JP2015005586A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015005586A JP2015005586A JP2013129125A JP2013129125A JP2015005586A JP 2015005586 A JP2015005586 A JP 2015005586A JP 2013129125 A JP2013129125 A JP 2013129125A JP 2013129125 A JP2013129125 A JP 2013129125A JP 2015005586 A JP2015005586 A JP 2015005586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- developer
- photoresist film
- development
- silicon carbide
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/3021—Imagewise removal using liquid means from a wafer supported on a rotating chuck
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
<A−1.製造工程>
図1,2は、実施の形態1に係る半導体装置の製造方法である、フォトレジスト膜の現像処理工程を示す図である。図1は1回目の現像処理工程を、図2は1回目の現像処理工程に続いて行われる2回目の現像処理工程を、それぞれ示している。以下、図1,2に沿って実施の形態1の現像処理工程を説明する。
実施の形態1の半導体装置の製造方法は、(a)一主面にフォトレジスト膜2が成膜された炭化珪素基板1を準備する工程と、(b)フォトレジスト膜2に現像液3(第1現像液)を滴下する工程と、(c)工程(b)の終了から第1現像時間が経過した後、炭化珪素基板1を回転させてフォトレジスト膜2上から現像液3を振り切る工程と、(d)工程(c)の後、フォトレジスト膜2に現像液3(第2現像液)を滴下する工程と、(e)工程(d)の終了から第2現像時間が経過した後、炭化珪素基板1を回転させてフォトレジスト膜2上から現像液3を振り切る工程と、を備える。1回目の現像処理における現像液3を振り切ってから2回目の現像処理を行うことにより、2回目の現像処理においては、1回目の現像処理で発生したマイクロバブル4の影響を受けない。また、複数回の現像処理において、フォトレジスト膜2上の同一箇所にマイクロバブル4が発生する確率は極めて低い。したがって、現像欠陥が低減する。また、濃度の異なる複数の現像液を容易する必要がない。
<B−1.製造工程>
図3,4は、実施の形態2に係る半導体装置の製造方法である、フォトレジスト膜の現像処理工程を示す図である。図3は1回目の現像処理工程を、図4は1回目の現像処理工程に続いて行われる2回目の現像処理工程を、それぞれ示している。図3に示す1回目の現像処理工程は、図1に示す実施の形態1の1回目の現像処理工程と同様であるため説明を省略し、以下、図4に示す2回目の現像処理工程について説明する。
実施の形態2の半導体装置の製造方法では、フォトレジスト膜2に現像液3(第2現像液)を滴下した後、リンス液を滴下して現像液3を低濃度化するので、1回目の現像処理で形成したフォトレジスト膜2のパターン変動を抑制しつつ、1回目の現像処理で生じた現像欠陥を解消することができる。また、リンス液を用いて現像液3の濃度を変化させているので、濃度の異なる複数の現像液3を予め用意する必要がない。
Claims (9)
- (a)一主面にフォトレジスト膜が成膜された半導体基板を準備する工程と、
(b)前記フォトレジスト膜に第1現像液を滴下する工程と、
(c)前記工程(b)の終了から第1現像時間が経過した後、前記半導体基板を回転させて前記フォトレジスト膜上から前記第1現像液を振り切る工程と、
(d)前記工程(c)の後、前記フォトレジスト膜に第2現像液を滴下する工程と、
(e)前記工程(d)の終了から第2現像時間が経過した後、前記半導体基板を回転させて前記フォトレジスト膜上から前記第2現像液を振り切る工程と、
を備える、
半導体装置の製造方法。 - 前記第2現像時間は前記第1現像時間より短い、
請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(c)は、前記半導体基板にリンス液を滴下しながら前記半導体基板を回転させて前記フォトレジスト膜上から前記第1現像液を振り切る工程であり、
前記工程(e)は、前記半導体基板にリンス液を滴下しながら前記半導体基板を回転させて前記フォトレジスト膜上から前記第2現像液を振り切る工程である、
請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。 - (f)前記工程(b)と(c)の間に、前記半導体基板をステップ回転する工程と、
(g)前記工程(d)と(e)の間に、前記半導体基板をステップ回転する工程とをさらに備える、
請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - (h)前記工程(e)の後、前記フォトレジスト膜に第3現像液を滴下する工程と、
(i)前記工程(h)の終了から第3現像時間が経過した後、前記半導体基板を回転させて前記フォトレジスト膜上から前記第3現像液を振り切る工程とをさらに備える、
請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第3現像時間は前記第1現像時間より短い、
請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(i)は、前記半導体基板にリンス液を滴下しながら前記半導体基板を回転させて前記フォトレジスト膜上から前記第3現像液を振り切る工程である、
請求項5又は6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(d)は、前記フォトレジスト膜に第2現像液を滴下した後、リンス液を滴下して前記第2現像液を低濃度化する工程である、
請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板は炭化珪素基板である、
請求項1〜8のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013129125A JP6057842B2 (ja) | 2013-06-20 | 2013-06-20 | 半導体装置の製造方法 |
US14/242,930 US9063428B2 (en) | 2013-06-20 | 2014-04-02 | Method for manufacturing semiconductor device |
KR1020140067347A KR101837388B1 (ko) | 2013-06-20 | 2014-06-03 | 반도체장치의 제조방법 |
DE102014211512.4A DE102014211512A1 (de) | 2013-06-20 | 2014-06-16 | Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung |
