JP2015037831A - ナノワイヤー分散組成物 - Google Patents
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- 239000002070 nanowire Substances 0.000 title claims abstract description 346
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 title claims abstract description 126
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 98
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 40
- RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N Poloxamer Chemical compound C1CO1.CC1CO1 RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 24
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 15
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 15
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 claims description 15
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 14
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 14
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 13
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229920001983 poloxamer Polymers 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 8
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 7
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 claims description 3
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 claims description 3
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 claims description 2
- 229920001479 Hydroxyethyl methyl cellulose Polymers 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 2
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 claims description 2
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 229920000359 diblock copolymer Polymers 0.000 claims 2
- LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N (2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dimethoxy-2-(methoxymethyl)-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-trimethoxy-6-(methoxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-4,5,6-trimethoxy-2-(methoxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxane Chemical compound CO[C@@H]1[C@@H](OC)[C@H](OC)[C@@H](COC)O[C@H]1O[C@H]1[C@H](OC)[C@@H](OC)[C@H](O[C@H]2[C@@H]([C@@H](OC)[C@H](OC)O[C@@H]2COC)OC)O[C@@H]1COC LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 72
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 53
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 14
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 91
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 47
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 47
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 24
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 23
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 21
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 20
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 description 19
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 18
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 16
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 13
- 239000011257 shell material Substances 0.000 description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 12
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- -1 nanotetrapods Substances 0.000 description 11
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 9
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 8
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 8
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000004054 semiconductor nanocrystal Substances 0.000 description 8
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 7
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 241000532412 Vitex Species 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 5
- 235000009347 chasteberry Nutrition 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 5
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 5
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 5
