JP2017041595A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出される前記原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記剥離手段で剥離され、先端部が前記押圧手段で前記被着体に貼付された前記接着シートにおける未貼付部に、当該接着シートの繰出方向に交差する幅方向への張力を付与する張力付与手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置である。
【選択図】図1
Description
また、剥離手段を押圧手段に対して進退させることで、剥離手段と押圧手段との間に張力付与手段が入り込むスペースを形成することができる。
さらに、張力付与手段と接着シートとを相対接離させることで、接着シートの幅方向への張力を付与するタイミングを調整することができる。
また、張力付与手段をクラウンローラで構成することにより、接着シートの幅方向への張力を確実に付与することができる。
なお、実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図のようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20が回動モータ23Aを駆動し、原反RSを繰り出す。そして、図1に示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板30で剥離シートRLから所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、繰出手段20が回動モータ23Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
繰出手段20は、剥離シートRLの一方の面に帯状の接着シート基材が仮着された原反RSを繰り出し、剥離板30に対して原反RSの繰出方向上流側に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に接着シートASを形成する切断手段を備えていてもよい。このような切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等を採用することができる。
剥離手段は、剥離板30の代わりに、丸棒や回転可能な剥離用ローラを採用してもよい。
押圧手段は、押圧部材を移動させずに被着体WKを押圧部材に向けて移動させて押圧してもよいし、被着体WKを移動させずに押圧部材を被着体WKに向けて移動させて押圧してもよいし、押圧部材と被着体WKとの両方を互いに移動させて押圧してもよい。
進退手段50は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたものでもよい。
クラウンローラ60が接着シートASの幅方向CCに張力を付与できれば、進退手段50は、あってもよいし、なくてもよい。
進退手段50が剥離板30を押圧ローラ40から離間させ、接離手段70がクラウンローラ60を下降させるとき、繰出手段20および移動手段80は、回動モータ23Aおよびリニアモータ81の駆動を停止させなくてもよい。この場合、単位時間あたりにシート貼付装置10が被着体WKに接着シートASを貼付する能力が低下することを防止することができる。
張力付与手段は、接着シートASの繰出方向BBに直交する方向に張力を付与するものでもよいし、接着シートASの繰出方向BBに直交する方向とは異なる方向に張力を付与するものでもよい。
張力付与手段は、2体以上あってもよい。
接離手段70は、被着体WKへの接着シートASの貼付途中、例えば、ウエハWFに接着シートASを貼付するときに、クラウンローラ60を初期位置に復帰させてもよいし、ウエハWFへの接着シートASの貼付が完了した時点で、クラウンローラ60を初期位置に復帰させてもよい。接離手段70がクラウンローラ60を初期位置に復帰させた後、進退手段50が直動モータ51を駆動し、剥離板30を押圧ローラ40に接近させてもよい。
接離手段70は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたものでもよいし、張力付与手段を幅方向CCに移動可能な構成のものでもよい。
クラウンローラ60が接着シートASの幅方向CCに張力を付与できれば、接離手段70は、あってもよいし、なくてもよい。
移動手段80は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体WKを保持する構成でもよい。
移動手段80は、搬送テーブル82を昇降可能な構成としてもよく、搬送テーブル82を上昇させて、クラウンローラ60と接着シートASとを接近させてもよい。
被着体WKを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置10において移動手段80はあってもよいし、なくてもよく、その他接離手段70等の本願請求項1に記載のないものは、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいし、なくてもよい。
20・・・繰出手段
30・・・剥離板(剥離手段)
40・・・押圧ローラ(押圧手段)
50・・・進退手段
60・・・クラウンローラ(張力付与手段)
70・・・接離手段
AS・・・接着シート
BB・・・繰出方向
CC・・・幅方向
RL・・・剥離シート
RS・・・原反
WK・・・被着体
Claims (5)
- 複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記剥離手段で剥離され、先端部が前記押圧手段で前記被着体に貼付された前記接着シートにおける未貼付部に、当該接着シートの繰出方向に交差する幅方向への張力を付与する張力付与手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記剥離手段を前記押圧手段に対して進退させる進退手段を備え、当該進退手段は、前記剥離手段を前記押圧手段に接近させた状態で、前記接着シートの先端部を前記押圧手段で前記被着体に貼付した後、前記剥離手段を前記押圧手段から離間させることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記張力付与手段と接着シートとを相対接離させる接離手段を備え、当該接離手段は、前記進退手段が前記剥離手段を前記押圧手段から離間させた後、前記先端部が被着体に貼付された接着シートにおける未貼付部と前記張力付与手段とを相対接近させることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。
- 前記張力付与手段は、回転軸方向における中央部の直径が同方向における両端部の直径に比して大きい形状のクラウンローラからなることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のシート貼付装置。
- 複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記剥離工程で剥離され、先端部が前記押圧工程で前記被着体に貼付された前記接着シートにおける未貼付部に、当該接着シートの繰出方向に交差する幅方向への張力を付与する張力付与工程を有していることを特徴とするシート貼付方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020047883A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-03-26 | リンテック株式会社 | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 |
WO2022168392A1 (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-11 | 株式会社東京精密 | テープ貼付装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62287837A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-14 | 凸版印刷株式会社 | ラベル貼合わせ装置 |
JP2002124500A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体ウエハのテープ貼り付け装置およびその貼り付け方法 |
JP2007158037A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2011014778A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2014086532A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハのマウント方法および半導体ウエハのマウント装置 |
JP2014116422A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2015006907A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付準備方法 |
JP2015053473A (ja) * | 2013-08-07 | 2015-03-19 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 |
JP2015082642A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社ディスコ | 粘着テープ貼着装置 |
-
2015
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62287837A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-14 | 凸版印刷株式会社 | ラベル貼合わせ装置 |
JP2002124500A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体ウエハのテープ貼り付け装置およびその貼り付け方法 |
JP2007158037A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2011014778A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2014086532A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハのマウント方法および半導体ウエハのマウント装置 |
JP2014116422A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2015006907A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付準備方法 |
JP2015053473A (ja) * | 2013-08-07 | 2015-03-19 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 |
JP2015082642A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社ディスコ | 粘着テープ貼着装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020047883A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-03-26 | リンテック株式会社 | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 |
JP7213046B2 (ja) | 2018-09-21 | 2023-01-26 | リンテック株式会社 | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 |
WO2022168392A1 (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-11 | 株式会社東京精密 | テープ貼付装置 |
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