JP2014504693A - クィックリリース真空ポンプ - Google Patents

クィックリリース真空ポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP2014504693A
JP2014504693A JP2013547298A JP2013547298A JP2014504693A JP 2014504693 A JP2014504693 A JP 2014504693A JP 2013547298 A JP2013547298 A JP 2013547298A JP 2013547298 A JP2013547298 A JP 2013547298A JP 2014504693 A JP2014504693 A JP 2014504693A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum pump
filter material
inlet
suction port
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013547298A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5716982B2 (ja
Inventor
チョ,ホ−ヨン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Korea Pneumatic System Co Ltd
Original Assignee
Korea Pneumatic System Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Korea Pneumatic System Co Ltd filed Critical Korea Pneumatic System Co Ltd
Publication of JP2014504693A publication Critical patent/JP2014504693A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5716982B2 publication Critical patent/JP5716982B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40Casings; Connections of working fluid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17DPIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00Pipe-line systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F04B37/16Means for nullifying unswept space
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/10Adaptations or arrangements of distribution members
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02Surge control
    • F04D27/0292Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/46Arrangements of nozzles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/48Control
    • F04F5/52Control of evacuating pumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/794With means for separating solid material from the fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

【課題】 本発明は、装置によって形成された真空及び負圧が速かに解除されるように設計されたクィックリリース真空ポンプを提供する。
【解決手段】 本発明の真空ポンプは、ポンプ部の外に、リリース部とフィルター材料を含んでなる。前記リリース部は、ケーシング吸入口の上側に形成された支持管、空気圧によって上下に流動して前記支持管の上側を開閉するスカート型チェックバルブ、及び前記流入口に連通し、バルブスカートを通る通路の末端に形成される圧力チャンバーを含む。そして、前記フィルター材料は、前記吸入口と支持管の間に配置される。前記フィルター材料は、ポンプ動作の際、吸入される排気空気を上側に通過させて濾過し、ポンプ停止の際に支持管を介して下側に通過する圧力空気によって掃除される。本発明によれば、真空ポンプが電子的メカニズムに拠る従来の設計に比べ、単純に設計及び具現でき、特に真空の解除が速かになされる効果がある。また、別に掃除しなくてもフィルター材料の掃除が適切になされる効果がある。
【選択図】 図2

Description

本発明は主に真空移送システムに適用される真空ポンプに係り、特に真空の解除(release)が簡便で速かになされ、かつフィルターの濾過及び掃除が自然で反復的になされる真空ポンプに関する。
本発明でいう真空ポンプとは、高速で供給される圧縮空気によって作用して吸着パッドの内部空間を排気する装置を言う。前記真空ポンプが動作すれば、吸着パッドの内部空間に真空及び負圧が形成され、真空移送システムはこのように得られた負圧を用いて対象物を把持した後、所定場所に移送するようになるものである。
一般に、真空ポンプは、一側流入口及び他側排出口を持つケーシングと、前記ケーシングの内部に直列で配列されるノズルとを含み、例えば吸着パッドの内部空間はケーシングを通過してノズルの内部と連通する。したがって、圧縮空気が前記流入口に供給され、ノズルを高速で通過して排出されるとき、前記内部空間の排気がなされるとともに移送のための真空及び負圧が形成されるものである。
一方、対象物の移送が完了すれば、吸着パッドは繰り返される後続作業のために、対象物から速かに分離されなければならない。しかし、ただ圧縮空気の供給を中断することによっては迅速な分離がなされないので、前記吸着パッドと対象物の間の分離を強制することができる特別な設計及び方法が必要となる。
これに関連して知られた方法によれば、前記ノズルに連結される真空ラインの外に、吸着パッドに連結される解除ラインを別に設計し、それぞれのラインに圧縮空気を供給することで、それぞれのラインの開閉を電子的に制御している。ここで、前記真空ラインへの圧縮空気の供給が中断されれば、解除ラインが開放しながら吸着パッドに圧縮空気が供給され、これにより内部空間の真空が解除(release)または破棄(breaking)されることにより、吸着パッドと対象物間の分離がなされるものである。
このような方法が、圧縮空気を吸着パッドに供給することで吸着パッドと対象物間の分離を迅速に行うことができるという点のため、有用に使われていることは事実である。しかし、その方法を実際に具現することにおいては、その電子的・機械的設計及び構造が複雑な問題、誤動作が頻繁に発生する問題、欠陥保守が難しい問題などのため、経済性、生産性、作業性などの多くの面で大変不利である。
本発明は前述した従来の真空ポンプの問題点を解決するためになされたものである。本発明の目的は、その設計及び構造が複雑ではないながらも、誤作動なしに一様で正確に動作する真空ポンプを提供することである。
本発明の他の目的は、真空の解除をもっと速かに遂行することができる真空ポンプを提供することである。
本発明のさらに他の目的は、適正位置にエアフィルターを配置することで、何の操作なしもフィルターの掃除を自然で反復的に行うようにした真空ポンプを提供することである。
本発明の真空ポンプは、互いに対向する側面に形成された圧縮空気流入口と排出口及び底面に形成された吸入口を含むケーシングの内部に構成される要素として:前記流入口と排出口の間を通して伸び、一側で前記吸入口に連通するシリンダー型ホール、及び両側端部がそれぞれ流入口と排出口に連通する状態で前記ホールの内部に装着され、前記ホールに連通するスロットを持ち、直列で配列されるノズルを含む真空ポンプ部と;前記吸入口の上側に形成された支持管、空気圧によって上下に流動して前記支持管の上側を開閉するスカート型チェックバルブ、及び前記流入口に連通し、バルブスカートを通る通路の末端に形成される圧力チャンバーを含むリリース部と;前記吸入口と支持管の間に配置され、前記ポンプ部の動作の際に吸入される排気空気を上側に通過させて濾過し、前記ポンプ部の停止の際に圧力チャンバーから支持管を介して下側吸入口に供給される空気によって掃除されるフィルター材料と;を含む。
好ましくは、前記ノズルは壁に通孔が形成されたシリンダー型ボディーの内部に装着されて一つのポンプカートリッジを構成し、前記カートリッジを介して前記ホールの内部に装着される。また、好ましくは、前記吸入口の上端には、前記フィルター材料の安定的な装着のためのリブが形成される。
本発明によれば、圧縮空気がポンプ部に供給され始めるとき、その一部が圧力チャンバーを満たし、圧縮空気の供給が中断されれば、直ちに圧力チャンバー内の空気が逆流して真空が解除される。したがって、本発明の真空ポンプは従来のものに比べて単純に設計及び具現可能であり、誤作動なしにいつも一様で正確に動作することができる効果がある。また、真空解除のために線路の開閉と解除用圧縮空気の供給及びこれらのための電子的回路の動作などの先行動作が不要であるので、真空の解除がもっと速かに遂行できる効果がある。
一方、真空解除の際には、圧力チャンバー内の空気がフィルター材料を通じて排出される。この際、空気圧によって、真空のうちにフィルター材料の底面に付いていた異物が分離されて除去されるので、別に掃除しなくてもフィルター材料の濾過及び掃除が連続して繰り返される効果がある。
本発明による真空ポンプの外形を示す斜視図である。 図1の“A−A”線についての拡大断面図である。 図1の“B−B”線についての拡大断面図である。 本発明による真空ポンプの真空動作を説明するための図である。 本発明による真空ポンプの解除動作を説明するための図である。
以上に記載するかあるいは記載しない本発明の特徴及び効果は、以下に添付図面に基づいて説明する実施例の記載によってより明らかになるであろう。図面において、本発明による真空ポンプは符号10で指示される。
図1〜図3を参照すれば、本発明による真空ポンプ10は、一定形態のケーシング20とその内部に構成及び形成される要素とからなる。前記ケーシング20は互いに対向する側面に形成された圧縮空気流入口21と排出口22及び底面に形成された吸入口23を含む。そして、前記ケーシング20の内部構成要素として、真空ポンプ部30、リリース部40、及びフィルター材料50を含む。
前記真空ポンプ部30は前記ケーシング20の吸入口23に連結された吸着パッドその他の内部空間を排気して真空及び負圧を形成するための構成である。
前記真空ポンプ部30は、前記流入口21と排出口22の間を通じて伸び、一側で前記吸入口23に連通するように形成された中空シリンダー型ホール31と、両側端部がそれぞれ流入口21と排出口22に連通する状態で前記ホール31の内部に装着され、間にスロット33を置いて直列で配列されるノズル32a、32b、32cを含む。前記ノズル32a、32b、32cは二つ以上のノズルを含み、内径が次第に拡がる形態のいわゆる“多段ノズル”(multi−stage nozzles)である。図面において、符号37はケーシング20の排出口22側に装着される消音機(silencer)である。
前記ノズル32a、32b、32cがホール31の内部に直接装着されるように設計することも可能であるが、本実施例において前記ノズル32a、32b、32cはシリンダー型ボディー34を介して前記ホール31の内部に装着される。具体的に、ノズル32a、32b、32cはボディー34の内部に直列で配列され、前記ボディー34は壁に形成された通孔35を含んで一つのポンプカートリッジ36を構成する。
このポンプカートリッジ36が前記ホール31に装着されることにより、ノズル32a、32b、32cもホール31の内部に適切に配列及び固定されるものである。そして、前記ホール31は通孔35を通じてカートリッジ36の内部及びノズル32a、32b、32cに連通可能となる。この構造は、ノズル32a、32b、32cを直接ホール31に装着する構造に比べ、装着性、組立性、及び安全性の面で有利であると言える。
前記リリース部40は前記真空ポンプ部30の作動によって形成された真空及び負圧を速かに解除または破棄するための構成である。
前記リリース部40は、ケーシング20の吸入口23の上側に突出した支持管41と、前記支持管41の上側に配置され、空気圧によって上下に流動して前記支持管41の上側開口を開閉するスカート(skirt)型チェック(check)バルブ42と、前記吸入口23からバルブスカート43部分を経由する通路44の末端に形成される圧力チャンバー45とを含んでなる。
この構造において、流入口21に供給されて前記通路44を流れる圧縮空気はスカート43部分を押しながらバルブ42を経って圧力チャンバー45に流入することができる。しかし、圧力チャンバー45内の充填された空気は逆方向に帰ることができずに、バルブ42のエアリフト(air−lift)によって上側開口が開放する支持管41を通じて吸入口23側に流れるようになる。
一方、前記フィルター材料50は吸入口23を通じて流入した空気を濾過した後、前記ホール31に流入するようにする濾過材である。
ここに適用されるフィルター材料50は形態においてパッド型でもしわ型でも関係ない。前記フィルター材料50は前記吸入口23上に配置され、吸入口23を通じて流入した空気を濾過する。具体的には、前記フィルター材料50は吸入口23と支持管41の間に配置され、フィルター材料50の安定的な装着のために、前記吸入口23の上端には装着用リブ51が形成される。設計において、前記リブ51が空気の流れを邪魔しないようにしなければならない。図面において、符号52はガスケットである。
図2及び図4を参照すれば、ケーシング20の吸入口23には吸着パッド(図示せず)が連結され、当然前記吸着パッドは移送対象物の表面に接触しているはずである。この状態で、ケーシング20の流入口21を通じて圧縮空気を供給すれば、真空ポンプ部30が動作する。圧縮空気はカートリッジ36の内部に装着されたノズル32a、32b、32cを順に高速で通過した後、排出口22側に結合された消音機37を通じて外部に排出される(図2の矢印○1参照)。
この過程で、ノズル32a、32b、32cの間の部分で圧力降下が発生し、これにより吸着パッドの内部空気は吸入口23→フィルター材料50→ホール31→通孔35→スロット33を順に経由した後、ノズル32a、32b、32cの内部に流入する。そして、圧縮空気とともに外部に排出される(図4の矢印○2参照)。このような排気によって吸着パッドの内部空間に真空及び負圧が発生し、このように発生した負圧によって対象物を把持して移送することができるようになるものである。
一方、流入口21に供給された初期圧縮空気の一部は流入口21側から始まる通路44を流れ、前記バルブ42のヘッド部分を加圧して支持管41を閉鎖すると同時に外側スカート43部分を加圧しながら圧力チャンバー45内に流れる。結局、圧力チャンバー45が圧力空気で充填され(図4の矢印○3参照)、この空気はリリース用に用いられる。
図5を参照すれば、対象物の移送が完了すれば、圧縮空気の供給が中断し、よって真空ポンプ部30の動作も停止する。すると、バルブ42のヘッド部分を加圧した大きな力がなくなることによって圧力チャンバー45内の空気が逆流するようになる。
この際、スカート43及びバルブ42が逆流する圧力空気によって浮上し、これにより支持管41の上側開口が開放し、圧力空気が圧力チャンバー45から支持管41→フィルター材料50→吸入口23を順に通過して吸着パッドの内部空間に投入される(矢印○4参照)。これにより、この装置によって発生した真空及び負圧が瞬時に解除されるものである。
本発明の装置10は、真空用圧縮空気の一部を別に保存し、真空停止の際に当然解除用に用いられるようにする真空/解除メカニズムを持つ。したがって、真空/解除のいずれも電子的メカニズムに拠る従来の設計に比べ、単純に設計及び具現されることができる。また、いつも一様で正確に動作することができ、特に真空の解除が速かになされるものである。
一方、真空ポンプ部30の動作の際、吸着パッドの排気空気は上側にフィルター材料50を通過しながら濾過される。したがって、前記フィルター材料50の底面には当然異物がくっつくことになる(図4参照)。ところが、前記真空ポンプ部30の動作が停止すれば、支持管41を通過した圧力空気が前記フィルター材料50を上側から下側に通過して吸入口23に流れるようになる。
この過程で、真空の際、フィルター材料50の底面に付いていた異物が分離されて除去される。したがって、別に掃除しなくてもフィルター材料50の掃除が自然で反復的になされるものである。迅速なリリース及び効果的なフィルター掃除のための構造として、前記チェックバルブ42、支持管41、フィルター材料50、及び吸入口23は上下に一直線上に形成され、これは他のどの形態よりも有利なものであると判断される。
10 真空ポンプ
20 ケーシング
21 流入口
22 排出口
23 吸入口
30 真空ポンプ部
31 ホール
32a、32b、32c ノズル
33 スロット
34 ボディー
35 通孔
36 カートリッジ
40 リリース部
41 支持管
42 チェックバルブ
43 スカート
44 通路
45 圧力チャンバー
51 リブ

Claims (4)

  1. 互いに対向する側面に形成された圧縮空気流入口と排出口及び底面に形成された吸入口を含むケーシングの内部に構成される要素として:
    前記流入口と排出口の間を通して伸び、一側で前記吸入口に連通するシリンダー型ホール、及び両側端部がそれぞれ流入口と排出口に連通する状態で前記ホールの内部に装着され、前記ホールに連通するスロットを持ち、直列で配列されるノズルを含む真空ポンプ部と;
    前記吸入口の上側に形成された支持管、空気圧によって上下に流動して前記支持管の上側を開閉するスカート型チェックバルブ、前記流入口に連通し、バルブスカートを通る通路の末端に形成される圧力チャンバーを含むリリース部と;
    前記吸入口と支持管の間に配置され、前記ポンプ部の動作の際に吸入される排気空気を上側に通過させて濾過し、前記ポンプ部の停止の際に圧力チャンバーから支持管を介して下側吸入口に供給される空気によって掃除されるフィルター材料と;
    を含むことを特徴とする、クィックリリース真空ポンプ。
  2. 前記ノズルは壁に通孔が形成されたシリンダー型ボディーの内部に装着されて一つのポンプカートリッジを構成し、前記カートリッジを介して前記ホールの内部に装着されることを特徴とする、請求項1に記載のクィックリリース真空ポンプ。
  3. 前記フィルター材料の安定的な装着のために、前記吸入口の上端には装着用リブが形成されたことを特徴とする、請求項1に記載のクィックリリース真空ポンプ。
  4. 前記チェックバルブ、支持管、フィルター材料、及び吸入口は上下に一直線上に形成されたことを特徴とする、請求項1に記載のクィックリリース真空ポンプ。
JP2013547298A 2011-01-03 2011-12-07 クィックリリース真空ポンプ Active JP5716982B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110000081A KR101029967B1 (ko) 2011-01-03 2011-01-03 퀵-릴리즈 진공펌프
KR10-2011-0000081 2011-01-03
PCT/KR2011/009410 WO2012093777A2 (ko) 2011-01-03 2011-12-07 퀵-릴리즈 진공펌프

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014504693A true JP2014504693A (ja) 2014-02-24
JP5716982B2 JP5716982B2 (ja) 2015-05-13

Family

ID=44050288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013547298A Active JP5716982B2 (ja) 2011-01-03 2011-12-07 クィックリリース真空ポンプ

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20130291966A1 (ja)
EP (1) EP2662574B1 (ja)
JP (1) JP5716982B2 (ja)
KR (1) KR101029967B1 (ja)
CN (1) CN103270314B (ja)
BR (1) BR112013017075A2 (ja)
WO (1) WO2012093777A2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101424959B1 (ko) 2014-04-08 2014-08-01 한국뉴매틱(주) 진공펌프
CN108273805B (zh) * 2018-04-09 2023-05-26 上汽大众汽车有限公司 涵道式真空发生器及其真空管体
CN113217346B (zh) * 2021-05-08 2023-04-25 武安市永盛机械泵业有限公司 一种用于化工生产的真空泵
CN114623378A (zh) * 2022-01-21 2022-06-14 北京国科环宇科技股份有限公司 真空容器抽真空的方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63193797U (ja) * 1987-05-30 1988-12-13
JPH02110300U (ja) * 1989-02-18 1990-09-04
JPH04236866A (ja) * 1990-07-27 1992-08-25 Vat Holding Ag 絞り個所を有する逆止弁
US20030082057A1 (en) * 2001-11-01 2003-05-01 Korea Pneumatic System Co., Ltd. Vacuum generating device
WO2006011760A1 (en) * 2004-07-28 2006-02-02 Korea Pneumatic System Co., Ltd Vacuum ejector pumps
JP2006342765A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Smc Corp 真空ユニット及び真空ユニットに用いられるフィルタの製造方法
WO2012121442A1 (ko) * 2011-03-10 2012-09-13 한국뉴매틱 주식회사 퀵-릴리즈 진공펌프

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1606803A (en) * 1925-02-18 1926-11-16 Lalor Fuel Oil System Company Pressure-regulating device
US4073602A (en) * 1976-04-12 1978-02-14 Sahlin International Inc. Vacuum producing device
CN2059945U (zh) * 1989-11-14 1990-08-01 天津市同达机电技术开发公司 多功能真空发生器
DE19817249C1 (de) * 1998-04-18 1999-08-26 Schmalz J Gmbh Ejektor
JP2005163619A (ja) * 2003-12-02 2005-06-23 Smc Corp 真空発生用ユニット
KR200371804Y1 (ko) * 2004-10-11 2005-01-06 한국뉴매틱(주) 에어 필터 장치
CN2830738Y (zh) * 2005-07-11 2006-10-25 张育瑞 改进的真空产生装置
US7540309B2 (en) * 2005-07-11 2009-06-02 Delaware Capital Formation, Inc. Auto-release vacuum device
US8079578B2 (en) * 2007-09-05 2011-12-20 Hgs Aerospace, Inc. Universal holding fixture
JP5174418B2 (ja) * 2007-10-16 2013-04-03 Juki株式会社 真空発生装置
WO2009081467A1 (ja) * 2007-12-21 2009-07-02 Koganei Corporation 真空発生装置
KR100889638B1 (ko) * 2008-03-17 2009-03-20 한국뉴매틱(주) 진공 패드장치

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63193797U (ja) * 1987-05-30 1988-12-13
JPH02110300U (ja) * 1989-02-18 1990-09-04
JPH04236866A (ja) * 1990-07-27 1992-08-25 Vat Holding Ag 絞り個所を有する逆止弁
US20030082057A1 (en) * 2001-11-01 2003-05-01 Korea Pneumatic System Co., Ltd. Vacuum generating device
WO2006011760A1 (en) * 2004-07-28 2006-02-02 Korea Pneumatic System Co., Ltd Vacuum ejector pumps
JP2006342765A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Smc Corp 真空ユニット及び真空ユニットに用いられるフィルタの製造方法
WO2012121442A1 (ko) * 2011-03-10 2012-09-13 한국뉴매틱 주식회사 퀵-릴리즈 진공펌프

Also Published As

Publication number Publication date
KR101029967B1 (ko) 2011-04-19
WO2012093777A3 (ko) 2012-09-07
US20130291966A1 (en) 2013-11-07
CN103270314B (zh) 2015-10-14
EP2662574A2 (en) 2013-11-13
EP2662574B1 (en) 2017-11-22
JP5716982B2 (ja) 2015-05-13
WO2012093777A2 (ko) 2012-07-12
EP2662574A4 (en) 2016-12-28
CN103270314A (zh) 2013-08-28
BR112013017075A2 (pt) 2020-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5733649B2 (ja) クイックリリース真空ポンプ
JP5716982B2 (ja) クィックリリース真空ポンプ
JP5981174B2 (ja) エジェクタ
JP2010522646A (ja) 内蔵真空ポンプを持つレベル補正器
EP3431423B1 (en) Vacuum gripper unit comprising vacuum pump
JP5156763B2 (ja) フィルターカートリッジを用いる真空システム
JP2015160210A (ja) 繊維性フィルターシステム、及び当該繊維性フィルターシステムを清浄する方法
JP2009275747A (ja) ダイヤフラムバルブ及び集塵機
JP2010075902A (ja) バグ式集塵機
CN111765130A (zh) 大容量真空控制装置
CN109642586B (zh) 真空泵及其阵列
TWI695948B (zh) 大容量真空控制裝置
CN210122973U (zh) 大容量真空控制装置
KR20090131617A (ko) 진공 그리퍼 시스템
TWM579683U (zh) Large capacity vacuum control unit
CN201437065U (zh) 一种过滤器清理装置
JP6086216B2 (ja) パルスジェット式集塵機
JPH0569366A (ja) 真空供給装置
CN215804878U (zh) 空滤器及工程车辆
JP2010014162A (ja) ダイヤフラムバルブ
JP2006326805A (ja) 負圧/正圧切替装置
CN109351030A (zh) 一种过滤自来水的设备
TWM413531U (en) Suction type article-pick up device for electronic prize game machine
KR20190001117U (ko) 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140513

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140718

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150304

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5716982

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250