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 5
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 4
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 4
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 4
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 4
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 4
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 239000002074 nanoribbon Substances 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound C1CN(CC2=NNN=C21)CC(=O)N3CCN(CC3)C4=CN=C(N=C4)NCC5=CC(=CC=C5)OC(F)(F)F LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910017115 AlSb Inorganic materials 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920002021 Pluronic® F 77 Polymers 0.000 description 3
- 229920002025 Pluronic® F 88 Polymers 0.000 description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical group CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013504 Triton X-100 Substances 0.000 description 3
- 229920004890 Triton X-100 Polymers 0.000 description 3
- 229920004896 Triton X-405 Polymers 0.000 description 3
- LWZFANDGMFTDAV-BURFUSLBSA-N [(2r)-2-[(2r,3r,4s)-3,4-dihydroxyoxolan-2-yl]-2-hydroxyethyl] dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O LWZFANDGMFTDAV-BURFUSLBSA-N 0.000 description 3
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 3
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 3
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Natural products CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 229920000136 polysorbate Polymers 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 235000011067 sorbitan monolaureate Nutrition 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 3
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YIWGJFPJRAEKMK-UHFFFAOYSA-N 1-(2H-benzotriazol-5-yl)-3-methyl-8-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carbonyl]-1,3,8-triazaspiro[4.5]decane-2,4-dione Chemical compound CN1C(=O)N(c2ccc3n[nH]nc3c2)C2(CCN(CC2)C(=O)c2cnc(NCc3cccc(OC(F)(F)F)c3)nc2)C1=O YIWGJFPJRAEKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical group CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NTKBNCABAMQDIG-UHFFFAOYSA-N 3-butoxypropan-1-ol Chemical compound CCCCOCCCO NTKBNCABAMQDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 6-[3-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperidin-1-yl]-3-oxopropyl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1CCN(CC1)C(CCC1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)=O DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004262 HgTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N N-[[(5S)-2-oxo-3-(2-oxo-3H-1,3-benzoxazol-6-yl)-1,3-oxazolidin-5-yl]methyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C1O[C@H](CN1C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002665 PbTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002048 Pluronic® L 92 Polymers 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 2
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001455273 Tetrapoda Species 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 2
- FHKPLLOSJHHKNU-INIZCTEOSA-N [(3S)-3-[8-(1-ethyl-5-methylpyrazol-4-yl)-9-methylpurin-6-yl]oxypyrrolidin-1-yl]-(oxan-4-yl)methanone Chemical compound C(C)N1N=CC(=C1C)C=1N(C2=NC=NC(=C2N=1)O[C@@H]1CN(CC1)C(=O)C1CCOCC1)C FHKPLLOSJHHKNU-INIZCTEOSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 2
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- XJWSAJYUBXQQDR-UHFFFAOYSA-M dodecyltrimethylammonium bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C XJWSAJYUBXQQDR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 2
- 239000000693 micelle Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 238000000527 sonication Methods 0.000 description 2
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 2
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 2
- OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N tellanylidenelead Chemical compound [Pb]=[Te] OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- KRAHAGWQEMMUGK-UHFFFAOYSA-M 1,1-dimethyl-3,5-dimethylidenepiperidin-1-ium;chloride Chemical compound [Cl-].C[N+]1(C)CC(=C)CC(=C)C1 KRAHAGWQEMMUGK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZWVMLYRJXORSEP-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-Hexanetriol Chemical compound OCCCCC(O)CO ZWVMLYRJXORSEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNTGIJLWHDPAFN-UHFFFAOYSA-N 1-bromohexadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCBr HNTGIJLWHDPAFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 2,2-Bis(hydroxymethyl)propionic acid Chemical compound OCC(C)(CO)C(O)=O PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFSMVVDJSNMRAR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethanol Chemical compound CCOCCOCCOCCO WFSMVVDJSNMRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- CDOUZKKFHVEKRI-UHFFFAOYSA-N 3-bromo-n-[(prop-2-enoylamino)methyl]propanamide Chemical compound BrCCC(=O)NCNC(=O)C=C CDOUZKKFHVEKRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000215068 Acacia senegal Species 0.000 description 1
- RNIHAPSVIGPAFF-UHFFFAOYSA-N Acrylamide-acrylic acid resin Chemical compound NC(=O)C=C.OC(=O)C=C RNIHAPSVIGPAFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015894 BeTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229910021589 Copper(I) bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021595 Copper(I) iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 1
- VMQMZMRVKUZKQL-UHFFFAOYSA-N Cu+ Chemical compound [Cu+] VMQMZMRVKUZKQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016344 CuSi Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005829 GeS Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005866 GeSe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005900 GeTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 229910005939 Ge—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002907 Guar gum Polymers 0.000 description 1
- 229920000084 Gum arabic Polymers 0.000 description 1
- 229920001612 Hydroxyethyl starch Polymers 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N N-[1-oxo-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propan-2-yl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(C(C)NC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000463 Poly(ethylene glycol)-block-poly(propylene glycol)-block-poly(ethylene glycol) Polymers 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008355 Si-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021608 Silver(I) fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008310 Si—Ge Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006453 Si—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005642 SnTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- NWGKJDSIEKMTRX-AAZCQSIUSA-N Sorbitan monooleate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O NWGKJDSIEKMTRX-AAZCQSIUSA-N 0.000 description 1
- IYFATESGLOUGBX-YVNJGZBMSA-N Sorbitan monopalmitate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O IYFATESGLOUGBX-YVNJGZBMSA-N 0.000 description 1
- PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N Sorbitan trioleate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OC[C@@H](OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N 0.000 description 1
- ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N Sulfobutanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)S(O)(=O)=O ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAWMENYCRQKKJY-UHFFFAOYSA-N [3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-ylmethyl)-1-oxa-2,8-diazaspiro[4.5]dec-2-en-8-yl]-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]methanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CC1=NOC2(C1)CCN(CC2)C(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F JAWMENYCRQKKJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAJDUQHDYQWNBE-UHFFFAOYSA-N [Cl-].C[NH+](C)C.C[NH+](C)C.[O-]C(=O)C=C Chemical compound [Cl-].C[NH+](C)C.C[NH+](C)C.[O-]C(=O)C=C AAJDUQHDYQWNBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010489 acacia gum Nutrition 0.000 description 1
- 239000000205 acacia gum Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001414 amino alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- PLUHAVSIMCXBEX-UHFFFAOYSA-N azane;dodecyl benzenesulfonate Chemical compound N.CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 PLUHAVSIMCXBEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003139 biocide Substances 0.000 description 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 description 1
- MTAZNLWOLGHBHU-UHFFFAOYSA-N butadiene-styrene rubber Chemical class C=CC=C.C=CC1=CC=CC=C1 MTAZNLWOLGHBHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HKVBBCCDZPKANJ-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol;pentane-1,5-diol Chemical group OCCCCO.OCCCCCO HKVBBCCDZPKANJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920006317 cationic polymer Polymers 0.000 description 1
- 210000000170 cell membrane Anatomy 0.000 description 1
- 229920006217 cellulose acetate butyrate Polymers 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000412 dendrimer Substances 0.000 description 1
- 229920000736 dendritic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019329 dioctyl sodium sulphosuccinate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004815 dispersion polymer Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N dodecyl benzenesulfonate;sodium Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004945 emulsification Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000417 fungicide Substances 0.000 description 1
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000665 guar gum Substances 0.000 description 1
- 235000010417 guar gum Nutrition 0.000 description 1
- 229960002154 guar gum Drugs 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229940050526 hydroxyethylstarch Drugs 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005232 molecular self-assembly Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229940088644 n,n-dimethylacrylamide Drugs 0.000 description 1
- YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C=C YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002077 nanosphere Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012457 nonaqueous media Substances 0.000 description 1
- 229920002113 octoxynol Polymers 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000006174 pH buffer Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Chemical group 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001690 polydopamine Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 1
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002717 polyvinylpyridine Polymers 0.000 description 1
- 229920006316 polyvinylpyrrolidine Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 150000004040 pyrrolidinones Chemical class 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 108700004121 sarkosyl Proteins 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 239000003352 sequestering agent Substances 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M silver bromide Chemical compound [Ag]Br ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- REYHXKZHIMGNSE-UHFFFAOYSA-M silver monofluoride Chemical compound [F-].[Ag+] REYHXKZHIMGNSE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- KSAVQLQVUXSOCR-UHFFFAOYSA-M sodium lauroyl sarcosinate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCC(=O)N(C)CC([O-])=O KSAVQLQVUXSOCR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical class O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000010557 suspension polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010189 synthetic method Methods 0.000 description 1
- 239000003760 tallow Substances 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- YODZTKMDCQEPHD-UHFFFAOYSA-N thiodiglycol Chemical compound OCCSCCO YODZTKMDCQEPHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229950006389 thiodiglycol Drugs 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000428 triblock copolymer Polymers 0.000 description 1
- JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol monomethyl ether Chemical compound COCCOCCOCCO JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSPLKZUTYZBBKA-UHFFFAOYSA-N trioxidane Chemical class OOO JSPLKZUTYZBBKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006163 vinyl copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004034 viscosity adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000003232 water-soluble binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000000230 xanthan gum Substances 0.000 description 1
- 229920001285 xanthan gum Polymers 0.000 description 1
- 235000010493 xanthan gum Nutrition 0.000 description 1
- 229940082509 xanthan gum Drugs 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】50よりも大きいアスペクト比を有する複数の無機ナノワイヤーが約10,000未満の分子量を有する少なくとも1つの低分子量分散剤を含む水溶液または非水溶液に懸濁され、また0.01〜20重量%の分散剤が含まれる、ナノワイヤー分散組成物
【選択図】図1A
Description
本件出願は、本明細書に全体が援用される、2005年4月13日出願の米国仮特許出願第60/671,131号の優先権を主張するものである。
連邦支援研究に関する言明
該当なし
図1Aは、単結晶半導体ナノワイヤーコア(本明細書では以下「ナノワイヤー」)100を例示する。図1Aは、一様にドープされた単結晶ナノワイヤーであるナノワイヤー100を示す。かかる単結晶ナノワイヤーは、かなりコントロールされた方法でp型かn型半導体かのどちらかへドープすることができる。ナノワイヤー100などのドープナノワイヤーは改善された電子特性を示す。例えば、かかるナノワイヤーは、バルク単結晶材料に匹敵する担体モビリティレベルを有するようにドープすることができる。
ナノワイヤーは、水性および極性溶媒などの液体媒体へのそれらの分散性を改善するために様々な陰イオン性、非イオン性、両性および陽イオン性界面活性剤およびポリマーに懸濁されてもよい。好ましくは、ナノワイヤー溶液は少なくとも1つの分散剤を含む。好適な分散剤には、さらに下に記載されるような高分子界面活性剤と陰イオン性、陽イオン性、両性および非イオン性界面活性剤との両方が含まれる。
水溶液などの溶媒中のナノワイヤー(例えば、半導体(例えば、シリコン)ナノワイヤーなどの無機ナノワイヤー)の分散性および加工性をさらに改善し、そしてナノワイヤー薄膜堆積をより容易にするために、ナノワイヤー表面は、それらを溶媒に分散させる前に酸化(例えば、成長基板上のかそれからのかのどちらかで)によってさらに処理されてもよい。自然に成長したナノワイヤーの表面特性は、ワイヤー表面が前述のナノワイヤー合成プロセス中に非晶質酸化物層でしばしば部分酸化されるにすぎないので、非常に複雑である傾向がある。例えば、成長したままのシリコンナノワイヤーは、異なる分布、電荷および/または表面特性の多機能性表面基を含有することが分かった。これらのタイプのワイヤーは、前述のような1つもしくはそれ以上の分散剤または界面活性剤の存在下でさえも水性媒体に分散することがより困難である傾向がある。無機ナノワイヤーの酸化は、例えば、ナノワイヤーの表面をより一様にし、その結果ワイヤーがより少ない分散剤で、そして凝集なしに溶液により容易に懸濁されることを可能にする。
本発明はまた、本発明のナノワイヤー分散組成物を含む電子回路を提供する。本発明の教示を用いる好適にも安定なナノワイヤー懸濁液は、高性能エレクトロニクス用の有用なビルディングブロックである。実質的に同じ方向に配向したナノワイヤーの収集物は高いモビリティ値を有するであろう。さらに、ナノワイヤーは、安価な製造を可能にするために溶液でフレキシブルに処理することができる。ナノワイヤーの収集物は、ナノワイヤーの薄膜を達成するために溶液からいかなるタイプの基板上へも容易にアセンブルすることができる。例えば、半導体デバイスに使用されるナノワイヤーの薄膜は、2、5、10、100、およびそれらの量の間のまたはそれらの量より多い任意の他の数のナノワイヤーを、高性能エレクトロニクスでの使用のために含むように形成することができる。
次の原材料を使用して次に来る実施例でのナノワイヤー分散組成物を調製した。
結晶性Siナノワイヤーを、上記のVLS法を用いて成長させた。ワイヤーを、ガス前駆体としてSiH4を使用して4インチウェハー上に大気圧で成長させた。ナノワイヤー成長は490℃で90分間起こった。直径が60nmのAuナノ粒子をウェハー上にランダムに置き、VLS反応用の触媒として使用した。すべてのウェハーを同じやり方で処理した。
あらゆる4つのナノワイヤー成長ウェハーを別々に、150mlの脱イオン(DI)水/エタノール(4/1)溶液入り1000mlビーカーに浸漬した。ビーカーを、出力レベル5を用いて2分間水浴中で超音波処理してナノワイヤーを溶液へ移した。ナノワイヤー溶液を撹拌セル膜濾過によって濃縮した。
ナノワイヤー溶液を、43mm直径撹拌セルを用いることによって濃縮した。8μm孔径のポリカーボネート膜を使用して幾らかの小さいワイヤー屑(<10μm)だけでなく水も濾過して取り除き、膜のトップに濃縮ナノワイヤーを保った。
DI水中0.01重量パーセントのナノワイヤー溶液を、#8マイアー棒を用いることによってビテックス(VITEX)フィルム上にコートした。コーティングを80℃オーブン中で5分間乾燥させた。次に、暗視野光学顕微鏡を用いてナノワイヤー被覆フィルムの画像を記録した。ワイヤー分散性を写真上でのワイヤー凝集体のレベルに基づいて目視検査した。このサンプルには多くの大きなワイヤー凝集体があり、そしてワイヤー分散は非常に不満足であることが分かった。
分散混合物を、0.04gのサーフィノール440を2gのナノワイヤー溶液(対照1での)に加え、そして混合することによって製造した。混合物を、#8マイアー棒を用いることによってビテックス・フィルム表面上にコートした。コーティングを80℃オーブン中で5分間乾燥させた。次に、光学顕微鏡を用いてコーティング上のワイヤー分散系を記録した。ワイヤー分散性をワイヤー凝集体のレベルに基づいて目視検査した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−1でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
