紙が貼着している場合の本
発明に係るテープ貼り機の説明図である。
発明に係るテープ貼り機の説明図である。
１…テープ貼り機 ２、２′…粘着テープ ３…剥
離紙 ４…巻き取り部 ２０…テープ送り出し部
２１…固定ローラー ２２…テープ貼着可動ローラ
ー ２３、２４…テープ剥離可動ローラー ２５…
巻き取り軸 ３０…テープ巻き取り部 ３１…テープカッター
３２…ディスクカッター刃 ３３…回転軸 ４０…
テーブル ４１…フレーム載置領域 ４２…ウェー
ハ載置領域 ４３…位置付けピン ４４…調整つま
み ４５…矢印 ４６…位置付けピン ５０…作業領域 ６０…テー
プ貼着領域 ７０…ウェーハ ７１…オリフラ
８０…フレーム ９１、９２、９３、９４…矢印
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ…ボタン
離紙 ４…巻き取り部 ２０…テープ送り出し部
２１…固定ローラー ２２…テープ貼着可動ローラ
ー ２３、２４…テープ剥離可動ローラー ２５…
巻き取り軸 ３０…テープ巻き取り部 ３１…テープカッター
３２…ディスクカッター刃 ３３…回転軸 ４０…
テーブル ４１…フレーム載置領域 ４２…ウェー
ハ載置領域 ４３…位置付けピン ４４…調整つま
み ４５…矢印 ４６…位置付けピン ５０…作業領域 ６０…テー
プ貼着領域 ７０…ウェーハ ７１…オリフラ
８０…フレーム ９１、９２、９３、９４…矢印
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ…ボタン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 勲 東京都品川区東品川３丁目25番21号 株 式会社ディスコエンジニアリングサービ ス内 (56)参考文献 特開 昭60−97640（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−51249（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−142156（ＪＰ，Ａ) 特公 平２−16583（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 ロール状の粘着テープが装着されるテー
プ送り出し部と、使用済みの粘着テープを巻き取るテー
プ巻き取り部と、フレームとウェーハとに粘着テープを
貼着するテープ貼着可動ローラーと、前記フレームに沿
って粘着テープを切断するテープカッターと、を具備す
るフレームとウェーハとを粘着テープによって一体にす
るテープ貼り機であって、 前記フレームとウェーハとを載置固定するテーブルが粘
着テープの送り方向に対して直角方向に進退し、作業領
域とテープ貼着領域とに位置付けられるテープ貼り機。 - 【請求項２】 テーブルにはフレーム載置領域と、ウェ
ーハ載置領域とが形成されており、該テーブルが作業領
域にある時にそれぞれの載置領域にフレームと、ウェー
ハとを載置し固定する工程と、 該テーブルが、テープ貼着領域に進出する工程と、 該テープ貼着領域において、テープ貼着可動ローラーが
粘着テープを押圧しながら移動し、フレームとウェーハ
とに粘着テープを貼着する工程と、 テープカッターの切り刃がフレームに作用し回転するこ
とで、フレームに沿って粘着テープを切断する工程と、 切断された使用済みの粘着テープをテープ剥離可動ロー
ラーによってフレームから剥離する工程と、 剥離された使用済みの粘着テープをテープ巻き取り部に
巻き取ると共に、新たな未使用の粘着テープをテープ貼
着領域に送り出す工程と、 テーブルが作業領域に退出する工程と、 該作業領域において、ウェーハとフレームとの固定を解
いて粘着テープによって一体になったフレームとウェー
ハとを該テーブルから取り出す工程と、 からなる請求項１記載のテープ貼り機の使用方法。 - 【請求項３】 テーブルが作業領域にある時、フレーム
載置領域とウェーハ載置領域とに、フレームとウェーハ
とを載置する工程と、 粘着テープによって一体なったフレームとウェーハとを
該テーブルから取り出す工程と、 が作業者によって遂行される請求項２記載のテープ貼り
機の使用方法。
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|---|---|---|---|
| JP34363392A JP3250160B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | テープ貼り機及びその使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34363392A JP3250160B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | テープ貼り機及びその使用方法 |
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| JPH06177243A JPH06177243A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3250160B2 true JP3250160B2 (ja) | 2002-01-28 |
Family
ID=18363038
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP34363392A Expired - Lifetime JP3250160B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | テープ貼り機及びその使用方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3250160B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20210075001A (ko) | 2019-12-12 | 2021-06-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 테이프 롤 식별용 시일, 테이프 점착 장치 및 테이프 롤의 식별 방법 |
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-
1992
- 1992-12-01 JP JP34363392A patent/JP3250160B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| KR20210075001A (ko) | 2019-12-12 | 2021-06-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 테이프 롤 식별용 시일, 테이프 점착 장치 및 테이프 롤의 식별 방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06177243A (ja) | 1994-06-24 |
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