CN201410280862.4A CN104238286A (zh) | 2013-06-20 | 2014-06-20 | 半导体装置的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013129125A JP6057842B2 (ja) | 2013-06-20 | 2013-06-20 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015005586A true JP2015005586A (ja) | 2015-01-08 |
JP6057842B2 JP6057842B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=52010625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013129125A Expired - Fee Related JP6057842B2 (ja) | 2013-06-20 | 2013-06-20 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9063428B2 (ja) |
JP (1) | JP6057842B2 (ja) |
KR (1) | KR101837388B1 (ja) |
CN (1) | CN104238286A (ja) |
DE (1) | DE102014211512A1 (ja) |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63229452A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Nec Corp | レジストの現像方法 |
JPS63291420A (ja) * | 1987-05-23 | 1988-11-29 | Sony Corp | 現像方法 |
JPH0246464A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Seiko Epson Corp | 現像方法 |
JPH0263060A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Sony Corp | 現像方法 |
JPH05283332A (ja) * | 1992-04-01 | 1993-10-29 | Hitachi Ltd | 現像方法および装置 |
JPH0645243A (ja) * | 1991-07-30 | 1994-02-18 | Mitsumi Electric Co Ltd | Ic製造における現像方法 |
JPH08138997A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-05-31 | Asahi Kasei Micro Syst Kk | フォトレジストの現像方法 |
JPH10339956A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Nec Kyushu Ltd | ウエハのレジスト現像方法 |
JPH11260707A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法及び現像処理装置 |
JP2002184679A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-28 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003007595A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 現像方法 |
JP2003255557A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-10 | Toshiba Corp | 現像方法 |
JP2004128190A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | St Lcd Kk | 現像方法及び現像装置 |
JP2007305864A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 現像方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5543637A (en) * | 1994-11-14 | 1996-08-06 | North Carolina State University | Silicon carbide semiconductor devices having buried silicon carbide conduction barrier layers therein |
US5821035A (en) | 1996-03-06 | 1998-10-13 | Sony Corporation | Resist developing apparatus and resist developing method |
JPH09244258A (ja) | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Sony Corp | レジスト現像方法 |
JPH10199791A (ja) | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法及びその製造装置 |
WO1999053381A1 (en) * | 1998-04-15 | 1999-10-21 | Etec Systems, Inc. | Photoresist developer and method of development |
US6352818B1 (en) * | 1999-09-01 | 2002-03-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Photoresist development method employing multiple photoresist developer rinse |
JP3805690B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2006-08-02 | 株式会社東芝 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP2004274028A (ja) | 2003-02-20 | 2004-09-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 現像装置および現像方法 |
JP2011077120A (ja) | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | レジスト膜現像方法 |
CN102376543B (zh) * | 2010-08-09 | 2014-06-11 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体元器件制造过程中的显影方法 |
CN102621828A (zh) * | 2011-01-27 | 2012-08-01 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 一种二次显影方法 |
JP5836021B2 (ja) * | 2011-09-02 | 2015-12-24 | 昭和電工株式会社 | 厚膜レジストの現像方法、及び半導体デバイスの製造方法 |
CN103197514A (zh) * | 2012-01-09 | 2013-07-10 | 上海微电子装备有限公司 | 有效减少孔显影缺陷的显影方法 |