実施例1−2を、サーフィノール440の代わりに、0.01gのポリビニルアルコールを2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)を加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−2でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
実施例1−3を、さらに0.01gのポリビニルアルコールを実施例1−1の混合物に加えたことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1および実施例1−2と比較して、実施例1−3でのワイヤー分散は短鎖界面活性剤(サーフィノール440)および長鎖水溶性ポリマー(PVA)の両方を一緒に混合することによってさらに改善されることが分かった。
実施例1−4を、ポリビニルアルコールの代わりに、0.03gのポリビニルピロリドン(PVP)を実施例1−3の混合物に加えたことを除いては実施例1−3についての手順に従って製造した。対照1および実施例1−2と比較して、短鎖界面活性剤(サーフィノール440)および長鎖水溶性ポリマー(PVP)の両方の添加はワイヤー分散のさらなる改善を提供することが分かった。
実施例1−5を、サーフィノール440の代わりに、0.03gのサーフィノール211を2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−5でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められるが、コーティング一様性は前の実施例1−1〜1−4ほど良好ではないことが分かった。
実施例1−6を、サーフィノール440の代わりに、0.03gのサーフィノール221を2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−6でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
実施例1−7を、サーフィノール440の代わりに、0.03gのトリトンX−100を2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−7でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
実施例1−8を、サーフィノール440の代わりに、0.03gのトリトンX−405を2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−8でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
実施例1−9を、サーフィノール440の代わりに、0.03gのスパン20を2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−9でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
実施例1−10を、サーフィノール440の代わりに、0.03gのトゥイーン40を2gナノワイヤー溶液(0.01重量パーセントのナノワイヤー)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例1−1についての手順に従って製造した。対照1(界面活性剤なし)と比較して、実施例1−10でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められることが分かった。
対照2を、DI水/エタノール(3/7)中0.05重量パーセントのナノワイヤー溶液を#8マイアー棒を用いることによってビテックス・フィルム上にコートしたことを除いては対照1についての手順に従って製造した。コーティングを80℃オーブン中で5分間乾燥させた。次に、暗視野光学顕微鏡を用いてナノワイヤー被覆フィルムの画像を記録した。ワイヤー分散性を写真上でのワイヤー凝集体のレベルに基づいて目視検査した。このサンプルには多くの大きなワイヤー凝集体があり、そしてワイヤー分散は非常に不満足であることが分かった。
実施例2−1を、0.05gのプルロニックL−17R4を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照2についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、対照2(界面活性剤なし)と比較して、実施例2−1でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例2−2を、プルロニックL−17R4の代わりに、0.05gのプルロニックL−64を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−1についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、対照2(界面活性剤なし)および実施例2−1と比較して、実施例2−2でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例2−3を、プルロニックL−17R4の代わりに、0.05gのプルロニックL−62を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−1についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、対照2(界面活性剤なし)ならびに実施例2−1および2−2と比較して、実施例2−3でコーティングのより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例2−4を、プルロニックL−17R4の代わりに、0.05gのプルロニックL−81を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−1についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、対照2および実施例2−1〜2−3と比較して、実施例2−4でコーティングの最良のワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例2−5を、プルロニックL−81の代わりに、0.05gのプルロニックL−101を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−4についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照2より改善されたが、実施例2−4と比べて良好ではなかったことを示す。
実施例2−6を、プルロニックL−101の代わりに、0.05gのプルロニックF−88を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−5についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照2に似ていたことを示す。
実施例2−7を、プルロニックF−88の代わりに、0.05gのプルロニックF−77を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−6についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照2に似ていたことを示す。
実施例2−8を、プルロニックF−77の代わりに、0.05gのプルロニックL−31を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−7についての手順に従って製造した。ワイヤー分散は対照2より改善されたが、ワイヤー分散は実施例2−4と比べて良好ではなかった。
実施例2−9を、プルロニックL−31の代わりに、0.05gのプルロニックL−92を1gナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−8についての手順に従って製造した。ワイヤー分散は対照2より改善されたが、ワイヤー分散は実施例2−4および2−8と比べて良好ではなかった。
実施例2−10を、さらに2%(ナノワイヤー溶液の総重量基準で)のサンコア2725(ポリウレタンラテックス分散系)を1gのナノワイヤー溶液(対照2ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては実施例2−2についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照2(および実施例2−2)と比べて改善されたことを示す。加えて、コーティング表面粘着性はPUラテックスを加えることによって改善された。
対照3を、DI水/エタノール(8/2)中0.05重量パーセントのナノワイヤー溶液を#8マイアー棒を用いることによってビテックス・フィルム上にコートしたことを除いては対照1についての手順に従って製造した。コーティングを80℃オーブン中で5分間乾燥させた。次に、暗視野光学顕微鏡を用いてナノワイヤー被覆フィルムの画像を記録した。ワイヤー分散性を写真上でのワイヤー凝集体のレベルに基づいて目視検査した。このサンプルには多くの大きなワイヤー凝集体があり、そしてワイヤー分散は非常に不満足であることが分かった。
実施例3−1を、0.01gのシルウェットL−77を1gナノワイヤー溶液(対照3ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照3についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、対照3と比較して、実施例3−1でコーティングのわずかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−2を、さらに0.01gのAG−111を実施例3−1ナノワイヤー溶液の混合物に加え、そして再び混合したことを除いては実施例3−1についての手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真結果は、実施例3−1と比較して、実施例3−2でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−3を、0.01gのシルウェットL−7608を1gナノワイヤー溶液(対照3ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照3についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、対照3と比較して、実施例3−3でコーティングのわずかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−4を、さらに0.01gのAG−111を実施例3−3ナノワイヤー溶液の混合物に加え、そして再び混合したことを除いては実施例3−3についての手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真結果は、実施例3−3と比較して、実施例3−4でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−5を、0.01gのシルウェットL−7280を1gナノワイヤー溶液(対照3ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照3についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、コーティングのワイヤー分散が対照3より改善されたことを示す。
実施例3−6を、さらに0.01gのAG−111を実施例3−5ナノワイヤー溶液の混合物に加え、そして再び混合したことを除いては実施例3−5についての手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真結果は、実施例3−5と比較して、実施例3−6でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−7を、0.01gのシルウェットL−7087を1gナノワイヤー溶液(対照3ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照3についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照3のように良好ではなかったことを示す。
実施例3−8を、さらに0.01gのAG−111を実施例3−7ナノワイヤー溶液の混合物に加え、そして再び混合したことを除いては実施例3−7についての手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真結果は、実施例3−7と比較して、実施例3−8でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−9を、0.01gのシルウェットL−7650を1gナノワイヤー溶液(対照3ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照3についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照3のように良好ではなかったことを示す。
実施例3−10を、さらに0.01gのAG−111を実施例3−9ナノワイヤー溶液の混合物に加え、そして再び混合したことを除いては実施例3−9についての手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真結果は、実施例3−9と比較して、実施例3−10でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
実施例3−11を、0.01gのシルウェットL−8620を1gナノワイヤー溶液(対照3ナノワイヤー溶液)に加え、それに引き続き混合したことを除いては対照3についての手順に従って製造した。光学顕微鏡写真結果は、ワイヤー分散が対照3と比べて良好ではなかったことを示す。
実施例3−12を、さらに0.01gのAG−111を実施例3−11ナノワイヤー溶液の混合物に加え、そして再び混合したことを除いては実施例3−11についての手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真結果は、実施例3−11と比較して、実施例3−12でコーティングのはるかにより良好なワイヤー分散が認められたことを示す。
次の非限定的実施例は、本発明の教示に従って、ワイヤーを溶液に分散させる前にナノワイヤー上に酸化物層を形成することによる改善されたナノワイヤー分散を例示する。
結晶性Siナノワイヤーを、上記のVLS法を用いて成長させた。ワイヤーを、ガス前駆体としてSiH4を使用して4インチウェハー上に大気圧で成長させた。ナノワイヤー成長は490℃で90分間起こった。直径が60nmのAuナノ粒子をウェハー上にランダムに置き、VLS反応用の触媒として使用した。すべてのウェハーを同じやり方で処理した。
ナノワイヤー付きウェハーは迅速熱酸化(RTO)システムにおいて大気圧でO2環境中900℃で乾燥熱酸化を受けた。500℃での1分チャンバー順化がその直前に行われるものの、酸化相は長さが8分であった。この方法は典型的にはRTOシステムで10〜12nmのSiO2を成長させる。類似の方法を、標準炉酸化システムを用いて、適宜に継続期間を調整して行うことができる。酸化はまた、より高い温度、典型的には約1000℃以下の温度を用いて行うこともできる。酸化時間は、当該ケースで適宜短くされる必要がある。酸化物の品質は典型的にはこの間隔内ではそれほど異ならない。
あらゆる4つのナノワイヤー成長ウェハーを別々に、150mlのDI水/エタノール(2/1)溶液入り1000mlビーカー中へ浸漬した。ビーカーを、出力レベル5を用いて2分間水浴中で超音波処理してナノワイヤーを溶液へ移した。
ナノワイヤー溶液を、43mm直径撹拌セルを用いることによって濃縮した。12μm孔径のポリカーボネート膜を使用して水を濾過して取り除き、膜のトップに濃縮ナノワイヤーを保った。
さらなる表面酸化なしのナノワイヤーを完全に超音波処理し、膜濾過によってDI水/エタノール(80/20)中0.03重量%溶液に濃縮した。分散混合物を、先ず0.03gのサーフィノール440および0.015gのプルロニックL−64を1gのナノワイヤー溶液(0.03重量%)に加え、そして混合することによって製造した。次に、0.015gのアクリゾールG−111を固体で混合物に導入し、再び混合した。最終混合物を、7mmドクターブレード手動ドローダウンを用いることによってビテックス・フィルム表面上にコートした。コーティングを80℃オーブン中で5分間乾燥させた。次に、暗視野光学顕微鏡を用いてコーティングのワイヤー分散を画像形成した。ワイヤー分散性をワイヤー凝集体のレベルに基づいて目視検査した。このコーティングには多くの大きなワイヤー凝集体があることが分かった。
実施例4−1を、対照4に使用したナノワイヤーと置き換えるために表面酸化ナノワイヤーを使用したことを除いては対照4についてと同じ手順に従って製造した。コーティング後に、光学顕微鏡写真は、対照4と比較して、コーティングでの凝集体が表面酸化処理のために著しく減少したことを示す。
Claims (29)
- 50よりも大きいアスペクト比を有する複数の無機ナノワイヤーが10,000未満の分子量を有する少なくとも1つの低分子量分散剤を含む水溶液または非水溶液に懸濁され、また0.01〜20重量%の分散剤が含まれる、ナノワイヤー分散組成物。
- 前記分散剤が非イオン性または高分子界面活性剤から選択される、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記分散剤が非イオン性シルウェット界面活性剤、サーフィノール界面活性剤、プルロニック高分子界面活性剤、およびそれらの組み合わせまたは混合物からなる群から選択される、請求項2に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記分散剤が20未満のHLB値を有する、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記分散剤が10未満のHLB値を有する、請求項4に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記分散剤が5,000未満の分子量を有する、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記分散剤が3,000未満の分子量を有する、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記ナノワイヤーが前記水溶液または非水溶液に懸濁される前に酸化される、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記ナノワイヤーが前記水溶液または非水溶液に懸濁される前にRTOチャンバーで熱酸化される、請求項8に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記少なくとも1つの分散剤がブロック共重合体を含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記ブロック共重合体がジブロック共重合体を含む、請求項10に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記ジブロック共重合体がプルロニックL−31、L−62またはL−81を含む、請求項11に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 1.0〜15重量%の分散剤を含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 1〜8重量%の分散剤を含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記水溶液または非水溶液が蒸留水、エタノール、メタノールまたはそれらの混合物を含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記水溶液または非水溶液がエタノールを含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 1以上のバインダーをさらに含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記1以上のバインダーがポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、メチルセルロース、およびヒドロキシエチルセルロースからなる群から選択された1以上の水溶性ポリマーを含む、請求項17に記載のナノワイヤー分散組成物。
- アンモニウムポリアクリレートアクリゾールG−111、PVA、およびPVPからなる群から選択された長鎖高分子分散剤をさらに含む、請求項2に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記複数のナノワイヤーが半導体または金属酸化物ナノワイヤーを含む、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記複数のナノワイヤーがシリコンナノワイヤーを含む、請求項20に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 上に薄膜として堆積された請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物を含むフレキシブル基板。
- 上に薄膜として堆積された請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物を含むリジッド基板。
- 上に薄膜として堆積された請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物を含むアクティブマトリックスディスプレイ基板。
- 請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物が上に薄膜としてコートされたプラスチック基板。
- 前記複数のナノワイヤーが100より大きいアスペクト比を有する、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記複数のナノワイヤーが1000より大きいアスペクト比を有する、請求項26に記載のナノワイヤー分散組成物。
- 前記ナノワイヤーが金属から形成される、請求項1に記載のナノワイヤー分散組成物。
- インジウムスズ酸化物(ITO)のフレキシブル大面積代替品として使用できる基板であって、請求項1若しくは請求項28のナノワイヤー分散組成物が薄膜としてコートされた基板。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US67113105P | 2005-04-13 | 2005-04-13 | |
US60/671,131 | 2005-04-13 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008506571A Division JP2008538728A (ja) | 2005-04-13 | 2006-04-06 | ナノワイヤー分散組成物およびその使用 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015037831A true JP2015037831A (ja) | 2015-02-26 |
Family
ID=37115658
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008506571A Pending JP2008538728A (ja) | 2005-04-13 | 2006-04-06 | ナノワイヤー分散組成物およびその使用 |
JP2014172027A Pending JP2015037831A (ja) | 2005-04-13 | 2014-08-26 | ナノワイヤー分散組成物 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008506571A Pending JP2008538728A (ja) | 2005-04-13 | 2006-04-06 | ナノワイヤー分散組成物およびその使用 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7745498B2 (ja) |
EP (1) | EP1871162B1 (ja) |
JP (2) | JP2008538728A (ja) |
WO (1) | WO2006113207A2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150602 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20151127 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20151130 |
|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
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