-
2013
- 2013-06-20 JP JP2013129125A patent/JP6057842B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-04-02 US US14/242,930 patent/US9063428B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-03 KR KR1020140067347A patent/KR101837388B1/ko active IP Right Grant
- 2014-06-16 DE DE102014211512.4A patent/DE102014211512A1/de not_active Ceased
- 2014-06-20 CN CN201410280862.4A patent/CN104238286A/zh active Pending
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63229452A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Nec Corp | レジストの現像方法 |
JPS63291420A (ja) * | 1987-05-23 | 1988-11-29 | Sony Corp | 現像方法 |
JPH0246464A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Seiko Epson Corp | 現像方法 |
JPH0263060A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Sony Corp | 現像方法 |
JPH0645243A (ja) * | 1991-07-30 | 1994-02-18 | Mitsumi Electric Co Ltd | Ic製造における現像方法 |
JPH05283332A (ja) * | 1992-04-01 | 1993-10-29 | Hitachi Ltd | 現像方法および装置 |
JPH08138997A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-05-31 | Asahi Kasei Micro Syst Kk | フォトレジストの現像方法 |
JPH10339956A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Nec Kyushu Ltd | ウエハのレジスト現像方法 |
JPH11260707A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法及び現像処理装置 |
JP2002184679A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-28 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003007595A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 現像方法 |
JP2003255557A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-10 | Toshiba Corp | 現像方法 |
JP2004128190A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | St Lcd Kk | 現像方法及び現像装置 |
JP2007305864A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 現像方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102014211512A1 (de) | 2014-12-24 |
JP6057842B2 (ja) | 2017-01-11 |
US20140377709A1 (en) | 2014-12-25 |
KR101837388B1 (ko) | 2018-03-12 |
KR20140147684A (ko) | 2014-12-30 |
CN104238286A (zh) | 2014-12-24 |
US9063428B2 (en) | 2015-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10303106A (ja) | 現像処理装置およびその処理方法 | |
JP2007019161A (ja) | パターン形成方法及び被膜形成装置 | |
JP2015032735A (ja) | 半導体基板の洗浄方法および半導体基板の洗浄装置 | |
JP2006253207A (ja) | 塗布膜形成方法,半導体装置の製造方法 | |
JP2010225871A (ja) | 塗布液の塗布方法、塗膜の形成方法、ならびにそれを利用したパターンの形成方法および半導体装置の製造方法 | |
JP6057842B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3774413B2 (ja) | 現像方法 | |
JP2003007595A (ja) | 現像方法 | |
JP2010278204A (ja) | レジストパターンの形成方法 | |
JPH09244258A (ja) | レジスト現像方法 | |
TW201430173A (zh) | 蝕刻金屬之方法 | |
WO2008042040A2 (en) | Methods to accelerate photoimageable material stripping from a substrate | |
US9188872B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
JP2008066467A (ja) | パターン形成方法 | |
JP2008244323A (ja) | ステンシルマスク | |
JP2011077120A (ja) | レジスト膜現像方法 | |
JPH1154427A (ja) | フォトリソグラフィー工程における現像処理方法 | |
JPH0246464A (ja) | 現像方法 | |
KR100790253B1 (ko) | 감광막 현상 장치 및 방법 | |
JP4492931B2 (ja) | フォトレジストパターンの形成方法 | |
JP2004128190A (ja) | 現像方法及び現像装置 | |
US20080145768A1 (en) | Method for forming a film pattern having a reduced pattern size | |
JP4025341B2 (ja) | 現像液供給ノズルの洗浄方法 | |
JP6024164B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2011071170A (ja) | パターン形成方法及びパターン形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150428 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6057842 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |